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전자현미경용 시료실 장치로,상기 장치는 상면부에 전자빔 경통으로부터 방출되는 전자빔이 입사하는 틈(aperture)이 있고, 상기 틈과 마주보는 하면부의 구멍을 외부에서 기밀 봉합하는 진공유지판을 구비한 진공실;상기 진공실 내부에 위치하는 전자검출기; 및상기 진공실의 진공이 유지되는 상태에서 상기 진공유지판의 위치로 수평이동 가능하고, 시료홈을 구비한 시료 홀더를 포함하고,상기 시료홈은 수평이동하여 상기 진공실에 노출되며,상기 진공실, 상기 시료홀더의 재료는 X-선을 포함한 방사능 차폐부재를 포함하고,상기 진공실은,상기 전자빔이 통과하는 틈(aperture)을 중앙에 구비한 상면부;상기 상면부와 대향하여 위치하고, 상기 상면부의 틈과 마주하는 위치에 상기 전자빔이 통과할 수 있는 구멍을 구비한 하면부;상기 상면부와 상기 하면부의 모서리를 기밀 연결하여 내부에 제1공간을 형성하며, 진공 배기부를 구비한 측면부; 상기 하면부의 상기 제1공간 외부면에 기밀을 유지하도록 접하며, 상기 구멍을 둘러싸는 고리형 밀봉부재; 상기 고리형 밀봉부재가 둘러싼 하면부, 상기 고리형 밀봉부재와 함께 기밀을 유지하는 제2공간을 형성하도록 상기 고리형 밀봉부재와 접하며, 수평이동 가능한 진공유지판;상기 제2공간의 기밀을 유지한 상태로 상기 진공유지판을 밀어낼 수 있도록 상기 진공유지판과 사이에 선형 밀봉부재를 개재하여 접한 상기 시료홀더가 상기 고리형 밀봉부재와 접한 채 수평이동할 수 있도록 고정해주는 궤도부; 및상기 시료홀더와 선형 밀봉부재를 사이에 개재한 채 기밀을 유지할 수 있도록, 상기 제2공간을 형성하는 위치로 향하도록 상기 진공유지판에 복원력을 가하는 탄성부재를 포함하고,상기 전자검출기는 상기 상면부의 상기 제1공간 내부면에 위치하는,전자현미경용 시료실 장치
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제 1항에 있어서,상기 시료홀더는 상기 진공유지판과 기밀 접촉 가능한 판형이고,상기 진공유지판을 밀어내고 상기 제 2공간을 형성하는 경우 상기 제 2공간 내에 시료홈을 구비하고,상기 시료홈은 상기 시료홀더가 상기 고리형 밀봉부재와 접한 채 수평 이동할 때 시료가 보호될 수 있도록 단차를 확보한,전자현미경용 시료실 장치
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제 1항에 있어서, 상기 전자검출기는 2차전자 검출기인,전자현미경용 시료실 장치
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제 1항에 있어서,상기 궤도부는 상기 진공유지판 및 상기 시료홀더가 상기 제2공간의 미리 정한 위치에 올 때 고정하는 체결부를 구비하는,전자현미경용 시료실 장치
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제 1항에 있어서,상기 진공실의 진공배기부는 상기 경통의 진공배기부와 연결되는,전자현미경용 시료실 장치
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제 1항에 있어서,상기 시료홀더는 가시광선, 적외선, 및 자외선을 포함하는 광선이 투과하는,전자현미경용 시료실 장치
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전자현미경용 시료실 장치로,상기 장치는 상면부에 전자빔 경통으로부터 방출되는 전자빔이 입사하는 틈(aperture)이 있고, 상기 틈과 마주보는 하면부의 구멍을 외부에서 기밀 봉합하는 진공유지판을 구비한 제1 진공실;상기 제1 진공실과 접하면서, 상기 제1 진공실의 하면부와 평행하고 구멍이 뚫린 하면부를 상기 진공유지판으로 함께 기밀 봉합하는 제3 진공실;상기 제1 진공실 및 상기 제3 진공실 외부 연결부;상기 제1 진공실 내부에 위치하는 전자검출기; 및상기 제1 및 제3 진공실의 진공이 유지되는 상태에서 상기 진공유지판의 위치로 수평이동 가능하고, 시료홈을 구비한 시료 홀더를 포함하고,상기 시료홈은 수평이동하여 상기 제1 진공실 또는 상기 제3 진공실에 노출되며,상기 진공실, 상기 시료홀더의 재료는 X-선을 포함한 방사능 차폐부재를 포함하고,상기 제1 진공실은, 상기 전자빔이 통과하는 틈(aperture)을 중앙에 구비한 상면부;상기 상면부와 