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복수 개의 PIN 다이오드 셀이 배치되고, 상기 복수 개의 PIN 다이오드 셀 중 미리 지정된 PIN 다이오드 셀을 이용하여 셀 패턴이 형성되는 셀 어레이부; 및상기 미리 지정된 PIN 다이오드 셀의 구동을 제어하는 구동 회로부를 포함하고,상기 구동 회로부는, 상기 셀 어레이부에 형성된 셀 패턴에 대응하는 PIN 다이오드 셀로 출력 전압을 인가하여 상기 셀 패턴의 다이오드 부하를 구동하는 DC-DC 변환기를 구비한 직류 변환부; 및 상기 셀 패턴의 다이오드 부하에 대한 정전류를 제어하여 상기 PIN 다이오드 셀의 플라즈마 농도를 조절하는 정전류 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 1에 있어서,상기 셀 패턴은,상기 미리 지정된 PIN 다이오드 셀이 직렬로 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 1에 있어서,상기 셀 패턴은, 상기 미리 지정된 PIN 다이오드 셀이 병렬로 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 1에 있어서,하나의 셀 패턴을 복수 개로 분할하여 복수 개의 다이오드 부하를 구성하는 경우, 상기 DC-DC 변환기의 유형에 따라 각 다이오드 부하를 구성하는 PIN 다이오드 셀의 개수가 조절되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 1에 있어서,상기 구동 회로부는,상기 셀 패턴과 상기 직류 변환부 사이 및 상기 셀 패턴과 상기 정전류 제어부 사이의 신호를 단속하는 스위치부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 5에 있어서,상기 스위치부는,상기 셀 어레이부에 복수 개의 셀 패턴이 형성된 경우, 각각의 셀 패턴에 대응하는 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 5에 있어서,상기 스위치부는,하나의 셀 패턴을 복수 개로 분할하여 복수 개의 다이오드 부하를 구성하는 경우, 분할된 각 패턴에 대응하는 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 7에 있어서,상기 셀 패턴은,상기 분할된 각 패턴에 대응하는 스위치의 동작에 따라 해당 셀 패턴의 길이를 조절되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 5에 있어서,상기 스위치부는,복수 개의 신호에 대한 입출력을 제어하는 논리 제어 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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청구항 1에 있어서,상기 셀 어레이부는,상기 미리 지정된 PIN 다이오드 셀을 이용하여 형성된 셀 패턴을 제외한 영역에 더미 패턴(dummy pattern)이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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11
청구항 1에 있어서,상기 구동 회로부는, PCB 기판에 장착되고,상기 셀 어레이부는, 상기 PCB 기판의 접지면을 공유하는 것을 특징으로 하는 반도체 플라즈마 안테나 장치
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