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기판 상에 박막을 증착하기 위한 증착 장치로서,수송기체를 공급하기 위한 수송기체 공급원;상기 수송기체 공급원과 연결되고, 내부에 소스물질을 포함하는 소스 챔버부;상기 소스 챔버부와 연결되고, 슬릿 형태의 토출부가 구비되는 노즐 유닛;을 포함하되,상기 소스물질은,상기 슬릿 형태의 토출부를 통해 상기 기판 상으로 토출되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제1항에 있어서,상기 노즐 유닛은, 몸체부;상기 몸체부 상면에 형성되어 상기 소스 챔버부와 연결되는 하나 이상의 입력 포트;상기 몸체부 내에 형성되어 상기 입력 포트와 연결되는 확산부;를 더 포함하고,상기 토출부는 상기 몸체부 하면에 형성되어 상기 확산부와 연결되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제2항에 있어서,상기 노즐 유닛은, 상기 몸체부 측면에 형성되어 상기 확산부와 연결되는 하나 이상의 측면 포트를 더 포함하고,상기 측면 포트는 상기 수송 기체 공급원, 상기 소스 챔버부 또는 진공 펌프 중 하나 이상과 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제2항에 있어서,상기 확산부는, 상기 몸체부의 하면과 평행한 단면이 슬릿 형태인 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제1항에 있어서,상기 기판을 지지하는 스테이지를 더 포함하고,상기 스테이지는 상기 노즐 유닛과 상대 이동 가능한 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제1항에 있어서,상기 소스 챔버부 내부의 소스물질을 기화하기 위한 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제1항에 있어서,상기 박막은 유기막이고, 상기 소스물질은 유기물질인 것을 특징으로 하는 증착장치
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제2항의 증착장치를 이용한 박막 증착 방법으로서,상기 수송기체 공급원으로부터 상기 소스 챔버부로 수송기체를 공급하는 단계;상기 공급된 수송기체에 의해 상기 소스 챔버부 내의 소스물질이 상기 입력 포트를 통해 상기 노즐 유닛으로 전달되는 단계;상기 전달된 소스물질이 상기 확산부 내에서 확산되는 단계;상기 확산된 소스물질이 상기 슬릿 형태의 토출부로 토출되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착방법
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제8항에 있어서,소스물질이 상기 토출부를 통해 토출되는 동안, 상기 기판과 상기 노즐 유닛을 상대적으로 움직이는 것을 특징으로 하는 증착방법
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제8항에 있어서,상기 입력 포트는 복수 개 구비되고,상기 복수 개의 입력 포트로 전달되는 상기 소스물질의 유량이 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 증착 방법
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11
제8항에 있어서,상기 박막은 유기막이고, 상기 소스물질은 유기물질인 것을 특징으로 하는 증착방법
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슬릿형 기상 젯 프린팅 노즐 유닛으로서,몸체부;상기 몸체부 상면에 형성되는 하나 이상의 입력 포트;상기 몸체부 하면에 형성된 슬릿 형태의 토출부;상기 몸체부 측면에 형성되는 하나 이상의 측면 포트;상기 몸체부 내에 형성되어 상기 입력 포트, 상기 토출부 및 상기 측면 포트와 연결되는 확산부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛
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