대향하여 위치하고, 상기 상면부의 틈과 마주하는 위치에 상기 전자빔이 통과할 수 있는 구멍을 구비한 하면부;상기 상면부와 상기 하면부의 모서리를 기밀 연결하여 내부에 제1공간을 형성하며, 진공 배기부를 구비한 측면부; 상기 하면부의 상기 제1공간 외부면에 기밀을 유지하도록 접하며, 상기 구멍을 둘러싸는 제1 고리형 밀봉부재; 및상기 제1 고리형 밀봉부재가 둘러싼 하면부 및 상기 고리형 밀봉부재와 함께 기밀을 유지하는 제 2공간을 형성하도록, 상기 고리형 밀봉부재와 접하며 수평이동 가능한 진공유지판을 포함하고,상기 제3 진공실은, 내부에 제3 공간을 형성하고, 진공배기부를 구비한 공간부;상기 제1 진공실 하면부의 구멍으로부터 미리 정한 길이에 구멍을 구비하는 하면부; 상기 제1 진공실 하면부의 구멍을 둘러싸는 제1 고리형 밀봉부재 및 상기 제3 진공실 하면부의 구멍을 함께 둘러싸는 제2 고리형 밀봉부재; 및상기 제2 공간 및 상기 제3 공간을 형성하도록 상기 제1 고리형 밀봉부재 및 상기 제2 고리형 밀봉부재와 동시에 접하며, 수평이동 가능한 진공유지판을 포함하고,상기 제1 진공실 및 상기 제3 진공실 외부 연결부는,상기 제3 공간에 시료홀더의 시료홈이 위치하여 진공배기를 한 뒤, 상기 제2공간의 기밀을 유지한 상태로 상기 진공유지판을 밀어낼 수 있도록 상기 진공유지판과 사이에 선형 밀봉부재를 개재하여 접한 상기 시료홀더가 상기 제1 고리형 밀봉부재 및 상기 제2 고리형 밀봉부재와 접한 채 수평이동할 수 있도록 고정해주는 궤도부; 및상기 시료홀더와 선형 밀봉부재를 사이에 개재한 채 기밀을 유지할 수 있도록, 상기 제2 공간 및 제3 공간을 형성하는 위치로 향하도록 상기 진공유지판에 복원력을 가하는 탄성부재를 포함하고,상기 전자검출기는 상기 제1 진공실 상면부의 제1공간 내부면에 위치하는,전자현미경용 시료실 장치
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제 8항에 있어서,상기 시료홀더는 상기 진공유지판과 기밀 접촉 가능한 판형이고,상기 진공유지판을 밀어내고 상기 제 2공간을 형성하는 경우 상기 제 2공간 내에 시료홈을 구비하고,상기 시료홈은 상기 시료홀더가 상기 제1 고리형 밀봉부재 및 제2 고리형 밀봉부재와 접한 채 수평 이동할 때 시료가 보호될 수 있도록 단차를 확보한,전자현미경용 시료실 장치
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제 8항에 있어서,상기 시료홀더는 가시광선, 적외선, 및 자외선을 포함하는 광선이 투과하는,전자현미경용 시료실 장치
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제 1항, 제 3항 내지 제 8항, 제 10항, 및 제 11항 중 어느 한 항의 전자현미경용 장치를 시료실로 구비한,전자현미경
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제 7항 또는 제 11항의 전자현미경용 시료실 장치를 시료실로 구비한 전자현미경; 및광학현미경부를 포함하는 광-전자 융합현미경으로, 상기 광학현미경부는,시료홀더의 제2공간 외부에서 시료홈을 향하도록 위치한 광학대물렌즈;상기 시료홈에서 상기 광학대물렌즈로 이어지는 광경로의 연장선에 상기 광경로를 분기시키는 광경로 분기장치;상기 광경로 분기장치로 입사광을 제공하는 광원;상기 광경로상의 상기 분기장치를 통과한 위치에서 음극선 루미네선스(cathode luminescence)를 검출하는 음극선 루미네선스 검출기; 및상기 광경로상의 상기 분기장치를 통과한 위치에서 광학 영상을 검출하는 광 영상 검출기를 포함하고,상기 음극선 루미네선스는 상기 시료홈에 위치하는 시료에 입사한 전자빔으로부터 방출되고,상기 광학 영상은 상기 광원에서 제공된 입사광이 상기 광경로 장치를 통해 상기 광경로를 거슬러 올라가 상기 광선이 투과하는 시료홀더를 통과해 시료홈에 위치하는 시료에서 반사된 영상인,광-전자 융합현미경
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제 13항에 있어서,상기 음극선 루미네선스 검출기와 상기 광 영상 검출기는 빔 분할기(beam splitter)를 통해 광을 시간 또는 공간으로 분할하여 획득하는,광-전자 융합현미경
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