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그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터 및 이의 제조 방법(GRAPHENE-ORGANIC SEMICONDUCTOR VERTICAL TRANSISTOR AND PREPARING METHOD OF THE SAME)

  • 기술번호 : KST2017001979
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터, 및 상기 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL
CPC H01L 51/0512(2013.01) H01L 51/0512(2013.01) H01L 51/0512(2013.01) H01L 51/0512(2013.01)
출원번호/일자 1020150113682 (2015.08.12)
출원인 성균관대학교산학협력단, 숭실대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0019626 (2017.02.22) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.08.12)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정호 대한민국 서울특별시 서초구
2 김범준 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 강문성 대한민국 서울특별시 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0780681-66
2 보정요구서
Request for Amendment
2015.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0134052-21
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0875353-01
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2016-0031494-55
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2016-5110636-51
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0823764-81
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1289278-08
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1289273-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
11 등록결정서
Decision to grant
2017.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0366422-74
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0073261-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유연성 기재 상에 서로 이격되어 형성된 하부 전극 및 게이트 전극;상기 하부 전극과 연결되며, 상기 하부 전극의 수직 방향으로 패터닝된 그래핀층을 포함하는 소스 전극;상기 소스 전극 상에 형성된 유기 반도체 채널 영역;상기 유기 반도체 채널 영역 및 상기 유연성 기재와 연결되며, 상기 소스 전극의 수직 방향으로 형성된 드레인 전극; 및상기 게이트 전극 및 상기 유기 반도체 채널 영역 상에 형성된 절연체층을 포함하는, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
2 2
제 1 항에 있어서,상기 유연성 기재는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리(디메틸실록산), 폴리카보네이트, 폴리에테르설폰, 폴리이미드, 폴리아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리비닐, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
3 3
제 1 항에 있어서,상기 그래핀층은 단일층인 것을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
4 4
제 1 항에 있어서,상기 유기 반도체 채널 영역은 펜타센, 테트라센, 안트라센, 나프탈렌, 알파-6-티오펜, 알파-4-티오펜, 풀러렌, 페릴렌 및 그 유도체, 루브렌 및 그 유도체, 코로넨 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실릭 디이미드 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실릭 디안하이드라이드 및 그 유도체, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌비닐렌 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 및 그 유도체, 폴리플로렌 및 그 유도체, 폴리티오펜비닐렌 및 그 유도체, 폴리티오펜-헤테로고리방향족 공중합체 및 그 유도체, 나프탈렌의 올리고아센 및 이들의 유도체, 알파-5-티오펜의 올리고티오펜 및 이들의 유도체, 금속을 함유하거나 함유하지 않은 프탈로시아닌 및 이들의 유도체, 파이로멜리틱 디안하이드라이드 및 그 유도체, 파이로멜리틱 디이미드 및 이들의 유도체, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 유기 반도체 물질을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
5 5
제 1 항에 있어서,상기 절연체층은 이온 겔 고분자 전해질을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
6 6
제 5 항에 있어서,상기 이온 겔 고분자 전해질은 폴리스티렌, 폴리에틸렌 옥사이드, 폴리에틸렌이민, 폴리메틸 메타크릴레이트, 이들의 공중합체, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 고분자 물질을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
7 7
제 1 항에 있어서,상기 하부 전극, 상기 게이트 전극, 및 상기 드레인 전극은 각각 독립적으로 Ag, Pt, Au, Al, Cu, Ni, Pd, Mo, Ca, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터
8 8
유연성 기재 상에 서로 이격된 하부 전극 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 하부 전극과 수직 방향으로 연결되는 그래핀층을 패터닝하여 소스 전극을 형성하는 단계;상기 소스 전극 상에 유기 반도체 채널 영역을 형성하는 단계;상기 소스 전극의 수직 방향이면서, 상기 유기 반도체 채널 영역 및 상기 유연성 기재와 연결되는 드레인 전극을 형성하는 단계; 및상기 게이트 전극 및 상기 유기 반도체 채널 영역 상에 절연체층을 형성하는 단계를 포함하는, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 패터닝된 그래핀층은 금속 촉매층 상에서 화학기상증착법에 의하여 형성되는 그래핀을 패터닝하여 형성되는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 절연체층은 이온 겔 고분자 전해질을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
11 11
제 8 항에 있어서,상기 절연체층의 형성은 포토리소그라피에 의해 수행되는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
12 12
제 8 항에 있어서,상기 하부 전극, 상기 게이트 전극, 및 상기 드레인 전극은 각각 독립적으로 열 증착법 또는 스퍼터링에 의해 형성되는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
13 13
제 8 항에 있어서, 상기 유기 반도체 채널 영역은 펜타센, 테트라센, 안트라센, 나프탈렌, 알파-6-티오펜, 알파-4-티오펜, 풀러렌, 페릴렌 및 그 유도체, 루브렌 및 그 유도체, 코로넨 및 그 유도체, 페릴렌테트라카르복실릭디이미드 및 그 유도체, 페릴렌테트라카르복실릭디안하이드라이드 및 그 유도체, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌비닐렌 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 및 그 유도체, 폴리플로렌 및 그 유도체, 폴리티오펜비닐렌 및 그 유도체, 폴리티오펜-헤테로고리방향족 공중합체 및 그 유도체, 나프탈렌의 올리고아센 및 이들의 유도체, 알파-5-티오펜의 올리고티오펜 및 이들의 유도체, 금속을 함유하거나 함유하지 않은 프탈로시아닌 및 이들의 유도체, 파이로멜리틱 디안하이드라이드 및 그 유도체, 파이로멜리틱 디이미드 및 이들의 유도체, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 유기 반도체 물질을 포함하는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
14 14
제 8 항에 있어서,상기 유기 반도체 채널 영역의 형성은, 열 증착법, 스핀코팅, 드랍캐스팅, 랭뮤어 블로드 젯(Langmuir Blodgett)법, 에어로졸 젯 프린팅, 잉크 젯 프린팅, 스크린 프린팅, 롤투롤 프린팅, 그라이바 프린팅, 플렉소그래픽 프린팅, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 방법에 의해 수행되는 것인, 그래핀-유기 반도체 수직형 트랜지스터의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교 산학협력단 글로벌프론티어연구개발사업(나노기반소프트일렉트로닉스연구) 2/4 소프트 하이브리드 신개념 소자 개발