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압전 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법(Property testing apparatus and method of piezoelectric thin film)

  • 기술번호 : KST2017000762
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압전 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것으로서, 자유지지된 압전 나노박막에 진공 및 전압을 인가해 압전 나노박막이 변형되도록 하고 그 변형되는 정도를 측정하여 압전 나노박막의 기계적 물성 및 압전 물성을 측정할 수 있는 압전 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL
CPC G01B 21/32(2013.01) G01B 21/32(2013.01) G01B 21/32(2013.01) G01B 21/32(2013.01)
출원번호/일자 1020150096881 (2015.07.08)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0006364 (2017.01.18) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.07.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이충광 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
3 황보윤 대한민국 대전광역시 유성구
4 이학주 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0659587-66
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0077484-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0155108-59
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0412414-86
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0412398-32
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0529621-87
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0921504-92
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0921520-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
11 등록결정서
Decision to grant
2018.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0030819-95
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번호 청구항
1 1
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삭제
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상하를 관통하는 관통공이 형성된 기판의 상면에 상기 관통공을 덮도록 압전 나노박막이 밀착되어, 상기 관통공이 형성된 부분에서 압전 나노박막이 떠있는 형태로 자유지지되도록 형성된 기판을 고정하는 단계(S10);상기 기판의 관통공 내측을 미리 설정된 압력으로 진공을 형성하여 상기 압전 나노박막이 관통공의 내측으로 당겨져 1차로 오목하게 변형되도록 하는 단계(S20);측정 수단인 원자현미경(Atomic force microscope) 또는 간섭계(Interferometer)를 이용하여 상기 압전 나노박막이 관통공의 내측으로 들어간 제1깊이(h1)를 측정하는 단계(S30);상기 진공 압력에 의해 압전 나노박막이 1차로 변형된 상태에서, 상기 압전 나노박막에 상하방향으로 전압을 인가하여 압전 나노박막이 2차로 오목하게 변형되도록 하는 단계(S40); 및측정 수단인 원자현미경(Atomic force microscope) 또는 간섭계(Interferometer)를 이용하여 상기 압전 나노박막이 관통공의 내측으로 들어간 제2깊이(h2)를 측정하는 단계(S50);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전 나노박막의 물성 시험 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 S10단계는, 상기 압전 나노박막의 상면에 형성된 상부 전극 및 하면에 형성된 하부 전극을 전압 인가부에 연결하는 단계(S11)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노박막의 물성 시험 방법
6 6
제4항에 있어서,상기 압전 나노박막에 작용하는 진공 압력(p), 인가된 전압(V) 및 상기 측정된 제2깊이(h2)와 제1깊이(h1)의 차인 변형량(δ33)을 이용해, 입력을 전압으로 하고 출력을 변형으로 나타내는 압전상수인 d33 및 입력을 변형으로 하고 출력을 전압으로 나타내는 압전상수인 g33 을 산출하는 단계(S60)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전 나노박막의 물성 시험 방법
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제6항에 있어서,상기 압전상수 g33 은 아래의 식 1 또는 식 2를 이용해 산출되는 것을 특징으로 하는 압전 나노박막의 물성 시험 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 압전상수 d33 은 아래의 식 3을 이용해 산출되는 것을 특징으로 하는 압전 나노박막의 물성 시험 방법
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제7항에 있어서,상기 압전상수 d33 은 아래의 식 4를 이용해 산출되는 것을 특징으로 하는 압전 나노박막의 물성 시험 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 기계 융합기술 (1/2)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 나노소재 응용 고성능 유연소자 기술기반 구축사업 (3/5)