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습식 분위기 하에서 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 단계와, 상기 탄소 함유 박막이 상기 반송막 상에 부착된 상태에서 건식 분위기 하에서 상기 탄소 함유 박막을 펠리클 프레임에 부착하는 단계와, 상기 탄소 함유 박막이 펠리클 프레임에 부착된 상태에서 상기 반송막을 상기 탄소 함유 박막으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 반송막을 상기 탄소 함유 박막으로부터 분리하는 단계 후, 상기 탄소 함유 박막을 건조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 단계 전 또는 상기 반송막을 상기 탄소 함유 박막으로부터 분리하는 단계 후에, 상기 탄소 함유 박막의 두께를 감소시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 습식 분위기 하에서 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 단계는 상기 탄소 함유 박막을 액체 내에 딥핑하는 단계와, 상기 반송막의 적어도 일부가 상기 액체 내에 있는 상태에서 반송막 상에 상기 탄소 함유 박막을 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 단계에서는 액체의 표면 장력 모세관 현상을 이용하여 상기 반송막과 상기 탄소 함유 박막을 부착하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 반송막은 투명 또는 반투명 막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 반송막은 다공성 폴리머 막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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탄소 함유 박막의 제1 면 상에 핸들링(handling) 박막을 형성하는 단계와, 습식 분위기 하에서 반송막 상에 핸들링 박막이 결합된 탄소 함유 박막을 부착하는 단계와, 상기 탄소 함유 박막이 상기 반송막 상에 부착된 상태에서 건식 분위기 하에서 상기 탄소 함유 박막을 펠리클 프레임에 부착하는 단계와, 상기 탄소 함유 박막이 펠리클 프레임에 부착된 상태에서 상기 반송막을 상기 탄소 함유 박막으로부터 분리하는 단계와, 상기 핸들링 박막의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 단계에서는 상기 반송막이 상기 핸들링 박막을 사이에 두고 상기 탄소 함유 박막의 상기 제1 면에 대면하도록 상기 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 단계에서는 상기 탄소 함유 박막의 상기 제1 면의 반대측 면인 제2 면이 상기 반송막에 대면하도록 상기 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착하는 것을 특징으로 하는 펠리클 조립체의 제조 방법
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