| 1 |
1
기판;상기 기판의 상부에 일정 패턴으로 형성되는 크롬층; 및상기 크롬층을 포함하는 기판의 상부에 도포된 양각형 감광제가 선택적으로 노광 및 현상되어 상기 크롬층의 상부에 형성되는 감광층;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드
|
| 2 |
2
기판 상부에 일정 패턴의 크롬층을 형성하는 크롬층 형성단계;상기 크롬층을 포함하는 기판의 상부에 양각형 감광제를 도포하는 감광제 도포단계;상기 기판의 하부에 자외선을 조사하여 상기 양각형 감광제를 선택적으로 노광하는 노광단계; 및상기 크롬층과 상기 크롬층 상부의 감광층으로 이루어진 입체패턴이 형성되도록, 상기 선택적으로 노광된 양각형 감광제가 제거되게 상기 자외선이 조사된 기판을 현상하는 현상단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 현상단계 다음에,현상된 상기 기판에 열을 가하여 상기 감광층의 형상을 조절하는 열처리단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 감광제 도포단계에서는 상기 양각형 감광제가 스핀 코팅 및 스프레이 코팅 중 어느 하나 이상의 방법으로 도포되되,상기 스핀 코팅은,상기 양각형 감광제의 점성에 따라 회전 속도를 가변시켜 실시되는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
| 5 |
5
기판; 및상기 기판의 상부에 형성되며, 음각형 감광제로 이루어진 감광패턴;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 감광패턴은,크롬층을 포함하는 기판의 상부에 도포된 음각형 감광제가 선택적으로 노광 및 현상되어 형성되되,상기 선택적으로 노광된 음각형 감광제를 제외한 상기 크롬층 상부의 음각형 감광제가 제거된 후 상기 크롬층이 제거되어 형성되는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드
|
| 7 |
7
기판 상부에 일정 패턴의 크롬층을 형성하는 크롬층 형성단계;상기 크롬층을 포함하는 기판의 상부에 음각형 감광제를 도포하는 감광제 도포단계;상기 기판의 하부에 자외선을 조사하여 상기 음각형 감광제를 선택적으로 노광하는 노광단계;상기 선택적으로 노광된 음각형 감광제를 제외한 상기 크롬층 상부의 음각형 감광제가 제거되도록, 상기 자외선이 조사된 기판을 현상하는 현상단계; 및상기 크롬층을 제거하여 상기 선택적으로 노광된 음각형 감광제를 감광패턴으로 형성하는 크롬층 제거단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 감광제 도포단계에서는 상기 음각형 감광제가 스핀 코팅 및 스프레이 코팅 중 어느 하나 이상의 방법으로 도포되되,상기 스핀 코팅은,상기 음각형 감광제의 점성에 따라 회전 속도를 가변시켜 실시되는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
| 9 |
9
기판;상기 기판의 상부에 일정 패턴으로 형성되는 크롬층; 및상기 크롬층의 상부에 도금에 의해 형성되는 보조크롬층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드
|
| 10 |
10
기판 상부에 일정 패턴의 크롬층을 형성하는 크롬층 형성단계;상기 크롬층을 포함하는 기판의 상부에 음각형 감광제를 도포하는 감광제 도포단계;상기 기판의 하부에 자외선을 조사하여 상기 음각형 감광제를 선택적으로 노광하는 노광단계;상기 선택적으로 노광된 음각형 감광제를 제외한 상기 크롬층 상부의 음각형 감광제가 제거되도록, 상기 자외선이 조사된 기판을 현상하는 현상단계;상기 음각형 감광제가 제거된 크롬층을 포함한 기판의 상부에 크롬을 도금하여 보조크롬층을 형성하는 크롬 도금단계; 및상기 선택적으로 노광되며 상기 보조크롬층이 도금된 음각형 감광제를 제거하여, 크롬층과 상기 크롬층 상부의 보조크롬층으로 이루어진 크롬패턴을 형성하는 감광제 제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 감광제 도포단계에서는 상기 음각형 감광제가 스핀 코팅 및 스프레이 코팅 중 어느 하나 이상의 방법으로 도포되되,상기 스핀 코팅은,상기 음각형 감광제의 점성에 따라 회전 속도를 가변시켜 실시되는 것을 특징으로 하는 마스터 몰드의 제조방법
|
