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방사선을 흡수하여 빛을 발생시키는 섬광체; 및상기 섬광체 위에 형성되고, 상기 섬광체에서 발생되는 빛을 흡수하여 전기적인 신호를 발생시키는 광검출기; 및상기 섬광체와 상기 광검출기 사이에 개재되어 상기 섬광체에서 발생한 전기적 신호가 상기 광검출기에 직접 전달되는 것을 차단하는 절연층을 포함하고,상기 광검출기는,서로 이격된 위치에 각각 배치되는 제1 접촉 전극과 제2 접촉 전극;상기 제1 접촉 전극과 상기 제2 접촉 전극의 사이를 연결하고, 빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하는 활성층; 및상기 활성층은, 상기 광검출기가 상기 섬광체에 대응된 형상으로 변형되어 결합될 수 있도록, 연성을 부여하는 2차원 나노 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기
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제1항에 있어서,상기 2차원 나노 물질은 그래핀, 그래핀 옥사이드, 환원된 그래핀 옥사이드 및 그래핀 양자점 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기
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제1항에 있어서,상기 2차원 나노 물질은 MX2의 화학식을 가지고,상기 M은 주기율표상 4 내지 6족에 속하는 원소들 중 하나이며,상기 X는 황(S), 셀레늄(Se) 및 텔루늄(Te) 중 하나인 것을 특징으로 하는 방사선 검출기
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제1항에 있어서,상기 광검출기는,상기 활성층에 밀착되고, 상기 접촉 전극들에 의해 지지되며, 상기 활성층의 외부로의 노출을 제한하는 패시베이션층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기
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절연층이 형성된 섬광체 상에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계;상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기의 제조 방법
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2차원 나노 물질을 포함하는 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 위에 형성하는 단계;소자 전사 임시기판을 상기 광검출기 상에 형성시키고, 상기 실리콘옥사이드 기판을 SiO2 에칭용액에 침전시켜 제거하는 단계; 및상기 광검출기를 지지하는 상기 소자 전사 임시기판을 절연층이 형성된 섬광체의 표면에 부착하는 단계를 포함하고,상기 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 위에 형성하는 단계는,실리콘옥사이드 기판 위에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계;상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함하며,상기 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 상에 형성하는 단계는,실리콘옥사이드 기판 상에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계;상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들의 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 섬광체의 표면에 부착된 상기 소자 전사 임시기판의 제거를 위하여,수분을 제거하는 건조 단계; 및아세톤용액에 침전시켜 화학반응이 이루어지도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기의 제조 방법
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