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도금용액의 pH를 조정한 후 순환전압전류법을 이용하여 도금용액에 포함된 가속제의 농도를 측정하는 단계;베이스 용액에 도금용액을 일정 부피로 첨가하여 첨가되는 도금용액의 부피에 따른 도금용액과 베이스 용액의 혼합용액 내 전하량을 순환전압전류법으로 각각 측정하고 도금용액에 포함된 가속제의 농도를 토대로 혼합용액 내의 가속제 농도를 계산하는 단계; 및상기 계산된 혼합용액 내의 가속제 농도와 첨가되는 부피에 따른 전하량 변화량을 그래프로 나타내어 기울기를 계산한 후 얻어진 기울기 값으로 전환비를 예측하는 단계;를 포함하고,상기 가속제는 비스-(설포프로필)디설파이드(bis-(sulfopropyl)disulfide; SPS) 및 1,3-메르캅토 프로판 설포닉 애시드(1,3-mercapto propane sulfonic acid; MPSA)이고, 상기 전환비는 MPSA로 변화한 SPS의 몰분율인 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법
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제1항에 있어서,상기 도금용액은 가속제가 포함된 구리 도금용 용액인 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법
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삭제
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제1항에 있어서,상기 pH는 염기성 용액을 이용하여 1
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제1항에 있어서,상기 도금용액은 베이스 용액에 대해 0
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제1항에 있어서,상기 베이스 용액은 용액 총 부피(L)에 대해 10 ~ 1000 g/L의 황산구리, 10 ~ 300 g/L의 황산, 0
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제1항에 있어서,상기 혼합용액 내의 가속제 농도는 하기 수학식 1로 계산되는 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법:[수학식 1]CTI = CT × Vt/(VIS1 + Vt)(여기서, CTI는 도금용액과 베이스 용액 내의 가속제 농도이고, CT는 도금용액 내의 가속제 농도이며, Vt는 첨가된 도금 용액의 부피이고, VIS1은 베이스 용액의 부피이다)
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제1항에 있어서,상기 전환비 예측은 1
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제1항에 있어서,상기 예측된 전환비로부터 하기 수학식 2 및 3을 이용하여 도금용액에 포함된 가속제 농도를 계산하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도금용액에 포함된 가속제 농도의 측정방법:[수학식 2]CM = 2CTXS(여기서, CM은 도금용액에 포함된 가속제 중 MPSA의 몰농도이고, CT는 SPS의 몰농도에 MPSA로 분해된 SPS의 몰농도가 더해진 값이며, XS는 전환비로 MPSA로 변화한 SPS의 몰분율이다),[수학식 3]CS = CT - 1/2CM(여기서, CS는 도금용액에 포함된 SPS의 몰농도이다)
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