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접지 전극 및 신호 전극을 포함하는 RF 도파로(waveguide);상기 신호 전극에 연결된 레지스터;상기 접지 전극에 연결되는 외부 도체, 상기 신호 전극에 연결된 내부 도체, 및 상기 외부 도체와 상기 내부 도체 사이를 채우는 유전체를 포함하는 RF 커넥터; 및상기 RF 도파로의 상기 신호 전극에 연결되거나, 상기 레지스터에 연결된 단일 팁 프로브를 포함하고,상기 RF 도파로는메탈 기판;상기 메탈 기판에 접촉되고, 상기 메탈 기판 상에 형성된 접지 전극;상기 접지 전극 상에 형성된 유전막;상기 유전막 상에 형성된 신호 전극; 및상기 신호 전극을 덮고, 상기 신호 전극의 양단을 노출하는 개구부들을 포함하는 보호막을 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레지스터는상기 신호 전극에 연결된 제1 단자, 및 상기 단일 팁 프로브에 연결된 제2 단자를 포함하는 SMD(surface mountable device) 형으로 형성되고, 상기 메탈 기판 상에 장착된 무선 주파수 프로브 장치
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제 3 항에 있어서,상기 제1 단자와 상기 신호 전극 사이를 연결하고, 상기 제1 단자와 상기 신호 전극에 땜납으로 고정된 본딩 와이어를 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 3 항에 있어서,상기 단일 팁 프로브는 상기 제2 단자에 땜납으로 고정된 무선 주파수 프로브 장치
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제 3 항에 있어서,상기 레지스터의 측부 및 상기 메탈 기판의 측부를 지지하고, 상기 단일 팁 프로브가 끼워지는 삽입홀에 의해 관통되는 절연 기판을 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 6 항에 있어서,상기 제2 단자와 상기 단일 팁 프로브 사이에 연결되고, 땜납으로 고정된 본딩 와이어를 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유전막 상에 형성되고, 상기 신호 전극을 사이에 두고 마주하는 보조 전극들; 및상기 유전막을 관통하여 상기 보조 전극들과 상기 접지 전극을 연결하는 콘택 플러그들을 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 8 항에 있어서,상기 보호막에 의해 개구된 상기 보조 전극들의 일부 영역과 상기 메탈 기판 사이에 연결되고, 상기 보조 전극 및 상기 메탈 기판에 땜납으로 고정된 본딩 와이어를 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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접지 전극 및 신호 전극을 포함하는 RF 도파로(waveguide);상기 신호 전극에 연결된 레지스터;상기 접지 전극에 연결되는 외부 도체, 상기 신호 전극에 연결된 내부 도체, 및 상기 외부 도체와 상기 내부 도체 사이를 채우는 유전체를 포함하는 RF 커넥터; 및상기 RF 도파로의 상기 신호 전극에 연결되거나, 상기 레지스터에 연결된 단일 팁 프로브를 포함하고,상기 RF 도파로는메탈 기판;상기 메탈 기판 상에 형성된 유전막;상기 유전막 상에 형성된 접지 전극;상기 유전막 상에 이격되어 형성된 상기 신호 전극들;상기 접지 전극에 접촉되도록 상기 접지 전극 상부에 형성된 접지 패드; 및상기 신호 전극들 중의 어느 하나에 접촉되도록 상기 신호 전극들 중의 어느 하나의 상부에 형성된 신호 패드를 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 10 항에 있어서,상기 레지스터는 상기 신호 전극들 각각에 연결된 제1 단자 및 제2 단자를 포함하는 SMD(surface mountable device) 형으로 형성되어, 상기 신호 전극들을 연결하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 10 항에 있어서,상기 접지 패드와 상기 메탈 기판 사이를 연결하고, 상기 접지 패드와 상기 메탈 기판에 땜납으로 고정된 본딩 와이어를 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 10 항에 있어서,상기 신호 패드와 상기 단일 팁 프로브 사이를 연결하고, 땜납으로 고정된 본딩 와이어를 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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제 10 항에 있어서,상기 메탈 기판의 측부를 지지하고, 상기 단일 팁 프로브가 끼워지는 삽입홀에 의해 관통되는 절연 기판을 더 포함하는 무선 주파수 프로브 장치
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