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RF 신호가 입력되는 신호 입력단;상기 신호 입력단으로부터 입력된 RF 신호가 이동되는 전송 선로; 및상기 전송 선로의 일면과 접촉되어 상기 RF 신호가 입력되는 분포 정수 소자 형태의 박막 저항를 포함하는 고주파 고전력 종단기
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제1항에 있어서,상기 전송 선로는,미리 특정된 임피던스를 나타내는 고주파 고전력 종단기
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제1항에 있어서,상기 신호 입력단과 전송 선로 사이에 삽입되는 임피던스 정합 회로를 더 포함하는 고주파 고전력 종단기
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제3항에 있어서,상기 임피던스 정합 회로는,상기 신호 입력단으로부터 입력된 RF 신호에 대해 전송 선로의 임피던스와 매칭하기 위해 삽입되는 고주파 고전력 종단기
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5
제1항에 있어서,상기 전송 선로는,RF 신호가 입력되는 제1면 및 상기 박막 저항과 접촉되는 제2면으로 구성되고,상기 제2면의 폭은, 제1면의 폭보다 긴 고주파 고전력 종단기
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제5항에 있어서,상기 제1면은,상기 신호 입력단 또는 신호 입력단과 전송 선로 사이에 삽입되는 임피던스 정합 회로 중 적어도 하나와 연결되는 고주파 고전력 종단기
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제1항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면을 포함하는 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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제7항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면으로 구성되는 반원 형태의 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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9
제7항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면으로 구성되는 다각형 형태의 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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제7항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면으로 구성되는 레디얼 스토브(radial stub) 형태의 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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RF 신호가 입력되는 신호 입력단;상기 신호 입력단으로부터 입력된 RF 신호가 이동되는 전송 선로;상기 전송 선로의 일면과 접촉되어 상기 RF 신호가 입력되는 분포 정수 소자 형태의 박막 저항; 및상기 박막 저항의 일면에 접촉하여 접지와 연결된 복수의 비아홀를 포함하는 비아홀 패드를 포함하는 고주파 고전력 종단기
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제11항에 있어서,상기 전송 선로는,미리 특정된 임피던스를 나타내는 고주파 고전력 종단기
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제11항에 있어서,상기 신호 입력단과 전송 선로 사이에 삽입되는 임피던스 정합 회로를 더 포함하는 고주파 고전력 종단기
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제13항에 있어서,상기 임피던스 정합 회로는,상기 신호 입력단으로부터 입력된 RF 신호에 대해 전송 선로의 임피던스와 매칭하기 위해 삽입되는 고주파 고전력 종단기
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제11항에 있어서,상기 전송 선로는,RF 신호가 입력되는 제1면 및 상기 박막 저항과 접촉되는 제2면으로 구성되고,상기 제2면의 폭은, 제1면의 폭보다 긴 고주파 고전력 종단기
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제15항에 있어서,상기 제1면은,상기 신호 입력단 또는 신호 입력단과 전송 선로 사이에 삽입되는 임피던스 정합 회로 중 적어도 하나와 연결되는 고주파 고전력 종단기
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제11항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면을 포함하는 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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제17항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면으로 구성되는 반원 형태의 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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제17항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면으로 구성되는 다각형 형태의 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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제17항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 전송 선로와 접촉되는 일면으로 구성되는 레디얼 스토브 형태의 저항성 소자인 고주파 고전력 종단기
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