| 1 |
1
서로 접촉하며 상대 운동하는 구조물 사이의 마찰 및 마모를 저감하기 위해 구조물 표면에 형성되는 코팅층에 있어서,피코팅물인 기판(101) 상부에 적층되는 12~15단의 나노 코팅층(107);을 포함하며,상기 나노 코팅층(107)은, 제1층(103);상기 제1층(103)의 상부에 위치하며 상기 제1층(103)을 이루는 물질보다 연질인 물질로 이루어진 제2층(104); 및상기 제1층(103)의 하부와, 상기 제1층(103) 및 제2층(104) 사이에 위치하는 확산장벽층(105, 106);을 포함하되,상기 제1층(103) 및 제2층(104)을 이루는 물질은 비결정질(amorphous) 구조이며,상기 제1층(103)의 두께는 2 ~ 3 nm이고, 상기 제2층(104)의 두께는 8 ~ 14 nm이며,상기 확산장벽층(105, 106)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 텅스텐으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 제1층(103)은,코발트(Co), 니켈(Ni), 몰리브데늄(Molybdenum), 텅스텐(W) 및 실리콘(Si)으로 이루어진 군 중에서 선택되는 적어도 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,상기 제2층(104)은 탄소(C)로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서,최하단의 상기 나노 코팅층(107a)과 상기 기판(101) 사이에 위치하는 점착층(102)을 더 포함하는, 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서,최상단의 상기 나노 코팅층(107b)의 상부에 위치하는 마감층(108)을 더 포함하는, 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서,상기 마감층(108)은 상기 제1층(103) 또는 제2층(104)을 이루는 물질과 동일한 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
서로 접촉하며 상대 운동하는 구조물 사이의 마찰 및 마모를 저감하기 위한 구조물 표면의 코팅 방법에 있어서,피코팅물인 기판(101) 상부에 점착층(102)이 형성되는 단계;상기 점착층(102) 상부에 확산장벽층(105)이 형성되는 단계;상기 확산장벽층(105) 상부에 비결정질 구조를 갖는 물질로 이루어진 제1층(103)이 형성되는 단계;상기 제1층(103)의 상부에 확산장벽층(106)이 형성되는 단계;상기 확산장벽층(106)의 상부에, 비결정질 구조이며 상기 제1층(103)을 이루는 물질보다 연질인 물질로 이루어진 제2층(104)이 형성되는 단계;를 포함하며,상기 제1층(103) 및 제2층(104)의 형성단계가 순차적으로 12~15회 반복되되,상기 제1층(103)의 두께는 2 ~ 3 nm이고, 상기 제2층(104)의 두께는 8 ~ 14 nm이며,상기 확산장벽층(105, 106)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 텅스텐으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조 코팅 방법
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서,상기 제1층(103)은,코발트(Co), 니켈(Ni), 몰리브데늄(Molybdenum), 텅스텐(W) 및 실리콘(Si)으로 이루어진 군 중에서 선택되는 적어도 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조 코팅 방법
|
| 13 |
13
제 11항에 있어서,상기 제2층(104)은 탄소(C)로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조 코팅 방법
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
삭제
|
| 16 |
16
제 11항에 있어서,상기 제1층(103) 및 제2층(104) 형성단계는,마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)을 이용한 증착방법을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조 코팅 방법
|
| 17 |
17
삭제
|
| 18 |
18
제 11항에 있어서,최상단에 형성된 상기 제2층(104b)의 상부에 마감층(108)이 형성되는 단계를 더 포함하며,상기 마감층(108)은 상기 제1층(103) 또는 제2층(104)을 이루는 물질과 동일한 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 비결정질 나노층 구조 코팅 방법
|
| 19 |
19
삭제
|
| 20 |
20
상대 운동하는 구조물과 접촉하는 표면에, 제 1항 내지 제3항 및 제7항 내지 제 9항 중 어느 한 항의 비결정질 나노층 구조를 갖는 코팅층이 형성된, 미세 전동 장치
|
