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기판(100);상기 기판(100) 상에 구비되는 소자층(200); 및상기 기판(100) 및 소자층(200) 사이에 구비되며, 단원자층의 2차원재료가 2층 이상 적층되어 형성되는 메타계면층(300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물
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제1항에 있어서,상기 메타 계면 구조물은상기 소자층(200) 및 메타계면층(300)이 상기 기판(100) 상에 복수층으로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 메타계면층(300)은그래핀(Graphene), 그래핀 옥사이드(Graphene Oxide), Reduced Graphene Oxide(RGO), Hexagonal Boron Nitride(h-BN) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 메타계면층(300)은두께가 10 nm 이하 또는 적층된 2차원재료의 층수가 20층 이내 인 것을 특징으로 하는 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물
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제1항에 따른 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물을 제작하기 위한 메타 계면 구조물의 제작 방법은,지지필름을 제1 이차원재료가 합성된 제1 포일에 코팅하는 제1 포일 코팅 단계(S100);에칭 공정을 통해 상기 제1 포일을 제거하는 제1 포일 제거 단계(S200);상기 지지필름이 코팅된 제1 이차원재료를 제2 이차원재료가 합성된 제2 포일 상에 전사하는 제1 전사 단계(S300);에칭 공정을 통해 상기 제2 포일을 제거하는 제2 포일 제거 단계(S400);상기 지지필름이 코팅된 상기 제1 및 제2 이차원재료를 기판 상에 전사하는 제2 전사 단계(S500);상기 지지필름을 제거하는 지지필름 제거 단계(S600); 및상기 제1 및 제2 이차원재료인 메타계면층(300) 상에 소자층을 적층하는 소자층 적층 단계(S700);로 이루어진 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제1항에 따른 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물을 제작하기 위한 메타 계면 구조물의 제작 방법은,지지필름을 제1 이차원재료가 합성된 제1 포일 상에 부착하고, 또 다른 지지필름을 제2 이차원재료가 합성된 제2 포일 상에 부착하는 포일 부착단계(S110);에칭 공정을 통해 상기 제1 및 제2 포일을 제거하는 포일 제거 단계(S210);상기 지지필름이 코팅된 제1 이차원재료를 기판 상에 부착하는 제1 부착 단계(S310);상기 지지필름을 제거하는 제1 지지필름 제거 단계(S410); 상기 또 다른 지지필름이 코팅된 제2 이차원재료를 상기 제1 이차원재료 상에 부착하는 제2 부착 단계(S510);상기 또 다른 지지필름을 제거하는 제2 지지필름 제거 단계(S610); 및상기 제1 및 제2 이차원재료인 메타계면층(300) 상에 소자층을 적층하는 소자층 적층 단계(S700);로 이루어진 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 포일 제거 단계(S200), 제2 포일 제거 단계(S400) 또는 포일 제거 단계(S210)는상기 지지필름이 코팅된 제1 및 제2 이차원재료에 남아있는 제1 및 제2 포일의 잔여물 또는 에칭 용액을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 지지필름은Polymethylmethacrylate(PMMA), 열박리 테잎(thermal release tape), 자외선 박리 테잎(UV-release tape) 또는 폴리머 필름에 실리콘 점착증이 있는 필름 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 및 제2 이차원 재료는그래핀(Graphene), 그래핀 옥사이드(Graphene Oxide), Reduced Graphene Oxide(RGO), Hexagonal Boron Nitride(h-BN) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 포일 또는 제2 포일은구리, 구리 합금, 니켈 재질인 것을 특징으로 하는 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 포일 제거 단계(S200), 제2 포일 제거 단계(S400) 또는 포일 제거 단계(S210)는Ammonioum persulfate(APS) 용액을 사용하여, 상기 제1 포일 또는 제2 포일을 제거하는 것을 특징으로 하는 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 기판은 폴리머 재질인 것을 특징으로 하는 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 소자층 적층 단계(S700)는챔버 내부에 소자층의 재료 및 메타계면층이 적층된 기판을 장착한 후, 챔버 내부의 압력을 낮추는 초기 진공 단계(S710);상기 첨버 내부에 불활성 기체를 주입시킨 후, 기판을 일정온도 유지하도록 가열하는 안정화 단계(S711); 및상기 소자층의 재료 및 기판 사이에 플라즈마를 생성하여, 상기 메타계면층 상에 상기 소자층을 증착시키는 소자층 증착 단계(S712);로 이루어진 메타 계면 구조물의 제작 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 소자층 적층 단계(S700)는웨이퍼 상에 희생층을 증착하는 희생층 증착 단계(S720);상기 희생층 상에 소자층을 증착하는 소자층 증착단계(S721);롤 전사 장치를 이용하여, 지지필름을 상기 소자층 상에 부착시키는 지지필름 부착 단계(S722);에칭공정을 통해, 상기 희생층 및 웨이퍼를 제거하는 희생층 제거 단계(S723);상기 캐리어 필름에 부착된 소자층을 다층의 이차원재료로 이루어진 메타계면층 상에 부착시키는 소자층 부착 단계(S724); 및상기 캐리어 필름을 떼어내어 제거하는 캐리어 필름 제거 단계(S725);로 이루어진 메타 계면 구조물의 제작 방법
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