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화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거 장치(APPARATUS FOR REMOVING POLLUTANT OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION)

  • 기술번호 : KST2016021096
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 배기가스 처리장치에 관한 것으로서, 화학적 기상 증착 공정시 발생하여 하전되는 오염물질의 제거장치에 있어서, 화학적 기상 증착 공정이 수행되며 일영역에 제1관통공이 형성되는 챔버; 및 상기 제1관통공을 통하여 상기 챔버 내부로 삽입되며, 전압을 인가시 상기 오염물질이 집진되는 집진봉;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이를 통해, 전기적 집진을 통하여 화학적 기상 증착공정 중 하전되는 오염물질을 제거할 수 있는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거 장치를 제공함에 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01) B03C 3/02 (2006.01) C23C 16/24 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/511 (2006.01) C23C 16/56 (2006.01)
CPC C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01)
출원번호/일자 1020150084873 (2015.06.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0148746 (2016.12.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.06.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용진 대한민국 대전광역시 유성구
2 김학준 대한민국 대전 유성구
3 한방우 대한민국 대전광역시 유성구
4 우창규 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0578582-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.12.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2016-0008063-51
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0307897-85
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0616110-06
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0616115-23
7 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.08.01 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-0746567-17
8 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2016.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0116806-63
9 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2016.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0771899-35
10 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2016.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0120127-19
11 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0783360-75
12 등록결정서
Decision to grant
2016.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0831407-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
화학적 기상 증착 공정시 발생하여 하전되는 오염물질의 제거장치에 있어서,화학적 기상 증착 공정이 수행되며 일영역에 제1관통공이 형성되는 챔버; 상기 제1관통공을 통하여 상기 챔버 내부로 삽입되며, 전압을 인가시 상기 챔버 내부의 오염물질이 집진되며 길이방향으로 전후 이동이 가능한 집진봉; 및상기 집진봉이 관통하여 지나가도록 형성되며, 상기 집진봉을 이동시켜 집진봉에 집진된 오염물질을 제거하여 저장하는 호퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 제1관통공은 한 쌍이 상기 챔버의 상호 대향되는 면에 각각 형성되며,상기 집진봉은 상기 챔버의 길이보다 길게 마련되어, 상기 한 쌍의 제1관통공을 통하여 삽입시 양단부가 상기 챔버 외부로 돌출되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 호퍼는 상기 챔버 외부로 돌출된 상기 집진봉의 양단부에 설치되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
4 4
제 2항에 있어서,상기 집진봉은 상기 제1관통공에 삽입된 상태에서 이동가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
5 5
제 3항에 있어서,상기 호퍼에는 제2관통공이 형성되며,상기 집진봉의 양단부는 상기 제2관통공에 삽입된 상태에서 이동가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
6 6
제 3항에 있어서,상기 집진봉에 집진된 오염물질을 제거하는 오염물질 제거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
7 7
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 집진봉은 고전압을 인가하는 고전압 인가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 비전통 에너지 청정 생산기술 개발 (1/3)