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펌핑광 입력부(110), 광 출력부(120), 가스 주입구(130) 및 가스 배출구(140)를 포함하는 L형의 진공 챔버(100); 상기 펌핑광 입력부(110)에 삽입되는 제1 렌즈(210), 상기 광 출력부(120)에 삽입되는 제2 렌즈(220) 및 제2 렌즈의 후단에 설치되는 필터(300); 및 금속형 소스가 지지되는 소스홀더(400) 및 모터(510)와 구동축(520)을 포함하는 구동부(500)를 포함하여 구성되고,펌핑광이 L형 진공 챔버(100) 내로 입사된 후 금속형 소스에 흡수되어 플라즈마가 유도 발생되되,상기 제1 렌즈(210)는 펌핑광은 투과하고, UV 이하의 광은 반사시키기 위해 이색성 미러 형태를 갖고,상기 제2 렌즈(220)는 UV광의 흡수를 최소화하고, UV이하 파장의 광을 집속시키기 위해 불화마그네슘(MgF2)의 재질로 형성되고,상기 모터(510) 및 구동축(520)의 일부는 진공 챔버(100)의 외부에 형성되고,레이저유도플라즈마(LIP)에 의해 식각된 금속형 소스의 삭마 지점(laser ablation point)을 바꾸어 플라즈마 발생이 균일하게 지속될 수 있도록, 상기 구동부(500)는 구동축(520)의 일단에 형성된 소스홀더(400)를 회전시키는 것을 특징으로 하는 UV 레이저 발진 장치
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제 1 항에 있어서,상기 가스 주입구(130)를 통해 진공챔버(100) 내에 플라즈마를 발생시키기 위해 대기압 이상의 Ne 가스가 주입되고, 상기 가스 배출구(140)를 통해 진공 챔버(100) 내에 수용된 Ne 가스의 농도가 조절하고, UV 레이저 발진이 종료된 후 진공 챔버(100) 내의 잔여 Ne 가스가 배출되는 것을 특징으로 하는 UV 레이저 발진 장치
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제 1 항에 있어서,상기 필터(300)는 펌핑광을 차단(cut-off)하고, 발진된 UV 이하의 광만을 투과시키기 위해 숏 패스 필터(short-pass filter)의 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 UV 레이저 발진 장치
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제 1 항에 있어서,상기 소스홀더(400)에는 알루미늄(Al)으로 형성되는 금속형 소스가 지지되고, 펌핑광이 Ne 가스가 충진된 L형 진공 챔버(100) 내로 입사된 후 금속형 소스에 흡수되어 플라즈마가 유도 발생되는 것을 특징으로 하는 UV 레이저 발진 장치
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제 1 항, 제 2 항, 제 5 항 및 제 6 항 중 어느 한 항의 UV 레이저 발진 장치(10)를 통해 레이저를 발진시키는 방법에 있어서,소스홀더(400)에 알루미늄(Al)으로 형성된 금속형 소스가 위치시키는 단계;가스 주입구(130)를 통해 L형 타입의 진공챔버(100) 내에 Ne 가스를 대기압 이상의 압력으로 충진시키는 단계;고출력 가시광선 레이저 발진장치를 통해 고출력의 가시광선 레이저를 발진시켜 펌핑광은 투과하고, UV 이하의 광은 반사시키기 위해 이색성 미러 형태를 갖는 제1 렌즈(210)를 통과하여 금속형 소스에 집속(forcusing)함으로써 플라즈마를 발생시키는 단계; 발생된 플라즈마 빛 중에서 200 nm 이하의 짧은 파장의 광원만 불화마그네슘(MgF2)의 재질의 제2 렌즈(220)와 필터(300)를 통해 집속시켜 고출력, 고분해능의 UV 레이저 광원을 얻는 단계;를 포함하되, 상기 플라즈마를 발생시키는 단계에서, 금속형 소스의 펌핑광에 의한 삭마 지점(laser ablation point)을 바꾸어주기 위해 진공챔버의 외부에 설치된 모터(510)를 구동하여 구동축(520)의 일단에 형성된 소스홀더(400)를 회전시킴으로써, 플라즈마 발생이 균일하게 지속될 수 있도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 레이저 발진 방법
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제 7 항에 있어서,상기 UV 레이저 발진 방법은 펌핑광으로 사용하는 고출력의 가시광선 레이저의 파장 또는 필터(300)의 종류를 조절하여 출력되는 UV 레이저 광원의 파장을 가변할 수 있는 것을 특징으로 하는 UV 레이저 발진 방법
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