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프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트의 제조방법 및 그에 의한 세라믹 가이드 플레이트(MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GUIDE PLATE FOR PROBE CARD AND CERAMIC GUID PLATE THEREBY)

  • 기술번호 : KST2017001315
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트를 제조하는 신규한 방법을 개시한다. 이를 위하여, 복수의 그린시트를 준비하고 상기 복수의 그린시트를 적층한 후 프레스하여 그린바를 형성하는 단계와, 상기 그린바의 일면에 레이저 광을 1회 또는 2회 이상 연속 조사하여 상기 그린바를 관통하는 하나 이상의 관통홀을 천공하여 형성하는 단계와, 상기 하나 이상의 관통홀이 형성된 상기 그린바를 소결하는 단계를 포함하는 방법이 제공된다. 본 발명은 특히 고강도를 갖는 세라믹 가이드 플레이트로서 비메모리 반도체 검사용 수직형 프로브 카드용으로 적합하다.
Int. CL
CPC G01R 1/07371(2013.01) G01R 1/07371(2013.01) G01R 1/07371(2013.01)
출원번호/일자 1020150105007 (2015.07.24)
출원인 한국세라믹기술원, 주식회사 새한텅스텐
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0012805 (2017.02.03) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.07.24)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 새한텅스텐 대한민국 경기도 남양주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 여동훈 대한민국 서울시 송파구
2 신효순 대한민국 경기 수원시 장안구
3 안익준 대한민국 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이두희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***(역삼동) 한신인터밸리** 빌딩 서관 ****호(이훈국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 새한텅스텐 대한민국 경기도 남양주시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0721417-13
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2015.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-1016178-71
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.07.27 수리 (Accepted) 9-1-2016-0033191-73
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0816124-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0043144-08
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0043154-54
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0179267-51
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0882170-86
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프로브 카드용 세라믹 가이드 플레이트를 제조하는 방법에 있어서,복수의 그린시트를 준비하고 상기 복수의 그린시트를 적층한 후 프레스하여 그린바를 형성하는 제1단계와;상기 그린바의 일면에 레이저 광을 조사하여 상기 그린바를 관통하는 하나 이상의 관통홀을 천공하여 형성하는 제2단계와;상기 하나 이상의 관통홀이 형성된 상기 그린바를 소결하는 제3단계를 포함하고,상기 제2단계는 상기 그린바의 일면에 레이저 광을 1차 조사하여 상기 그린 바를 관통하지 않도록 하는 깊이의 제1홀을 형성하는 단계와;형성된 상기 제1홀의 위치로 레이저 광을 2차 조사하여 상기 그린 바를 관통하는 제2홀을 형성함으로써 상기 제1홀과 제2홀이 상기 관통홀을 이루도록 하되, 상기 2차 조사는 상기 제2홀의 상면의 직경이 제1홀의 저면의 직경보다 더 큰 직경을 갖도록 하고 상기 2차 조사를 위한 레이저 광의 출력은 상기 1차 조사를 위한 레이저 광의 출력보다 더 큰 값으로 증가시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
2 2
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3 3
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4 4
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6 6
제1항에 있어서,상기 그린시트의 조성은 Al2O3인 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 그린시트의 조성은 SiO2 및 Y2O3 중의 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 그린시트의 조성물은 상기 조성물 총중량 대비 2~5wt%의 SiO2와 상기 조성물 총중량 대비 0
9 9
제7항에 있어서,상기 그린시트의 조성은 CaO 및 MgO 중의 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
10 10
제8항에 있어서,상기 그린시트의 조성물은 상기 조성물 총중량 대비 3wt% 이하의 CaO와 상기 조성물 총중량 대비 1wt% 이하의 MgO 중의 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 제1단계에서 상기 복수의 그린시트를 준비하는 것은 원료분말로 슬러리를 제조하고 상기 슬러리를 테이프캐스팅함으로써 그린시트를 제조하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제9항에 있어서,상기 소결의 온도는 1450~1500℃인 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
13 13
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14 14
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제1항 및 제6항 내지 제12항 중의 어느 한 항에 의한 방법으로 제조된 세라믹 가이드 플레이트
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제15항에 있어서,상기 하나 이상의 관통홀의 각 직경은 60~140㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 세라믹 가이드 플레이트
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)새한텅스텐 벤처형전문소재기술개발사업 레이저 가공기술을 적용한 직경 45㎛, Hole 밀도 10,000 Hole/㎠ 수직형 Probe Card용 세라믹 기판