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소결된 나노입자 구조물 제조 방법(PREPARATION METHOD OF SINTERED STRUCTURES OF NANO-SIZED PARTICLES)

  • 기술번호 : KST2017001959
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 소결된 나노입자 구조물을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 기판 상에 나노입자 구조물을 형성하는 단계; 및 상기 나노입자 구조물에 전자빔을 조사하여 소결하는 단계;를 포함한다. 본 발명에 따른 방법은 전자빔 조사되는 영역을 조절함으로써 기판상의 나노입자 구조물의 선택적인 소결이 가능하며, 원하는 패턴으로 나노입자 구조물을 소결할 수 있으며, 고온의 열을 이용한 기존의 소결 공정에 비해 보다 신속한 방법으로 간편하게 소결할 수 있다. 또한, 상기한 방법으로 소결된 나노입자 구조물은 기계적 강성 및 전기적 특성의 향상과 같은 효과를 나타낼 수 있다.
Int. CL
CPC B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01)
출원번호/일자 1020150114933 (2015.08.13)
출원인 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0020133 (2017.02.22) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.07.25)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 대한민국 서울특별시 관악구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하경연 서울특별시 관악구
2 최호섭 서울특별시 관악구
3 노승렬 서울특별시 관악구
4 곽귀성 경기도 성남시 분당구
5 최만수 서울특별시 강남구
6 이기웅 경기도 군포시 오금로 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김애라 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (역삼동, 한신인터밸리**) 서관 ***호(테라아이피씨특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 서울특별시 관악구
2 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0788723-72
2 [출원인지분변경]권리관계변경신고서
[Applicant Share Change] Report on Change of Proprietary Status
2015.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0866811-00
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0219307-36
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0718466-03
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2017.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0173949-19
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2017-0046435-57
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0884913-96
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0163996-96
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0272397-81
11 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document
2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0272359-56
12 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0272334-15
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0272396-35
14 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0268681-04
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0478458-90
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0916115-51
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0916114-16
18 등록결정서
Decision to grant
2018.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0873497-70
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
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번호 청구항
1 1
기판 상에 나노입자 구조물을 형성하는 단계; 및상기 나노입자 구조물에 1x10-7 내지 1x108 W/cm2의 에너지 밀도로 전자빔을 조사하여 소결하는 단계를 포함하며, 상기 전자빔은 전자를 생성하는 전자 총; 전자 총에서 생성된 전자 빔을 한 지점으로 모아주는 콘덴서 렌즈; 전자 빔의 방향을 조절하는 편향 코일; 조사되는 전자빔의 조사량을 조절하는 조리개; 및 조사되는 전자빔의 초점을 조절하는 대물 렌즈;를 구비하는 장치에 의해 생성되는 것인, 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 나노입자 구조물은 나노 입자로 이루어진 입체 구조물이거나 층 구조물인 것인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 전자빔 조사 후 상기 입체 구조물의 크기가 대칭 또는 비대칭적으로 수축되는 것을 특징으로 하는 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 기판 상에 형성된 나노입자 구조물을 부분적으로 선택하여 소결하는 것이 가능한 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
5 5
제 4항에 있어서,부분적으로 선택하여 소결하는 방법은,나노입자 구조물이 형성된 기판 상에 미세 패턴이 천공된 마스크를 위치시키고, 상기 마스크에 전자빔을 조사하여, 천공된 부분에 위치한 나노입자 구조물을 선택적으로 소결하거나, 전자빔 조사 배율을 조절하여 선택적으로 소결하는 것을 특징으로 하는 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 나노입자 구조물을 소결하기 위한 전자빔의 조사 시간이 0
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서,상기 나노입자가 스파크방전, 코로나방전 또는 두 가지 방법을 복합적으로 사용하여 형성되는 것인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
9 9
제 2항에 있어서,상기 나노입자의 크기가 1 내지 300nm인 것을 특징으로 하는 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
10 10
삭제
11 11
제 1항에 있어서,상기 나노입자 구조물이 단일 금속 또는 2종 이상의 복합 금속 또는 이들의 산화물로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 것인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
12 12
제 11항에 있어서,상기 금속이 구리, 주석, 은, 아연, 백금, 팔라듐, 금, 인듐, 카드뮴, 티타늄 및 알루미늄 또는 이들의 산화물 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
13 13
제 1항에 있어서,상기 나노입자 구조물이 이온보조 에어로졸 리소그래피법(IAAL: ion assisted aerosol lithography)으로 형성된 것인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
14 14
제 1항에 있어서,상기 나노입자 구조물이 3개 이상의 꽃잎을 갖는 꽃 형상의 구조인 것을 특징으로 하는 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
15 15
제 2항에 있어서, 상기 나노입자 층 구조물은 전도성 기판이 장착된 스파크 방전관에서 스파크 방전을 통해 금속 나노 입자를 발생시키는 단계; 및상기 금속 나노입자가 상기 전도성 기판에 증착되는 단계에 의해 형성되는 것인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
16 16
제 15항에 있어서,상기 금속 나노입자가 티타늄의 산화물인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
17 17
제 15항에 있어서,상기 나노입자 층 구조물이 금속 나노입자의 다공성 층 구조물인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
18 18
제 15항에 있어서,상기 전도성 기판이 FTO(불소함유 산화주석) 또는 ITO(산화인듐주석) 기판, 또는 FTO와 ITO 중 하나 이상이 코팅된 투명기판인 소결된 나노입자 구조물의 제조방법
19 19
삭제
20 20
삭제
21 21
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)멀티스케일 에너지시스템 연구단 글로벌프론티어사업 초고효율 에너지 변환용 삼차원 멀티구조체 병렬 조립