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이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치 및 이를 이용한 나노 입자 생성 장치(Induction Plasma Torch with Dual Frequency Power and Nono-sized Particles Production Apparatus using the Same)

  • 기술번호 : KST2017000178
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치에 관한 것으로서, 내부에 열플라즈마가 형성되는 공간을 제공하는 중공형 가둠관, 상기 가둠관을 감싸는 유도 코일 및 상기 유도 코일에 전력을 공급하는 전력 공급원을 포함하되, 상기 전력 공급원은 두 개 이상의 서로 다른 주파수를 가지는 전력을 상기 유도 코일에 공급함으로써, 가둠관 내의 열 플라즈마의 온도 분포를 효과적으로 제어하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H05H 1/26 (2006.01) B22F 9/14 (2006.01)
CPC H05H 1/26(2013.01) H05H 1/26(2013.01) H05H 1/26(2013.01)
출원번호/일자 1020150090286 (2015.06.25)
출원인 한국기계연구원, 전북대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0000994 (2017.01.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.06.25)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박희창 대한민국 대전광역시 유성구
2 윤동원 대한민국 대전광역시 유성구
3 서준호 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
4 남준석 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
5 이미연 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
6 김정수 대한민국 서울특별시 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0615483-07
2 보정요구서
Request for Amendment		 2015.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0110526-10
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0725120-41
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0045568-79
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0289410-52
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.06.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0596463-37
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0596509-49
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0745964-08
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-1243060-96
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.12.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1243021-15
13 등록결정서
Decision to grant		 2017.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0077337-90
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
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번호 청구항
1 1
이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치에 관한 것으로서, 내부에 열플라즈마가 형성되는 공간을 제공하는 중공형 가둠관;상기 가둠관을 감싸는 유도 코일; 및상기 유도 코일에 전력을 공급하는 전력 공급원을 포함하되,상기 전력 공급원은 두 개의 서로 다른 주파수 대역을 가지는 전력을 상기 유도 코일에 공급할 수 있도록, 저주파 전력 형성 인버터, 상기 저주파 전력보다 높은 주파수의 전력을 형성하는 고주파 전력 형성 인버터 및 변류기를 포함하며, 상기 저주파 전력 형성 인버터와 상기 고주파 전력 형성 인버터의 출력단은 상기 변류기의 1차측을 구성하고, 상기 변류기의 2차측에는 상기 유도코일이 연결되어, 상기 고주파 전력과 상기 저주파 전력이 동시 이중 주파수(Simultaneous Dual Frequency;SDF) 방식으로 변조되어 상기 유도 코일에 공급되는 것을 특징으로 하는, 이중 주파수 전력 구동 유도 결합 플라즈마 토치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 두 개의 서로 다른 주파수 대역을 가지는 전력 중, 저주파 전력은 0
3 3
청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 두 개의 서로 다른 주파수 대역을 가지는 전력은 서로 구별된 두 개의 전력 소스에 의하여 구현되는 것을 특징으로 하는 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치
4 4
청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 두 개의 서로 다른 주파수 대역을 가지는 전력은 하나의 전력 소스와 이와 병렬로 연결된 두 개의 인버터에 의하여 구현되는 것을 특징으로 하는 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
청구항 1에 있어서, 나노 금속 입자 선구체(precursor)를 가둠관 내로 유입하기 위한 주입 탐침을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치
9 9
나노 입자 생성 장치에 관한 것으로서, 나노 입자의 선구체 공급 장치; 및 상기 나노 입자 선구체 공급 장치로부터 나노 입자 선구체를 공급받아 증발시켜 나노 입자를 형성하는 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치를 포함하여 구성되되,상기 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치는 내부에 열플라즈마가 형성되는 공간을 제공하는 중공형 가둠관;상기 가둠관을 감싸는 유도 코일; 및상기 유도 코일에 전력을 공급하는 전력 공급원을 포함하되, 상기 전력 공급원은 두 개의 서로 다른 주파수 대역을 가지는 전력을 상기 유도 코일에 공급할 수 있도록, 저주파 전력 형성 인버터, 상기 저주파 전력보다 높은 주파수의 전력을 형성하는 고주파 전력 형성 인버터 및 변류기를 포함하며, 상기 저주파 전력 형성 인버터와 상기 고주파 전력 형성 인버터의 출력단은 상기 변류기의 1차측을 구성하고, 상기 변류기의 2차측에는 상기 유도코일이 연결되어, 상기 고주파 전력과 상기 저주파 전력이 동시 이중 주파수(Simultaneous Dual Frequency;SDF) 방식으로 변조되어 상기 유도 코일에 공급되는 것을 특징으로 하는, 나노 입자 생성 장치
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 나노 입자 선구체는 주입 탐침을 통하여 상기 나노 입자의 선구체 공급 장치로부터 상기 가둠관 내로 유입되는 것을 특징으로 하는 나노 입자 생성 장치
11 11
청구항 9에 있어서, 상기 나노 입자 선구체는 금속, 산화금속 및 세라믹 중에서 선택된 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 나노 입자 생성 장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10785860 US 미국 FAMILY
2 US20180192504 US 미국 FAMILY
3 WO2016209007 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2018192504 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2016209007 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 전북대학교 산학협력단 기술료지원사업 플라즈마 이용 기능성 나노신소재 상용화를 위한 150 kVA급 RF 플라즈마 시스템 Pilot 구축