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1
제 1 전원이 공급되며, 자외선에 의해 이온화된 유해 물질의 제 1 이온이 흡착되는 제 1 감지 전극; 상기 제 1 전원과 다른 극성의 제 2 전원이 공급되며, 상기 자외선에 의해 이온화된 상기 유해 물질의 제 2 이온이 흡착되는 제 2 감지 전극; 및상기 제 2 감지 전극의 일단과 연결되고, 상기 제 2 감지 전극을 이동시켜 상기 제 1 감지 전극과 제 2 감지 전극 사이의 간격을 조절하는 구동부를 포함하는유해 물질 감지 센서
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제 1항에 있어서,상기 제 1 감지 전극은,제 1 몸체와,상기 제 1 몸체의 표면으로부터 일정 간격을 두고 돌출된 복수의 제 1 돌기를 포함하고,상기 제 2 감지 전극은,제 2 몸체와,상기 제 2 몸체의 표면으로부터 일정 간격을 두고 돌출된 복수의 제 2 돌기를 포함하는유해 물질 감지 센서
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3
제 2항에 있어서,상기 복수의 제 1 돌기 각각은,상기 복수의 제 2 돌기 사이에 배치되는유해 물질 감지 센서
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4
제 1항에 있어서,상기 복수의 제 1 돌기 및 상기 복수의 제 2 돌기 중 적어도 하나는,상면 및 하면의 폭이 서로 다른유해 물질 감지 센서
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5
제 3항에 있어서,상기 복수의 제 1 돌기는,상기 제 1 몸체의 하면으로부터 하측 방향으로 돌출되고, 상기 제 1 몸체의 하면으로부터 멀어질수록 폭이 점차 감소하며,상기 복수의 제 2 돌기는,상기 제 2 몸체의 상면으로부터 상측 방향으로 돌출되고, 상기 제 2 몸체의 상면으로부터 멀어질수록 폭이 점차 증가하는유해 물질 감지 센서
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6
제 3항에 있어서,상기 제 2 감지 전극의 이동 조건에서, 상기 제 2 감지 전극으로부터 이탈되어 상기 제 2 감지 전극의 이동이 가능하도록 하고,상기 제 2 감지 전극의 고정 조건에서, 상기 제 2 감지 전극에 결합되어 상기 제 2 감지 전극을 고정시키는 래치부를 더 포함하는유해 물질 감지 센서
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7
제 6항에 있어서,상기 제 2 감지 전극은,상기 제 2 몸체로부터 연장되고, 표면에 나선형 돌기가 형성되어 상기 래치부에 선택적으로 결합되는 걸림부를 더 포함하는유해 물질 감지 센서
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8
제 1항에 있어서,일단이 고정부에 연결되고 타단이 상기 제 2 감지 전극에 연결되어, 상기 제 2 감지 전극을 탄성적으로 지지하는 탄성부를 더 포함하는유해 물질 감지 센서
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9
제 3항에 있어서,상기 구동부는,상기 제 2 감지 전극을 상측 방향으로 이동시켜, 상기 제 1 몸체의 하면과 상기 복수의 제 2 돌기의 상면 사이의 간격을 감소시키고,상기 제 2 감지 전극을 하측 방향으로 이동시켜, 상기 제 1 몸체의 하면과 상기 복수의 제 2 돌기의 상면 사이의 간격을 증가시키는 유해 물질 감지 센서
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10
제 1항에 있어서,상기 구동부는,상기 유해 물질 감지 센서에서 감지하고자 하는 유해 물질의 종류에 따라 상기 제 2 감지 전극을 이동시켜, 상기 제 1 감지 전극과 상기 제 2 감지 전극 사이의 조절하는유해 물질 감지 센서
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11
제 1항에 있어서,상기 제 1 감지 전극 및 상기 제 2 감지 전극에 각각 공급되는 분극 전압은,상기 유해 물질 감지 센서에서 감지되는 유해 물질의 종류에 따라 선택적으로 변경되는유해 물질 감지 센서
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12
제 2항에 있어서,상기 제 1 감지 전극은,상기 제 1 몸체의 표면 및 상기 복수의 제 1 돌기의 표면에 증착된 제 1 표면 처리층을 더 포함하고,상기 제 2 감지 전극은,상기 제 2 몸체의 표면 및 상기 복수의 제 2 돌기의 표면에 증착된 제 2 표면 처리층을 더 포함하는유해 물질 감지 센서
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13
제 12항에 있어서,상기 제 1 표면 처리층 및 상기 제 2 표면 처리층은,탄소 나노 튜브를 각각 포함하는유해 물질 감지 센서
