요약 | 본 발명은 미세유체소자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판과 필름간 접합력이 증진된 미세유체소자의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명에 따른 방법은 기판 본체의 표면에 높은 전압 및 빈도로 에어 플라스마(air plasma)를 처리하는 단계를 포함하며, 상기 단계를 통해 기판 본체의 표면 에너지를 증가시켜 필름과의 접합력을 증진시킬 수 있는바, 본 발명의 방법을 통해 높은 압력이 인가되는 조건에서도 사용할 수 있는 미세유체소자를 대량생산할 수 있을 것으로 기대된다. |
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Int. CL | |
CPC | B01L 3/502707(2013.01) B01L 3/502707(2013.01) B01L 3/502707(2013.01) B01L 3/502707(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020150117529 (2015.08.20) |
출원인 | 성균관대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2017-0022483 (2017.03.02) 문서열기 |
공고번호/일자 | 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2016.06.01) |
심사청구항수 | 3 |