| 1 |
1
파장가변레이저 혹은 백색광을 광원으로 사용해 간섭계를 구현하고 이를 검출하여, 이를 Fourier transform을 통해 추출한 주파수 정보와 위상 정보를 이용하여 다층 표면형상 정보를 획득하는 기술
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,점, 선 또는 면적빔 간섭계를 통해 획득된 간섭신호를 Fourier transform하여 획득된 주파수영역의 스펙트럼 정보를 획득 후 간섭 신호에 의해 발생한 최댓값 위치를 찾은 후 각각의 신호를 분리하고, 이를 inverse Fourier transform 하여 다층에 의해 발생한 복합 간섭신호를 각각의 단층에 발생한 간섭신호로 분리하는 기술
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,각각의 단층에 발생한 간섭신호의 파수 영역에서의 위상변화를 추적 후 이를 미분하여 위상 기울기 값을 추출하여 각 층별 높이 정보를 획득하며, 획득된 층별 표면형상 정보를 결합하여 다층 표면형상 정보를 획득하는 기술
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,간섭계의 광학적 설계를 하여 점, 선, 면 영상을 얻는 기술로써, 점형빔 조명광학계를 구성하기 위해 렌즈를 사용하여 빔 스플리터 뒷단에 위치한 샘플단과 레퍼런스단에 점형빔 초점이 생성되도록 하는 기술과 선형빔 조명광학계를 구성하기 위해 빔 스플리터 앞단에 실린더 렌즈를 삽입하여, 빔 스플리터 뒷단에 위치한 샘플단과 레퍼런스단에 선형빔 초점이 생성되도록 설계하는 기술과 면적빔 조명 광학계를 구현하기 위해 빔 스플리터 앞단에 집광할 수 있는 렌즈를 삽입하여, 빔 스플리터 뒷단에 위치한 샘플단과 레퍼런스단에 면적빔이 조사되도록 설계 하는 기술
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,광원으로 백색광을 이용하여 점 또는 선형빔 간섭계에 입사하고 측정단은 점 또는 선형빔 분광계를 통해서 다층 표면형상 획득 시스템에 적용하는 기술
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,백색광으로써, semiconductor optical amplifier, light emitting diode, superluminescent diode 등을 포함하는 반도체 기반 광원과 Erbium doped fiber amplifier, Raman amplifier 등을 포함하는 광섬유 기반 광원, 또는 램프 등 다양한 광원을 사용하여 다층 표면형상 획득 시스템에 적용하는 기술
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,광원으로 파장가변 레이저를 이용하여 점, 선, 면적빔 간섭계에 입사하고 측정단은 점, 선, 면적 이미지 센서를 사용하여 시간에 따른 분광정보를 획득을 통해서 다층 표면형상 획득 시스템에 적용하는 기술
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,파장가변 레이저로써, fiber Fabry-Perot tunable filter를 이용한 광섬유 파장가변레이저, 레이저 공진기 분산값을 조절하여 파장가변 시키는 광섬유 파장가변레이저, 회절소자와 스캔미러 (Galvo-mirror) 또는 폴리곤 미러 (polygon mirror)를 이용한 파장가변레이저, 브레그 그레이팅 (Bragg grating) 기반의 파장가변레이저 등을 포함하는 다양한 파장가변레이저를 점, 선 면적빔 간섭계를 이용한 다층 표면형상 획득 시스템에 적용하는 기술
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,점, 선, 면적빔 간섭계 기반 대면적 단층영상과 표면형상 동시 획득 기술을 이용하여 반도체 검사, 디스플레이 검사뿐만 아니라 생명공학, 의학, 농업분야 등 다양한 분야에 적용되어 내부검사 및 표면형태를 검사하는 기술
|
