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기재 상에 10 nm 내지 100 nm 두께의 제1 금속 박막 패턴을 형성하는 단계; 화학기상증착(chemical vapor deposition; CVD) 방법에 의해 상기 제1 금속 박막 패턴 상에 제1 그래핀 패턴 층을 증착함과 동시에 상기 제1 금속 박막 패턴을 증발시키는 단계;상기 제1 그래핀 패턴 층이 형성된 상기 기재 상에 10 nm 내지 100 nm 두께의 제2 금속 박막 패턴을 형성하는 단계; 및화학기상증착 방법에 의해 상기 제2 금속 박막 패턴 상에 제2 그래핀 패턴 층을 증착함과 동시에 상기 제2 금속 박막 패턴을 증발시켜 그래핀 적층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 그래핀 적층 패턴 형성 방법으로서,상기 그래핀 적층 패턴 형성 방법을 2 회 이상 반복 수행하는 것을 포함하며,상기 그래핀 적층 패턴은, 상기 제1 그래핀 패턴 층 및 상기 제2 그래핀 패턴 층 각각의 증착 시 상기 제1 금속 박막 패턴 및 상기 제2 금속 박막 패턴이 증발됨으로써 상기 제1 그래핀 패턴 층 및 상기 제2 그래핀 패턴 층이 서로 접촉되어 적층되어, 그래핀 메쉬 또는 그래핀 격자 모양으로 형성되는 것인,그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀 적층 패턴 형성 방법은, 상기 기재 상에 서로 상이한 형상을 가지는 그래핀 패턴들이 적층되어 형성되는 것을 포함하는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 화학기상증착 방법은 고온 화학기상증착(rapid thermal chemical vapor deposition; RTCVD), 유도결합플라즈마 화학기상증착(inductively coupled plasma-chemical vapor deposition; ICP-CVD), 저압 화학기상증착(low pressure chemical vapor deposition; LPCVD), 상압 화학기상증착(atmospheric pressure chemical vapor deposition; APCVD), 금속 유기화학기상증착(metal organic chemical vapor deposition; MOCVD), 플라즈마 화학기상증착(plasma-enhanced chemical vapor deposition; PECVD), 및 이들의 조합들로 이루어지는 군에서 선택되는 방법을 포함하는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 화학기상증착 방법은 300℃ 내지 2,000℃의 온도 범위에서 수행되는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기재는 실리콘, 그래핀, 유리, 석영, 산소, 탄소펠트, 사파이어, 질화실리콘, 탄화실리콘, 산화실리콘, 티타늄 코팅기판, 세라믹, 금속, 또는 플라스틱을 포함하는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 금속 박막 패턴 및 상기 제2 금속 박막 패턴은 각각 독립적으로 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, Ge, 황동(brass), 청동(bronze), 백동, 스테인레스 스틸(stainless steel), 및 이들의 조합들로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 금속 또는 합금을 포함하는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 금속 박막 패턴 및 상기 제2 금속 박막 패턴은 각각 독립적으로 원자층증착(atomic layer deposition; ALD), 스퍼터링(sputtering), 열증착(thermal evaporation), 전자빔 증착(e-beam evaporation), 분자빔 증착(molecular beam epitaxy; MBE), 펄스레이저증착(pulsed laser deposition; PLD), 화학기상증착(chemical vapour deposition; CVD), 졸겔(sol-gel) 방법, 및 이들의 조합들로 이루어지는 군에서 선택되는 방법에 의해 형성되는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 그래핀 패턴 층 및 상기 제2 그래핀 패턴 층은 각각 독립적으로 상압, 저압, 또는 진공 하에 형성되는 것인, 그래핀 적층 패턴 형성 방법
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