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도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법(Measurement method for concentration of accelerator in plating solution)

  • 기술번호 : KST2017001821
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 도금용액의 pH를 조정한 후 순환전압전류법을 이용하여 도금용액에 포함된 가속제의 농도를 측정하는 단계; 베이스 용액에 도금용액을 일정 부피로 첨가하여 첨가되는 도금용액의 부피에 따른 도금용액과 베이스 용액의 혼합용액 내 전하량을 순환전압전류법으로 각각 측정하고 도금용액에 포함된 가속제의 농도를 토대로 혼합용액 내의 가속제 농도를 계산하는 단계; 및 상기 계산된 혼합용액 내의 가속제 농도와 첨가되는 부피에 따른 전하량 변화량을 그래프로 나타내어 기울기를 계산한 후 얻어진 기울기 값으로 전환비를 예측하는 단계;를 포함하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법에 관한 것이다.
Int. CL
CPC G01N 27/48(2013.01) G01N 27/48(2013.01) G01N 27/48(2013.01)
출원번호/일자 1020150111186 (2015.08.06)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0018188 (2017.02.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.08.06)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재정 대한민국 서울특별시 서초구
2 최승회 대한민국 서울특별시 관악구
3 김명준 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0764454-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0035989-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0839627-53
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0045674-20
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0045673-85
7 등록결정서
Decision to grant
2017.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0118982-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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도금용액의 pH를 조정한 후 순환전압전류법을 이용하여 도금용액에 포함된 가속제의 농도를 측정하는 단계;베이스 용액에 도금용액을 일정 부피로 첨가하여 첨가되는 도금용액의 부피에 따른 도금용액과 베이스 용액의 혼합용액 내 전하량을 순환전압전류법으로 각각 측정하고 도금용액에 포함된 가속제의 농도를 토대로 혼합용액 내의 가속제 농도를 계산하는 단계; 및상기 계산된 혼합용액 내의 가속제 농도와 첨가되는 부피에 따른 전하량 변화량을 그래프로 나타내어 기울기를 계산한 후 얻어진 기울기 값으로 전환비를 예측하는 단계;를 포함하고,상기 가속제는 비스-(설포프로필)디설파이드(bis-(sulfopropyl)disulfide; SPS) 및 1,3-메르캅토 프로판 설포닉 애시드(1,3-mercapto propane sulfonic acid; MPSA)이고, 상기 전환비는 MPSA로 변화한 SPS의 몰분율인 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법
2 2
제1항에 있어서,상기 도금용액은 가속제가 포함된 구리 도금용 용액인 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 pH는 염기성 용액을 이용하여 1
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제1항에 있어서,상기 도금용액은 베이스 용액에 대해 0
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제1항에 있어서,상기 베이스 용액은 용액 총 부피(L)에 대해 10 ~ 1000 g/L의 황산구리, 10 ~ 300 g/L의 황산, 0
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제1항에 있어서,상기 혼합용액 내의 가속제 농도는 하기 수학식 1로 계산되는 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법:[수학식 1]CTI = CT × Vt/(VIS1 + Vt)(여기서, CTI는 도금용액과 베이스 용액 내의 가속제 농도이고, CT는 도금용액 내의 가속제 농도이며, Vt는 첨가된 도금 용액의 부피이고, VIS1은 베이스 용액의 부피이다)
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제1항에 있어서,상기 전환비 예측은 1
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제1항에 있어서,상기 예측된 전환비로부터 하기 수학식 2 및 3을 이용하여 도금용액에 포함된 가속제 농도를 계산하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법:[수학식 2]CM = 2CTXS(여기서, CM은 도금용액에 포함된 가속제 중 MPSA의 몰농도이고, CT는 SPS의 몰농도에 MPSA로 분해된 SPS의 몰농도가 더해진 값이며, XS는 전환비로 MPSA로 변화한 SPS의 몰분율이다),[수학식 3]CS = CT - 1/2CM(여기서, CS는 도금용액에 포함된 SPS의 몰농도이다)
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.