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기판 상에 배치되고 디랙 콘들이 디랙점에서 만나는 밴드 구조를 갖는 디랙 물질 패턴;상기 디랙 물질 패턴의 양단에 각각 접속하는 소오스 전극과 드레인 전극;상기 기판 상에 배치되고 상기 디랙 물질 패턴 상에서 캐버티를 구비하는 스페이서층; 및상기 캐버티 상부에 배치되고 상기 디랙 물질 패턴과 중첩된 게이트 전극을 포함하되,상기 게이트 전극과 상기 디랙 물질 패턴 사이의 거리가 가까워지거나 멀어지는 각 경우에, 상기 디랙 물질 패턴에 흐르는 전류의 절대값이 펄스 모양을 나타내는 압력 감지 소자
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제1항에 있어서,상기 디랙 물질은 Pmmn 보론, 그래핀(graphenes), 그래파인(graphynes), 실리센(silicene), 게르마넨(germanene), (VO)n/(TiO2)m, (CrO2)n/(TiO2)m, SG-10b, GAL(single-walled hexagonal graphene antidote lattice), so_MoS2, α-(BEDT-TTF)2I3, Pb2(C6H4)3, Ni2(C6H4)3, Co2(C6H4)3, 및 Bi2Se3으로 이루어진 군에서 선택되는 층을 포함하는 압력 감지 소자
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제1항에 있어서,상기 게이트 전극에 인가하는 압력을 증가 또는 감소시킬 때, 상기 디랙 물질 패턴의 페르미면은 디랙점을 지나는 압력 감지 소자
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제1항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴의 불순물에 의한 전하의 개수(n0)는 하기 수학식들 중 어느 하나를 만족하는 범위 내에 있는 압력 감지 소자
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제1항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴 상에 배치된 패시베이션층을 더 포함하는 압력 감지 소자
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제1항에 있어서,상기 게이트 전극 상부에 배치된 덮개층을 더 포함하는 압력 감지 소자
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기판 상에 디랙 콘들이 디랙점에서 만나는 밴드 구조를 갖는 디랙 물질 패턴을 형성하는 단계;상기 디랙 물질 패턴의 양단에 각각 접속하는 소오스 전극과 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 기판 상에 상기 디랙 물질 패턴 상에서 캐버티를 구비하는 스페이서층을 형성하는 단계; 및상기 스페이서층 상에 게이트 전극을 상기 디랙 물질 패턴과 중첩되도록 배치하는 단계를 포함하고,상기 게이트 전극과 상기 디랙 물질 패턴 사이의 거리가 가까워지거나 멀어지는 각 경우에, 상기 디랙 물질 패턴에 흐르는 전류의 절대값이 펄스 모양을 나타내는 압력 감지 소자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴의 페르미면의 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 압력 감지 소자 제조방법
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제9항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴의 페르미면의 위치를 조절하는 것은 상기 디랙 물질 패턴을 열처리하는 단계를 포함하는 압력 감지 소자 제조방법
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제9항 또는 제10항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴의 페르미면의 위치를 조절하는 것은 상기 디랙 물질 패턴을 도핑하는 단계를 포함하는 압력 감지 소자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴 상에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함하는 압력 감지 소자 제조방법
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기판 상에 배치되고 디랙 콘들이 디랙점에서 만나는 밴드 구조를 갖는 디랙 물질 패턴, 상기 디랙 물질 패턴의 양단에 각각 접속하는 소오스 전극과 드레인 전극, 상기 기판 상에 배치되고 상기 디랙 물질 패턴 상에서 캐버티를 구비하는 스페이서층, 및 상기 캐버티 상에 배치되고 상기 디랙 물질 패턴과 중첩된 게이트 전극을 구비하고, 상기 게이트 전극과 상기 디랙 물질 패턴 사이의 거리가 가까워지거나 멀어지는 각 경우에, 상기 디랙 물질 패턴에 흐르는 전류의 절대값이 펄스 모양을 나타내는 압력 감지 소자를 제공하는 단계;상기 소오스 전극에 기준전압, 상기 드레인 전극에 드레인 전압, 및 상기 게이트 전극에 게이트 전압을 인가하는 단계; 및상기 게이트 전극에 인가하는 압력을 증가 또는 감소시키면서, 상기 드레인 전류를 측정하는 단계를 포함하는 압력 감지 소자 동작방법
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제13항에 있어서,상기 게이트 전극에 인가하는 압력을 증가 또는 감소시킬 때, 상기 디랙 물질 패턴의 페르미면은 디랙점을 지나는 압력 감지 소자 동작방법
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제13항에 있어서,상기 디랙 물질 패턴의 불순물에 의한 전하의 개수(n0)는 하기 수학식들 중 어느 하나를 만족하는 범위 내에 있는 압력 감지 소자 동작방법
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제13항에 있어서,상기 압력 감지 소자는 상기 디랙 물질 패턴 상에 배치된 패시베이션층을 더 포함하는 압력 감지 소자 동작방법
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제13항에 있어서,상기 압력 감지 소자는 상기 게이트 전극 상부에 배치된 덮개층을 더 포함하는 압력 감지 소자 동작방법
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