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14
제 1항에 있어서,상기 제 1 감지 전극, 상기 제 2 감지 전극 및 상기 구동부의 하부에 배치되어 상기 제 1 감지 전극, 상기 제 2 감지 전극 및 상기 구동부를 고정하는 고정 기판을 더 포함하는유해 물질 감지 센서
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15
제 1 몸체;상기 제 1 몸체 위에 배치되며, 적어도 하나의 소자가 부착된 구동 기판;상기 구동 기판 위에 배치되어 상기 구동 기판의 상부 영역을 덮으며, 상면에 일정 깊이의 제 1 홈이 형성된 제 2 몸체;상기 제 2 몸체 위에 배치되어 상기 제 2 몸체의 상부 영역을 덮으며, 하면에 상기 제 1 홈에 대응하는 제 2 홈이 형성된 제 3 몸체;상기 제 2 몸체의 상기 제 1 홈 내에 삽입되는 자외선 램프; 및제 1항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 포함된 유해 물질 감지 센서로 구성되며, 상기 제 2 몸체의 상기 제 1 홈 내에 삽입되는 센서부;를 포함하는센서 패키지
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제 15항에 있어서,상기 제 1 홈은 상기 제 2 몸체의 측면으로 연장되고,상기 제 2 홈은 상기 제 3 몸체의 측면으로 연장되며,상기 센서부의 일 표면은,상기 제 2 몸체 및 상기 제 3 몸체의 측면으로 연장된 상기 제 1 홈 및 제 2 홈에 의해 외부로 노출되는센서 패키지
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17
제 15항에 있어서,상기 구동 기판에는,상기 제 1 감지 전극 및 제 2 감지 전극에 분극 전압을 각각 공급하는 전압 공급 소자가 실장되며,상기 전압 공급 소자는,각각의 유해 물질에 따라 기설정된 분극 전압 조건을 기준으로 상기 제 1 감지 전극 및 상기 제 2 감지 전극에 공급되는 분극 전압을 각각 조절하는센서 패키지
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18
제 15항에 있어서,상기 구동 기판에는,상기 제 1 감지 전극 및 상기 제 2 감지 전극에 흡착되는 상기 유해 물질의 이온에 의한 전류 변화를 감지하고, 상기 감지한 전류 변화에 따라 상기 유해 물질의 농도를 검출하는 제어 소자가 더 실장되는센서 패키지
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19
제 18항에 있어서,상기 제어 소자는,상기 유해 물질의 종류에 따라 기설정된 조건을 기준으로 상기 제 2 감지 전극을 이동시켜, 상기 제 1 감지 전극과 상기 제 2 감지 전극 사이의 간격을 조절하는센서 패키지
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20
제 1 감지 전극 및 제 2 감지 전극을 포함하는 유해 물질 감지 센서의 동작 방법에 있어서,자외선을 발생시키는 단계;기설정된 조건에 따라 상기 제 1 감지 전극 및 상기 제 2 감지 전극에 각각 공급되는 분극 전압을 설정하는 단계; 및상기 기설정된 조건에 따라 상기 제 1 감지 전극과 제 2 감지 전극 사이의 이격 간격을 조절하는 단계; 상기 분급 전압 설정 및 이격 간격 조절에 따라 발생하는 출력 전류 값의 변화를 감지하는 단계; 및상기 변화하는 출력 전류 값에 따라 상기 유해 물질의 농도를 검출하는 단계를 포함하는유해 물질 감지 센서의 동작 방법
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제 20항에 있어서,상기 이격 간격을 조절하는 단계는,상기 제 2 감지 전극을 상측 방향 또는 하측 방향으로 이동시켜 상기 제 1 감지 전극과 제 2 감지 전극 사이의 이격 간격을 증가 또는 감소시키는 단계를 포함하는 유해 물질 감지 센서의 동작 방법
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제 20항에 있어서,상기 분극 전압이 설정되면, 상기 설정된 분극 전압에 따라 상기 제 1 감지 전극 및 상기 제 2 감지 전극에 각각 분극 전압을 공급하는 단계를 더 포함하는유해 물질 감지 센서의 동작 방법
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제 20항에 있어서,상기 감지하는 단계는,상기 발생한 자외선에 의해 이온화된 상기 유해 물질의 이온이 상기 제 1 감지 전극과 상기 제 2 감지 전극에 흡착되면, 상기 흡착되는 상기 유해 물질의 이온에 의한 전류 변화를 감지하는 단계를 포함하는유해 물질 감지 센서의 동작 방법
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