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액체렌즈를 이용한 미세패턴의 단차 산출 시스템 및 방법(SYSTEM AND METHOD FOR DETERMINING HEIGHT DIFFERENCE OF FINE PATTERN BY USING LIQUID LENS)

  • 기술번호 : KST2017001254
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 액체렌즈를 이용한 미세패턴의 단차 산출 시스템은, 외부에서 인가되는 전압에 따라 초점이 조절되는 액체렌즈; 상기 액체렌즈에 전압을 인가하여 상기 액체렌즈의 초점을 조절하는 초점조절부; 상기 초점 조절부에 의해 초점이 조절되는 액체렌즈를 통해 단차가 형성된 미세패턴을 촬상하여 상기 미세패턴의 영상 데이터들을 획득하는 촬상부; 및 상기 촬상부에 의해 획득된 영상 데이터들에서 상기 액체렌즈의 초점의 위치에 따른 콘트라스트 값들을 계산하여 상기 미세패턴의 단차를 산출하는 영상처리부;를 포함한다. 본 발명에 의하면, 미세한 크기의 패턴을 측정함에 있어서 액체렌즈를 이용하기 때문에, 나노 스케일과 같이 미세한 크기의 패턴에 형성되어 있는 단차를 고속으로 및 정밀도 높게 측정할 수 있다.
Int. CL
CPC G01M 11/30(2013.01) G01M 11/30(2013.01) G01M 11/30(2013.01) G01M 11/30(2013.01)
출원번호/일자 1020150104733 (2015.07.24)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0011670 (2017.02.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.07.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허환 대한민국 대전광역시 서구
2 이계승 대한민국 대전광역시 유성구
3 김건희 대한민국 세종특별자치시 나리*로 **
4 김승현 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0719140-68
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0024712-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0623028-60
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-1037952-75
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-1143671-59
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1143665-85
8 등록결정서
Decision to grant
2017.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0231900-65
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0451140-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
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번호 청구항
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외부에서 인가되는 전압에 따라 초점이 조절되는 액체렌즈;상기 액체렌즈에 전압을 인가하여 상기 액체렌즈의 초점을 조절하는 초점조절부;상기 초점 조절부에 의해 초점이 조절되는 액체렌즈를 통해 단차가 형성된 미세패턴을 복수회 촬상하여 상기 미세패턴의 영상 데이터들을 획득하는 촬상부; 및상기 촬상부에 의해 획득된 영상 데이터들에서 상기 액체렌즈의 초점의 위치에 따른 콘트라스트 값들을 계산하고, 상기 계산된 콘트라스트 값들 중 가장 큰 2개의 콘트라스트 값들을 획득하며, 상기 획득한 2개의 콘트라스트 값들에 대응하는 초점의 위치 사이의 차 및 상기 미세패턴의 단차가 서로 대응하여 기록된 룩업 테이블을 통해, 상기 초점의 위치 사이의 차에 대응하는 상기 미세패턴의 단차를 산출하는 영상처리부;를 포함하는, 액체렌즈를 이용한 미세패턴의 단차 산출 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 영상처리부는 상기 초점의 위치 범위를 기 설정해 놓고, 상기 초점조절부가 상기 기 설정해 놓은 초점의 위치 범위에서 상기 액체렌즈의 초점을 조절하도록 상기 초점조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는, 액체렌즈를 이용한 미세패턴의 단차 산출 시스템
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초점 조절부가 액체렌즈에 전압을 인가하여 상기 액체렌즈의 초점을 조절하는 단계;촬상부가 상기 초점 조절부에 의해 초점이 조절되는 액체렌즈를 통해 단차가 형성된 미세패턴을 복수회 촬상하여 상기 미세패턴의 영상 데이터들을 획득하는 단계; 및영상처리부가 상기 촬상부에 의해 획득된 영상 데이터들에서 상기 액체렌즈의 초점의 위치에 따른 콘트라스트 값들을 계산하는 단계;상기 영상처리부가 상기 계산된 콘트라스트 값들 중 가장 큰 2개의 콘트라스트 값들을 획득하는 단계; 및상기 영상처리부가 상기 획득한 2개의 콘트라스트 값들에 대응하는 초점의 위치 사이의 차 및 상기 미세패턴의 단차가 서로 대응하여 기록된 룩업 테이블을 통해, 상기 초점의 위치 사이의 차에 대응하는 상기 미세패턴의 단차를 산출하는 단계;를 포함하는, 액체렌즈를 이용한 미세패턴의 단차 산출 방법
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제 6 항에 있어서,상기 영상처리부는 상기 초점의 위치 범위를 기 설정해 놓고, 상기 초점조절부가 상기 기 설정해 놓은 초점의 위치 범위에서 상기 액체렌즈의 초점을 조절하도록 상기 초점조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는, 액체렌즈를 이용한 미세패턴의 단차 산출 방법
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 창의형융합연구사업 자유형상 광부품 초정밀 가공공정 및 검사장비 개발
2 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 출연연구기관 주요사업 창의산업 육성을 위한 첨단광분석장비개발