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제1 기판(100);상기 제1 기판(100)의 상부 면에 패턴을 이루며 설치되는 제1 전극(200);상기 제1 기판(100)의 상측에 이격되게 배치되는 제2 기판(110);상기 제2 기판(110)의 밑면에 패턴을 이루며 설치되어 상기 제1 전극(200)과 대향하는 제2 전극(210); 및상기 제1 및 제2 기판의 사이에 개재되는 유전체(300);를 포함하며,상기 유전체(300)는 고분자 유전체 조성물을 포함하고,상기 유전체(300)는 상기 제1 전극(200)의 외측을 감싸는 하부 바디(310);상기 제2전극(210)의 외측을 감싸는 상부 바디(330); 및 상기 상부 및 하부 바디를 상기 제1 및 제2 전극의 패턴에 따라 복수로 연결하는 가압 리브(320, 320');를 포함하며,상기 고분자 유전체 조성물은 (ⅰ) 고분자 탄성체 내에 (ⅱ) 전도성 필러를 포함하고,상기 전도성 필러는 분산제를 포함하며,상기 분산제는 옥타데실아민, 도데실아민, 옥타데케인 및 도데케인 중에서 선택된 1종 이상이고,상기 전도성 필러는 단일벽 탄소 나노튜브, 다중벽 탄소 나노튜브, 그래핀, 그래파이트, 카본 블랙, 카본 섬유 및 플러렌 중에서 선택된 1종 이상이며,상기 고분자 탄성체는 실리콘계 수지, 우레탄계 수지, 이소프렌계 수지, 플루오르계 수지, 스티렌-부타디엔 고무, 클로로프렌 고무, 아크릴로니트릴 공중합체 및 아크릴레이트 고무 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 힘센서
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제9항에 있어서,상기 제1 전극(200)은 유전체(300)의 가압 리브(320, 320')로부터 하부 바디(310)에 가압되는 힘이 수직방향으로 전달되는 위치에 형성되며, 상기 가압 리브(320, 320')는 상기 제1 전극(200)보다 큰 단면적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 힘센서
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제9항에 있어서,상기 하부 바디(310)는 실리콘계, 폴리스티렌계, 폴리아미드계, 폴리우레탄계, 폴리에폭시계, 폴리아크릴계, 폴리에스테르계 및 폴리올레핀계 중에서 선택된 1종 이상의 고분자 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 힘센서
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제9항에 있어서,상기 기판은 폴리이미드 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름, 또는 실리콘계, 폴리스티렌계, 폴리아미드계, 폴리우레탄계, 폴리에폭시계, 폴리아크릴계, 폴리에스테르계 및 폴리올레핀계 중에서 선택된 1종 이상의 고분자 탄성체이거나, 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 힘센서
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제9항에 있어서,상기 전극은 금, 은, 구리, poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate, 그래핀, 금속 나노와이어 및 전도성 필러가 함유된 탄성 고분자 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 힘센서
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a) 제2 기판(110) 상에 제2 전극(210)을 적층하는 단계;b) 고분자 유전체 조성물을 몰드로 성형하여 유전체(300)를 제조하는 단계;c) 상기 b)유전체 상부 면에 상기 a)제2 전극을 적층하고 압착 및 경화시켜 힘센서(500)의 상부 바디(520)를 제조하는 단계;d) 제1 기판(100) 상에 제1 전극(200)을 적층하고 그 윗면에 고분자 유전체 조성물을 도포한 후 압착시켜 힘센서(500)의 하부 바디(510)를 제조하는 단계; 및e) 상기 c)상부 바디(520)와 d)하부 바디(510)를 접합시키는 단계;를 포함하며,상기 유전체(300)는 상기 제1 전극(200)의 외측을 감싸는 하부 바디(310);상기 제2전극(210)의 외측을 감싸는 상부 바디(330); 및 상기 상부 및 하부 바디를 상기 제1 및 제2 전극의 패턴에 따라 복수로 연결하는 가압 리브(320, 320');를 포함하며,상기 고분자 유전체 조성물은 (ⅰ) 고분자 탄성체 내에 (ⅱ) 전도성 필러를 포함하고,상기 전도성 필러는 분산제를 포함하며,상기 분산제는 옥타데실아민, 도데실아민, 옥타데케인 및 도데케인 중에서 선택된 1종 이상이고,상기 전도성 필러는 단일벽 탄소 나노튜브, 다중벽 탄소 나노튜브, 그래핀, 그래파이트, 카본 블랙, 카본 섬유 및 플러렌 중에서 선택된 1종 이상이며,상기 고분자 탄성체는 실리콘계 수지, 우레탄계 수지, 이소프렌계 수지, 플루오르계 수지, 스티렌-부타디엔 고무, 클로로프렌 고무, 아크릴로니트릴 공중합체 및 아크릴레이트 고무 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 힘센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 b) 단계의 몰드는 일체형 몰드 또는 복수 개로 분리된 복합형 몰드인 것을 특징으로 하는 힘센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 e)단계는 제1 기판(100)과 제2 기판(110)의 양쪽 가장자리에 열접착 테이프 또는 양면테이프(800, 810)로 접합시키는 제1 방법;상기 힘센서 상부 바디(520)의 하부 면과 하부 바디(510)의 상부 면에 플라즈마 에칭을 실시하여 결합시키는 제2 방법;상기 힘센서 상부 바디(520)의 가압 리브(320, 320') 중 일부 말단이 유전체의 하부 바디(310)에 잠기도록 위치시켜 힘센서의 하부 바디(510)와 상부 바디(520)를 결합시킨 다음 경화시키는 제3 방법; 및상기 힘센서 상부 바디(520)와 하부 바디(510) 사이에 양면테이프, 열접착 테이프, 또는 고분자 접착제를 적층하여 결합시키는 제4 방법; 중에서 선택된 어느 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 힘센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 하부 바디(310)는 실리콘계, 폴리스티렌계, 폴리아미드계, 폴리우레탄계, 폴리에폭시계, 폴리아크릴계, 폴리에스테르계 및 폴리올레핀계 중에서 선택된 1종 이상의 고분자 수지를 포함하여 상기 가압리브(320, 320')보다 낮은 강성을 가지는 것을 특징으로 하는 힘센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 기판은 폴리이미드 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름, 또는 실리콘계, 폴리스티렌계, 폴리아미드계, 폴리우레탄계, 폴리에폭시계, 폴리아크릴계, 폴리에스테르계 및 폴리올레핀계 중에서 선택된 1종 이상의 고분자 탄성체이거나, 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 힘센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 전극은 금, 은, 구리, poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate, 그래핀, 금속 나노와이어 및 전도성 필러가 함유된 탄성 고분자 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 힘센서의 제조방법
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