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전자장치 제조방법 및 이를 이용해 제조된 전자장치(Method for manufacturing electronic device and electronic device manufactured using the same)

  • 기술번호 : KST2017000772
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 컨택저항을 줄일 수 있는 전자장치 제조방법 및 이를 이용해 제조된 전자장치를 위하여, 제1막을 준비하는 단계와, 제1막 상에 제1전극층을 형성하는 단계와, 제1전극층을 덮으면서 제1막 외측으로 연장되는 제2전극층을 형성하는 단계와, 제1막을 덮도록 제2막을 형성하는 단계와, 제1막과 제2막을 기판 상에 위치시키는 단계와, 제2막을 제거하는 단계를 포함하는, 전자장치 제조방법 및 이를 이용해 제조된 전자장치를 제공한다.
Int. CL
CPC H01L 21/28026(2013.01) H01L 21/28026(2013.01)
출원번호/일자 1020150098416 (2015.07.10)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0006948 (2017.01.18) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.07.10)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상욱 대한민국 서울특별시 광진구
2 김학성 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 서울특별시 광진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-0670173-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.05.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0021153-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0412832-69
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0767718-41
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0767717-06
7 등록결정서
Decision to grant
2016.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0939471-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
지지체 상에 제1막을 준비하는 단계;모든 가장자리 제1막 내에 위치하도록 제1막 상에 제1전극층을 형성하는 단계;제1전극층을 덮으면서 제1막 외측으로 연장되어 지지체와 컨택하도록 제2전극층을 형성하는 단계;제1막을 덮도록 제2막을 형성하는 단계;제1막과 제2막을 기판 상에 위치시키는 단계; 및제2막을 제거하는 단계;를 포함하며,상기 제2전극층을 형성하는 단계에서 사용하는 제2전극물질과 지지체 사이의 접합력은 상기 제1전극층을 형성하는 단계에서 사용하는 제1전극물질과 지지체 사이의 접합력보다 약한, 전자장치 제조방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,제1전극층 상에 제1전극층의 가장자리와 동일한 가장자리를 갖는 제1보조전극층을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제2전극층을 형성하는 단계는, 제1보조전극층을 덮으면서 제1막 외측으로 연장되는 제2전극층을 형성하는 단계인, 전자장치 제조방법
5 5
제4항에 있어서,제1보조전극층과 제2전극층은 동일 물질로 형성된, 전자장치 제조방법
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,제1전극물질은 팔라듐, 크롬 또는 티탄을 포함하고, 제2전극물질은 금, 은 또는 니켈을 포함하는, 전자장치 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 제2막을 형성하는 단계와 상기 제1막과 제2막을 기판 상에 위치시키는 단계 사이에, 제1막과 제2막을 지지체로부터 분리하는 단계를 더 포함하는, 전자장치 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 제1막과 제2막을 기판 상에 위치시키는 단계는, 제2전극층이 기판 상의 제3전극층에 대응하도록 위치시키는 단계인, 전자장치 제조방법
10 10
제8항에 있어서,상기 제1막과 제2막을 기판 상에 위치시키는 단계는, 제2전극층이 기판 상의 제3전극층에 컨택하도록 위치시키는 단계인, 전자장치 제조방법
11 11
제9항 또는 제10항에 있어서,제3전극층은 제2전극층과 동일 물질로 형성된, 전자장치 제조방법
12 12
제1항에 있어서,제1막은 유기반도체물질, 그래핀, 탄소나노튜브 또는 전이금속 칼코겐화물(transition metal dichalcogenide)을 포함하는, 전자장치 제조방법
13 13
제1항에 있어서,제2막은 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA; polymethylmethacrylate), 싸이토프(CYTOP), 에틸락테이트(ethyl lactate), 폴리프로필렌카보네이트(PPC; poly propylene carbonate) 또는 폴리(알파클로로아크릴레이트-코-알파메틸스티렌)(ZEP; poly(α-chloroacrylate-co-α-methyl styrene))을 포함하는, 전자장치 제조방법
14 14
기판;상기 기판 상에 배치된 제3전극층;일단이 상기 제3전극층 상에 위치하되 상기 제3전극층의 상면의 일부가 노출되도록 상기 제3전극층 상에 위치하는 제1막;모든 가장자리가 상기 제1막 내에 위치하도록 상기 제1막 상에 위치한 제1전극층; 및상기 제1전극층을 덮으면서 제1막 외측으로 연장되어 상기 제3전극층의 상기 제1막 외측으로 노출된 부분에 컨택하는 제2전극층;을 구비하는, 전자장치
15 15
삭제
16 16
제14항에 있어서,상기 제1전극층과 상기 제2전극층 사이에 개재되며 상기 제1전극층의 가장자리와 동일한 가장자리를 갖는 제1보조전극층을 더 구비하는, 전자장치
17 17
제16항에 있어서,상기 제1보조전극층과 상기 제2전극층은 동일 물질을 포함하는, 전자장치
18 18
제14항, 제16항 및 제17항 중 어느 한 항에 있어서,제1전극층은 팔라듐, 크롬 또는 티탄을 포함하고, 상기 제2전극층은 금, 은 또는 니켈을 포함하는, 전자장치
19 19
제14항, 제16항 및 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제3전극층과 상기 제2전극층은 동일 물질을 포함하는, 전자장치
20 20
제14항, 제16항 및 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1막은 유기반도체물질, 그래핀, 탄소나노튜브 또는 전이금속 칼코겐화물(transition metal dichalcogenide)을 포함하는, 전자장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 건국대학교 산학협력단 기초연구사업(중견연구자-핵심연구) 탄소만으로 이루어진 나노 전자, 나노 전기역학 시스템 개발