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플라즈마 챔버 내의 플라즈마 공간과 윈도우 표면 사이의 경계에 대응하는 관심 공간에 대한 깊이별 복수의 단층 영상을 획득하는 단계;상기 복수의 단층 영상 내에서 각각 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 입자들의 총 개수를 환산하여 모두 합산하는 단계; 상기 합산 값을 각 시점 별로 수집하는 단계; 및상기 수집한 합산 값을 이용하여 상기 윈도우의 클리닝 상태를 판단하는 단계를 포함하며,상기 관심 공간은,상기 윈도우 표면의 시작 지점의 깊이로부터 상기 플라즈마 공간 쪽으로 설정 거리 이격된 깊이까지의 공간이며,상기 윈도우의 클리닝 상태를 판단하는 단계는,현재 시점에서의 상기 합산 값이 제1 임계값 이상인 경우 또는 현재 시점의 합산 값에 플라즈마 발생 전 진공 상태의 시점에서 얻은 합산 값을 차감한 값이 제2 임계값 이상인 경우, 상기 윈도우의 클리닝이 필요한 것으로 판단하는 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 방법
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청구항 1에 있어서,상기 복수의 단층 영상을 획득하는 단계는,상기 플라즈마 챔버 내에 레이저를 조사하여 얻은 3D 홀로그램 영상으로부터 획득하는 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 방법
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플라즈마 챔버 내의 플라즈마 공간과 윈도우 표면 사이의 경계에 대응하는 관심 공간에 대한 깊이별 복수의 단층 영상을 획득하는 영상 획득부;상기 복수의 단층 영상 내에서 각각 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 입자들의 총 개수를 환산하여 모두 합산하는 입자수 연산부;상기 합산 값을 각 시점 별로 수집하는 데이터 수집부; 및상기 수집한 합산 값을 이용하여 상기 윈도우의 클리닝 상태를 판단하는 판단부를 포함하며,상기 관심 공간은,상기 윈도우 표면의 시작 지점의 깊이로부터 상기 플라즈마 공간 쪽으로 설정 거리 이격된 깊이까지의 공간이며,상기 판단부는,현재 시점에서의 상기 합산 값이 제1 임계값 이상인 경우 또는 현재 시점의 합산 값에 플라즈마 발생 전 진공 상태의 시점에서 얻은 합산 값을 차감한 값이 제2 임계값 이상인 경우, 상기 윈도우의 클리닝이 필요한 것으로 판단하는 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 장치
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청구항 6에 있어서,상기 영상 획득부는,상기 플라즈마 챔버 내에 레이저를 조사하여 얻은 3D 홀로그램 영상으로부터 획득하는 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 장치
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