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하부 전극;상기 하부 전극 상의 상부 전극; 및상기 하부 및 상부 전극들 사이에 개재되며, 하면 및 상기 하면에 대향하는 상면을 갖는 센싱 부재를 포함하되,상기 센싱 부재는 유연성 열전 물질을 포함하고,상기 센싱 부재의 형상은 상기 상면에서 상기 하면 방향으로 외력이 가해지는 경우 변할 수 있으며(deformable),상기 센싱 부재의 형상이 변하는 경우, 상기 센싱 부재의 수직적 두께의 감소, 상기 센싱 부재의 너비 증가, 상기 상면의 면적 증가, 및 상기 하면의 면적 증가가 동시에 일어나고,상기 센싱 부재의 형상이 변함에 따라 상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항이 달라지고,상기 상면의 온도는 센싱 대상의 온도에 따라 변하고,상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항을 이용하여 외력을 감지하고,상기 하부 전극 및 상기 상부 전극의 개방 전압을 이용하여 온도를 감지하고,상기 외력을 감지하는 것은:상기 하부 및 상기 상부 전극들을 통해 상기 센싱 부재에 일정한 전류를 흘리는 것; 및상기 하부 및 상부 전극들 사이의 전압을 측정하는 것을 포함하고,상기 온도를 감지하는 것은:상기 하부 및 상부 전극들을 개방 상태로 하는 것; 및 상기 하부 및 상부 전극 사이의 전압을 측정하는 것을 포함하되,상기 외력을 감지하는 것의 상기 전압을 측정하는 것 및 상기 온도를 감지하는 것의 상기 전압을 측정하는 것은 개별적으로 수행되고,상기 외력을 감지하는 것의 상기 전압의 스케일과 상기 온도를 감지하는 것의 상기 전압의 스케일은 서로 다른 센서
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제1 항에 있어서,상기 유연성 열전 물질은 polyacetylene, polypyrole, polythiophene, polyaniline, poly(3,4-ethylenedioxythiophene), poly[2-methoxy-5-(2-ethylhexyloxy)-1,4-phenylenevinylene], poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl), 및 이들의 중합체 중에서 적어도 하나를 포함하는 센서
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제1 항에 있어서,상기 유연성 열전 물질은 탄소 나노 튜브 및 그래핀 중에서 적어도 하나를 포함하는 센서
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제1 항에 있어서,상기 유연성 열전 물질은 Bi, Te, Sb, 및 Sn 중에서 적어도 하나를 포함하는 화합물을 포함하는 센서
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제1 항에 있어서,상기 센싱 부재의 상기 수직적 두께가 작아질수록 상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항은 작아지는 센서
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제1 항에 있어서,상기 센싱 부재의 상기 너비가 커질수록 상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항은 작아지는 센서
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제1 항에 있어서,상기 센싱 부재의 상기 상면의 면적이 커질수록 상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항은 작아지는 센서
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제1 항에 있어서,일 단면적 관점에서, 상기 하부 전극에서 멀어질수록 상기 센싱 부재의 상기 너비가 작아지는 센서
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제1 항에 있어서,상기 센싱 부재는 상기 하부 및 상부 전극들 사이에 개재되는 복수의 센싱 패턴들을 포함하고,상기 복수의 센싱 패턴들의 각각은 상기 유연성 열전 물질을 포함하는 센서
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제9 항에 있어서,상기 복수의 센싱 패턴들은 서로 이격하는 센서
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제1 방향으로 연장되고, 서로 이격하는 복수의 하부 전극들;상기 복수의 하부 전극들 상에 배치되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되며, 서로 이격하는 복수의 상부 전극들; 및상기 복수의 하부 전극들 및 상기 복수의 상부 전극들 사이에 배치되는 센싱 층을 포함하되,상기 센싱 층은:평면적 관점에서, 상기 하부 전극들 및 상기 상부 전극들의 교차점들과 각각 중첩되는 복수의 센싱 영역들; 및평면적 관점에서, 상기 복수의 센싱 영역들을 둘러싸는 지지 영역을 포함하고,상기 센싱 영역들의 각각은 하면 및 상기 하면에 대향하는 상면을 갖는 센싱 부재를 포함하며,상기 센싱 부재는 유연성 열전 물질을 포함하고,상기 센싱 부재의 형상은 상기 상면에서 상기 하면 방향으로 외력이 가해지는 경우 변할 수 있으며(deformable),상기 센싱 부재의 형상이 변하는 경우, 상기 센싱 부재의 수직적 두께의 감소, 상기 센싱 부재의 너비 증가, 상기 상면의 면적 증가, 및 상기 하면의 면적 증가가 동시에 일어나고,상기 센싱 부재의 형상이 변함에 따라 상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항이 달라지고,상기 상면의 온도는 센싱 대상의 온도에 따라 변하고,상기 외력을 감지하는 것은:상기 하부 및 상부 전극들을 통해 상기 센싱 부재에 일정한 전류를 흘리는 것; 및 상기 하부 및 상부 전극들 사이의 전압을 측정하는 것을 포함하고,상기 온도를 감지하는 것은:상기 하부 및 상부 전극들을 개방 상태로 하는 것; 및 상기 하부 및 상부 전극 사이의 전압을 측정하는 것을 포함하되,상기 외력을 감지하는 것의 상기 전압을 측정하는 것 및 상기 온도를 감지하는 것의 상기 전압을 측정하는 것은 개별적으로 수행되고,상기 외력을 감지하는 것의 상기 전압의 스케일과 상기 온도를 감지하는 것의 상기 전압의 스케일은 서로 다른 센서
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제11 항에 있어서,상기 지지 영역은 지지 부재들을 포함하는 센서
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제12 항에 있어서,상기 지지 부재들은 상기 센싱 부재로부터 이격되는 센서
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제12 항에 있어서,상기 지지 부재들은 상기 센싱 부재와 동일한 물질을 포함하는 센서
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제11 항에 있어서,상기 센싱 부재의 상기 수직적 두께가 작아질수록 상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전기 저항은 작아지는 센서
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제11 항에 있어서,상기 복수의 하부 전극들 아래의 유연성 하부 기판; 및상기 복수의 상부 전극들 상의 유연성 상부 기판을 더 포함하는 센서
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제1 항에 있어서,상기 외력을 감지할 때 상기 하부 및 상부 전극들 사이의 전압은 상기 온도를 감지할 때 상기 하부 및 상부 전극 사이의 전압의 10배 이상이거나 1/10배 이하인 센서
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