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제1 고정구와 제2 고정구;상기 제1 고정구와 상기 제2 고정구 각각에 설치되되, 서로 대향하도록 설치되는 제1 마그네트와 제2 마그네트;상기 제1 고정구와 상기 제2 고정구 각각에 설치되되, 상기 제1 마그네트와 제2 마그네트 사이에서 서로 대향하도록 배치되는 제1 플레이트와 제2 플레이트; 및상기 제1 마그네트와 제2 마그네트로부터 생성되는 자기력에 의하여 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에서 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되고, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 각각의 사이에 형성된 마이크로 가이드에 의하여 상기 슬라이딩 이동이 가이드되는 슬라이더;를 포함하고,상기 제1 고정구와 제2 고정구, 상기 제1 마그네트와 제2 마그네트 및 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트는 모두 일 방향을 기준으로 정렬되어 배치되는 것을 특징으로 하는 자기력으로 구동하는 마이크로 액추에이터
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제1항에 있어서,상기 마이크로 가이드는 상기 제1 플레이트와 상기 슬라이더의 대응하는 일면 및 상기 제2 플레이트와 상기 슬라이더의 대응하는 타면 각각에 형성된 복수의 그루브와, 상기 그루브 사이에 안착되는 복수의 마이크로 베어링 볼을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기력으로 구동하는 마이크로 액추에이터
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제2항에 있어서,상기 마이크로 베어링 볼의 직경은 10 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 자기력으로 구동하는 마이크로 액추에이터
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제2항에 있어서,상기 복수의 그루브는 일 방향을 따라서 간격을 두고 서로 평행하게 형성되는 것을 특징으로 하는 자기력으로 구동하는 마이크로 액추에이터
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제1항에 있어서,상기 슬라이더의 이동시 발생하는 유도전류를 이용하여 이동속도 또는/및 마찰계수를 측정할 수 있도록, 상기 슬라이더와 전기적으로 연결되는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기력으로 구동하는 마이크로 액추에이터
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제1항, 제2항 내지 제4항 및 제6항 중 어느 하나의 항에 의한 마이크로 액추에이터를 포함하는 옵티컬 스위치
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