| 1 |
1
그래핀 박막을 포함하는 진공감지부를 구비하는 평판 표시 소자에 있어서,상기 그래핀 박막은 층간 간격이 있는 2층 이상의 그래핀 층을 포함하고, 상기 진공감지부는 상기 그래핀 층의 굴곡 정도에 따라 변하는 저항값을 검출하여 진공도를 감지하는, 평판 표시 소자
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 기판;상기 기판에 배치되는 전자 소자; 및기체로부터 전자 소자를 보호하도록 상기 전자 소자를 봉지하는 봉지부를 더 포함하고,상기 진공감지부가 상기 봉지부 내의 기판 상부에 배치되어 상기 봉지부로 침투하는 기체를 감지할 수 있는 평판 표시 소자
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 그래핀 박막은 X-선 회절 측정으로부터 산출된 층간간격(interlayer spacing, d002)이 0
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항에 따른 그래핀 박막을 포함하는 진공감지부를 구비하는 가스 투과율 측정 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 시험편이 삽입되어 시험편의 가스 투과율을 측정하기 위한 셀;상기 셀 일면에 연결되어 상기 셀을 진공으로 배기하는 진공연결부 및상기 시험편에 의해 분할된 두 개의 구역 중 하나에 배치되어 측정가스가 주입 및 배출되는 측정가스 주입구 및 측정가스 배출구를 더 포함하고,상기 진공감지부가 상기 시험편에 의해 분할된 두 개의 구역 중 다른 하나에 배치되어 상기 측정 가스가 상기 시험편을 투과하는 투과율을 측정할 수 있는 가스 투과율 측정 장치
|
| 8 |
8
제6항에 있어서, 상기 진공감지부의 일 표면에 연결되는 가열 수단을 포함하는 가스 투과율 측정 장치
|
| 9 |
9
제6항에 있어서,상기 그래핀 박막은 X-선 회절 측정으로부터 산출된 층간간격(interlayer spacing, d002)이 0
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
제1항에 따른 그래핀 박막을 포함하는 진공감지부를 구비하는 우주탐사에 사용되는 구조물
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 측정된 저항을 진공도로 변환하는 신호 변환부 및상기 우주탐사에 사용되는 구조물 내부의 진공도 수치를 표시할 수 있는 디스플레이부를 더 포함하는 우주탐사에 사용되는 구조물
|
| 13 |
13
제11항에 있어서, 상기 우주탐사에 사용되는 구조물은 우주복, 우주탐사 프로브 및 우주탐사 로봇 중 선택되는 어느 하나인 우주탐사에 사용되는 구조물
|
| 14 |
14
제11항에 있어서,상기 그래핀 박막은 X-선 회절 측정으로부터 산출된 층간간격(interlayer spacing, d002)이 0
|
| 15 |
15
삭제
|
