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고분자 입자를 압출성형하여 고분자 입자가 서로 넥킹(necking)된 구조를 갖는 성형체를 제조하는 단계;성형체를 경화반응시키는 단계; 및경화된 성형체를 탄화시키는 단계를 포함하며,상기 성형체 제조 단계는, 상기 고분자 입자를 가열하여 연화시키고 압력을 조절함으로써, 상기 고분자 입자가 서로 넥킹된 구조를 갖도록 이루어지고,상기 넥킹된 구조는 상기 고분자 입자가 서로 부분 면접촉되어 연결되며 상기 고분자 입자 사이에 균일한 기공을 갖는 구조인다공성 탄소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 입자는 상온에서 고체 상태인 구형의 열경화성 고분자 입자이며, 입자 크기는 10~500 ㎛인 것을 특징으로 하는다공성 탄소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 입자는 폴리우레탄 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지, 퓨란 수지, 페놀 수지, 석탄계 피치 및 석유계 피치로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는다공성 탄소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 성형체 제조 단계는 50~200℃ 범위의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는다공성 탄소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 경화반응 단계는 50~200℃ 범위의 온도에서 1~72시간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는다공성 탄소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계는 불활성 분위기하 1000~1350℃ 범위의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는다공성 탄소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계는 1~30℃/min의 승온속도로 열처리함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는다공성 탄소재의 제조방법
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조된 다공성 탄소재
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제8항에 있어서,반도체 에칭 공정에 있어서 캐소드로 이용되는 것을 특징으로 하는다공성 탄소재
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