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테스트 대상 소자를 연결하고, 전압 또는 전류를 인가한 상태에서 상기 테스트 대상 소자에 인가되는 전압 또는 전류를 측정하는 DC 파라메터 측정 유닛에 있어서,제1입력단은 입력인가전압(Vin)과 연결되고, 제2입력단은 공통전압(Vcm)과 연결되고, 제3입력단은 출력단자와 연결되고, 제4입력단은 제1 FV 스위치의 일 단자와 연결되고, 출력단은 제1 FI 스위치의 일 단과 연결되는 제1 차동 차이 증폭기와,상기 제1 FI 스위치의 타 단과 일 단이 연결되는 저항 RS와,상기 저항 RS의 타 단과 상기 제1 차동 차이 증폭기의 출력단 사이에 상기 제1 FI 스위치 및 상기 저항 RS와 병렬로 연결되는 제2 FV 스위치와,상기 제1 차동 차이 증폭기의 제4입력단과 상기 저항 RS 타 단 사이에 설치되는 제2 FI 스위치 및복수 개 스위치를 제어하기 위한 제어신호를 인가하는 제어부가 포함하며,상기 저항 RS의 타 단과 공통전압(Vcm) 사이에 테스트 대상 소자(Device Under Test)가 구비되는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제1항에 있어서,상기 제어부는 상기 테스트 대상 소자에 입력인가전압(Vin)을 인가하고자 할 경우에는 상기 제1 FV 스위치 및 상기 제2 FV 스위치를 온시키고, 상기 제1 FI 스위치 및 상기 제2 FI 스위치를 오픈시키는 제어신호를 인가하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제1항에 있어서,상기 제어부는 상기 테스트 대상 소자에 전류를 인가하고자 할 경우에는 상기 제1 FV 스위치 및 상기 제2 FV 스위치는 오프시키고, 상기 제1 FI 스위치 및 상기 제2 FI 스위치를 온시키는 제어신호를 인가하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제3항에 있어서,상기 저항 RS는 직렬 연결되는 분기 저항 및 분기 스위치가 복수 개 병렬로 연결되도록 구성되며, 상기 복수 개 분기 저항은 서로 다른 저항값을 갖도록 구비되며, 상기 제어부는 상기 분기 스위치 중에 하나만을 선택적으로 온시키는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제1항에 있어서,제1입력단은 상기 제1 차동 차이 증폭기의 출력단과 연결되고, 제2입력단은 상기 저항 RS의 타 단과 연결되며, 제4입력단은 공통전압(Vcm)과 연결되는 제2 차동 차이 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제5항에 있어서,상기 제2 차동 차이 증폭기의 출력단과 일 단이 연결되고, 타 단은 제2 차동 차이 증폭기의 제3입력단과 연결되는 VM2 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제6항에 있어서,상기 VM2 스위치의 양 단 사이에서 상호 직렬로 연결되는 제1 VM1 스위치 및 저항 R2와,상기 VM2 스위치의 타 단과 상기 공통전압(Vcm) 사이에서 직렬로 연결되는 제2 VM1 스위치와 저항 R1을 포함하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제7항에 있어서,상기 제어부는 제1 VM1 스위치 및 상기 제2 VM1 스위치를 동시에 온/오프 제어하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제8항에 있어서,상기 제어부는 상기 제1 VM1 스위치 및 상기 제2 VM1 스위치를 온 상태로 스위치 시킬 경우에는 상기 VM2 스위치는 오프 상태로 스위치 시키고, 상기 제1 VM1 스위치 및 상기 제2 VM1 스위치를 오프 상태로 스위치 시킬 경우에는 상기 VM2 스위치는 온 상태로 스위치 시키는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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테스트 대상 소자를 연결하고, 전압 또는 전류를 인가한 상태에서 상기 테스트 대상 소자에 인가되는 전압 또는 전류를 측정하는 계측 증폭기를 포함하는 DC 파라메터 측정 유닛에 있어서,상기 테스트 대상 소자에 전압 또는 전압을 선택적으로 인가하는 전압 및 전류 인가 소자와,일 단은 상기 전압 및 전류 인가 소자의 출력단과 연결되고, 타 단은 상기 테스트 대상 소자의 일 단과 연결되는 저항 RS와,상기 계측 증폭기는 차동 차이 증폭기로 형성되며, 상기 차동 차이 증폭기는 제1입력단이 상기 전압 및 전류 인가 소자의 출력단과 연결되고, 제2입력단이 상기 저항 RS의 타 단과 연결되고, 제3입력단이 VM2 스위치의 일 단과 연결되고 상기 VM2 스위치의 타 단은 출력단과 연결되고, 제4입력단은 공통전압(Vcm)과 연결되는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제11항에 있어서,상기 VM2 스위치의 양 단 사이에서 상호 직렬로 연결되는 제1 VM1 스위치 및 저항 R2와,상기 VM2 스위치의 타 단과 상기 공통전압(Vcm) 사이에서 직렬로 연결되는 제2 VM1 스위치와 저항 R1을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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제11항 또는 제12항에 있어서,상기 저항 RS는 직렬 연결되는 분기 저항 및 분기 스위치가 복수 개 병렬로 연결되도록 구성되며, 상기 복수 개 분기 저항은 서로 다른 저항값을 갖도록 구비되며, 복수 개 스위치를 제어하기 위한 제어신호를 인가하는 제어부가 더 구비되며, 상기 제어부는 상기 분기 스위치 중에 하나만을 선택적으로 온시키는 것을 특징으로 하는 차동 차이 증폭기를 이용한 DC 파라메터 측정 유닛
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