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외부와 밀폐되게 형성되는 챔버;상기 챔버 내에 구비되며, 금속 박막 롤을 감고 풀 수 있는 제1 회전롤 및 제2 회전롤;상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤 사이에서 금속 박막을 가열하는 가열부;상기 챔버의 일측에 형성되어 상기 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스공급부;상기 챔버의 일측에 형성되어 상기 챔버 내부의 가스를 배출하는 가스배출부; 및상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤을 정회전 및 역회전시키는 롤 구동부를 포함하고, 상기 가스공급부는 환원성가스 공급부 및 탄소소스 가스 공급부를 포함하고,상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤이 정회전 하는 경우 상기 챔버 내로 환원성 가스가 공급되고, 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤이 역회전 하는 경우 상기 챔버 내로 탄소소스 가스가 공급되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤이 정회전 하는 경우 상기 챔버 내에서 금속 박막의 열처리 단계가 수행되고,상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤이 역회전 하는 경우 상기 챔버 내에서 금속 박막 상에 그래핀을 성장시키는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 환원성 가스는 수소, 헬륨, 아르곤 또는 암모니아를 포함하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 탄소소스 가스는 탄화수소 가스를 포함하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 롤 구동부는 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤을 역회전 시켜주는 역회전 장치를 포함하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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제7항에 있어서,상기 역회전 장치는 상기 금속 박막 롤이 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤 중 어느 한 쪽으로 일정 부분 이상 이동하면, 다른 쪽으로 이동하도록 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤을 자동으로 역회전 시켜주는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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양측이 각각 제1 회전롤 및 제2 회전롤에 연결된 금속 박막 롤을 준비하는 단계;상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤을 일 방향으로 회전시켜 상기 금속 박막을 이동시키면서 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤 사이에서 이동되는 금속박막에 열처리만을 수행하는 단계; 및상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤을 반대 방향으로 회전시켜 상기 금속 박막을 이동시키면서 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤 사이에서 이동되는 금속박막 상에 그래핀을 성장시키는 단계를 포함하고, 동일 챔버 내에서 열처리 단계와 그래핀 성장 단계를 구분하여 수행되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조방법
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제9항에 있어서,상기 열처리만을 수행하는 단계는, 환원성 가스 분위기하에서 열처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조방법
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제10항에 있어서,상기 열처리만을 수행하는 단계는, 600 ℃ 이상의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조방법
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제9항에 있어서,상기 그래핀을 성장시키는 단계는, 탄소소스 가스 분위기하에서 상기 금속 박막 상에 그래핀을 성장시키는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조방법
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제12항에 있어서,상기 그래핀을 성장시키는 단계는, 800 ℃ 이상의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조방법
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외부와 밀폐되게 형성되는 챔버;상기 챔버 내에 구비되며, 금속 박막 롤을 감고 풀 수 있는 제1 회전롤 및 제2 회전롤;상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤 사이에서 금속 박막을 가열하는 가열로;상기 챔버의 일측에 형성되어 상기 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스공급부;상기 챔버의 일측에 형성되어 상기 챔버 내부의 가스를 배출하는 가스배출부; 및상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤을 역회전시키는 역회전 장치를 포함하고,상기 가스공급부는 환원성가스 공급부 및 탄소소스 가스 공급부를 포함하고,상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤이 정회전 하는 경우 상기 챔버 내로 환원성 가스가 공급되고, 상기 제1 회전롤 및 제2 회전롤이 역회전 하는 경우 상기 챔버 내로 탄소소스 가스가 공급되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치
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