1 |
1
대상물 상에 THz 빔을 조사하여 반사되어 온 반사 신호를 검출하는 THz 빔 탐지부;THz 빔 방향 각도를 조절하는 갈바노미터 스캐너 및 상기 갈바노미터 스캐너에 의해 각도가 조절된 THz 빔을 대상물을 향해 조사하는 텔레센트릭 f-θ 렌즈를 포함하여 이루어져, THz 빔이 상기 대상물 상에 조사되는 2차원 위치를 조절하는 2차원 스캔부;를 포함하여 이루어져,상기 2차원 스캔부에 의하여 THz 빔이 상기 대상물 상에 조사되는 임의의 2차원 위치가 측정점으로 결정되면, 상기 THz 빔 탐지부에서 검출된 반사 신호를 이용하여 상기 측정점에서의 상기 대상물 형상의 깊이 정보를 TOF(Time-Of-Flight) 방식으로 산출하고, 상기 2차원 스캔부의 각도 조절 구동 신호를 이용하여 상기 측정점의 2차원 위치 정보를 산출하여, 상기 측정점에서의 2차원 위치 정보 및 깊이 정보를 획득하되,복수 개의 상기 측정점이 상기 대상물의 2차원 방향 전체에 걸쳐 분포되어, 각각의 상기 측정점에서 획득된 2차원 위치 정보 및 깊이 정보를 취합하여, 상기 대상물의 3차원 형상 정보를 산출하며,상기 텔레센트릭 f-θ 렌즈는 비축대칭 렌즈인 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|
2 |
2
동일한 펄스 반복률(pulse repetition rate)을 가지되 발생되는 펄스 간에 시간 지연(time delay)을 가지도록 형성되는 제1레이저(111) 및 제2레이저(112)를 포함하여 이루어지며, 상기 제1레이저(111) 및 상기 제2레이저(112) 간 시간 지연이 주기적으로 가변되도록 형성되는 시간지연가변 레이저 발생부(110);상호 상관(cross correlation)을 이용하여 상기 제1레이저(111) 및 상기 제2레이저(112)로부터 출력되는 광펄스들 사이에 시간 지연이 0이 되는 순간에 상호 상관 신호를 발생시키는 상호상관기(121) 및 디지털 펄스를 발생시키는 디지털 펄스 발생부(122)를 포함하여 이루어져, 상기 상호상관기(121)에 의해 발생된 상호 상관 신호를 기준으로 상기 디지털 펄스 발생부(122)에서 펄스를 발생시켜 트리거 신호를 출력하는 트리거 신호 발생부(120); 상기 제1레이저(111)에 의하여 THz 빔을 방출하는 발진기(131), 상기 제2레이저(112)에 의하여 THz 빔을 검출하는 검출기(132), 상기 발진기(131)에서 방출된 THz 빔의 진행 광경로 상에 배치되어, 상기 발진기(131)에서 방출된 THz 빔은 통과시키고 대상물(500)로부터 반사되어 온 THz 빔을 반사시켜 상기 검출기(132)로 입사시키는 빔 스플리터(133), 상기 트리거 신호 발생부(120)에서 발생된 트리거 신호를 기준으로 상기 검출기(132)에서 검출된 THz 빔 반사 신호 및 하기 2차원 스캔 구동부(150)의 각도 조절 구동 신호를 디지털화하는 디지타이저(134)를 포함하여 이루어지는 THz 빔 탐지부(130);상기 발진기(131)에서 방출된 THz 빔을 입사받아 THz 빔 방향 각도를 조절하는 갈바노미터 스캐너(141), 상기 갈바노미터 스캐너(141)에 의해 각도가 조절된 THz 빔을 대상물(500)을 향해 조사하는 텔레센트릭 f-θ 렌즈(142)를 포함하여 이루어지는 THz 빔 스캐너(140);상기 디지털 펄스 발생부(122)에서 발생된 트리거 신호를 기준으로 상기 갈바노미터 스캐너(141)의 각도 조절을 제어하는 2차원 스캔 구동부(150);상기 디지타이저(134)로부터 디지털화된 상기 THz 빔 반사 신호 및 디지털화된 상기 각도 조절 구동 신호를 전달받아, 상기 THz 빔 반사 신호를 분석하여 상기 대상물(500) 형상의 깊이 정보를 산출하고, 각도 조절 구동 신호를 분석하여 상기 THz 빔 반사 신호가 발생된 상기 대상물(500) 상의 2차원 위치 정보를 산출하여, 상기 대상물(500)의 3차원 형상 정보를 산출하는 데이터처리부(160);를 포함하여 이루어지며,상기 텔레센트릭 f-θ 렌즈(142)는 비축대칭 렌즈인 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|
3 |
3
제 2항에 있어서, 상기 2차원 스캔 구동부(150)는상기 디지털 펄스 발생부(122)에서 발생된 트리거 신호를 기준으로 구동용 파형 신호를 발생시키는 파형신호발생부(151),상기 파형신호발생부(151)로부터 전달받은 구동용 파형 신호를 사용하여 상기 갈바노미터 스캐너(141)를 회전시키는 적어도 하나 이상의 회전구동부(152a)(152b)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|
4 |
4
제 2항에 있어서, 상기 THz 빔 탐지부(130)는상기 검출기(132) 및 상기 디지타이저(134) 간 신호 전달 경로 상에 구비되어, 상기 검출기(132)에서 검출된 신호를 증폭하여 상기 디지타이저(134)로 전달하는 증폭기(135)를 구비하는 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|
5 |
5
제 2항에 있어서, 상기 THz 빔 탐지부(130)는상기 발진기(131)에서 나오는 THz 빔의 콜리메이션(collimation)에 사용되거나 또는 상기 빔 스플리터(133)에서 반사되는 THz 빔을 상기 검출기(132)에 집속(focusing)하는데 사용되는 적어도 하나의 비축 포물 거울(off-axis parabolic mirror)(136)을 구비하는 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|
6 |
6
제 5항에 있어서,상기 발진기(131), 상기 검출기(132), 상기 빔 스플리터(133), 상기 비축 포물 거울(off-axis parabolic mirror)(136)들, 상기 갈바노미터 스캐너(141), 상기 텔레센트릭 f-θ 렌즈(142)가 일체로 유닛화된 헤드(head)로 구성되고,상기 발진기(131) 및 상기 검출기(132)로서 광섬유 결합된 발진기 및 검출기가 사용됨으로써 상기 헤드가 이동가능하게(portable) 형성되는 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|
7 |
7
제 6항에 있어서,상기 시간지연가변 레이저 발생부(110)의 제1레이저 및 제2레이저로서 광섬유 펨토초 레이저가 사용됨으로써, 상기 시간지연가변 레이저 발생부(110) 및 상기 헤드가 광섬유로 연결되는 것을 특징으로 하는 비축대칭 렌즈를 포함하는 THz 빔 스캔 고속 3차원 영상 탐지 장치
|