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증착 챔버 내에서 기재를 전처리 하는 단계; 및상기 증착 챔버 내에 칼코겐-함유 전구체 및 전이금속-함유 전구체를 공급하여 상기 기재 상에 2 차원 전이금속 디칼코지나이드를 증착하는 단계를 포함하는, 2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법으로서,상기 칼코겐-함유 전구체 대 전이금속-함유 전구체의 분압 비율은 1 : 2 이상이며,상기 칼코겐-함유 전구체 대 전이금속-함유 전구체의 분압 비율을 조절함으로써 상기 전이금속 디칼코지나이드의 증착 과정에서 기상 반응에 의하여 형성되는 클러스터의 크기가 조절되고 표면 에너지를 조절하여 상기 전이금속 디칼코지나이드의 2 차원 성장이 유도되는 것이고,상기 증착은 600℃ 이하의 저온에서 수행되는 것이며,상기 전처리는 진공 열처리, 어닐링 처리, 고진공 어닐링 처리 또는 화학적 처리를 포함하는 것이고,상기 전처리에 의하여 상기 기재 상에 증착되는 전이금속 디칼코지나이드의 핵생성(nucleation) 위치가 조절되는 것인,2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전이금속-함유 전구체는 Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, Ir, Pt, Ag, Au, Cd, In, Tl, Sn, Pb, Sb, Bi, Zr, Te, Pd, Hf, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 전이금속을 포함하는 것인, 2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐-함유 전구체는 S-함유 유기 또는 무기 화합물을 포함하는 것인, 2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 증착은 화학기상증착법에 의하여 수행되는 것인, 2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 화학기상증착법은 저압 화학기상증착법, 상압 화학기상증착법, 금속 유기 화학기상증착법, 플라즈마 화학기상증착법, 유도결합 플라즈마, 원자층 증착법, 또는 플라즈마 원자층 증착법을 포함하는 것인, 2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 증착 과정에서, 상기 증착 챔버 내의 압력을 조절하여 상기 증착 챔버 내로 공급되는 상기 칼코겐-함유 전구체 및 상기 전이금속-함유 전구체의 양을 조절함으로써 상기 칼코겐-함유 전구체 대 전이금속-함유 전구체의 분압 비율이 조절되는 것인, 2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법
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