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PVDF계 폴리머가 용매에 용해되어 이루어진 PVDF계 폴리머 용액을 제1기판 상에 도포하는 단계;상기 용매를 증발시켜 PVDF계 폴리머 필름을 형성하는 단계;상기 PVDF계 폴리머 필름에 지지막을 접합하는 단계;상기 PVDF계 폴리머 필름과 상기 제1기판 사이의 접착력을 약화시키는 단계;상기 제1기판을 상기 PVDF계 폴리머 필름으로부터 분리하는 단계;를 포함하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 PVDF계 폴리머는 P(VDF(vinylidene fluoride)-TrFE(trifluoroethylene)-CTFE(chloro trifluoro ethylene)) 또는 P(VDF(vinylidene fluoride)-TrFE(trifluoroethylene)-CFE(chloro fluoro ethylene))인 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 용매는 MIBK (methyl isobutyl ketone), MEK (methyl ethyl ketone), 또는 DMF (dimethylformamide)인 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 PVDF계 폴리머 용액을 기판 상에 도포하는 단계에서어플리케이터(applicator) 또는 바코터(bar coater)를 사용하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1기판은 친수성 코팅 처리된 재질로 이루어진 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제5항에 있어서,상기 제1기판은 유리 또는 폴리머로 이루어진 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 용매를 증발시켜 PVDF계 폴리머 필름을 형성하는 단계에서, 상기 PVDF계 폴리머 용액 위로 기체의 유동을 만들어 상기 용매의 균일한 휘발을 유도하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제7항에 있어서,상기 기체는 불활성 기체인 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 지지막은 실리콘 일래스토머(silicone elastomer) 또는 PDMS(polydimethylsiloxane)를 포함하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제9항에 있어서,상기 지지막은 PET(polyethylene terephthalate) 필름 상에 실리콘 일래스토머(silicone elastomer) 또는 PDMS(polydimethylsiloxane)를 코팅하여 형성되는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 PVDF계 폴리머 필름과 상기 기판 사이의 접착력을 약화시키는 단계에서, 상기 기판과 상기 PVDF계 폴리머 필름에 습윤 환경을 제공하는 것을 포함하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제11항에 있어서,상기 습윤 환경은 물, 증류수(distilled water), 탈이온수(deionized water) 또는 IPA(isopropyl alcohol)을 사용하여 형성되는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1기판을 상기 PVDF계 폴리머 필름으로부터 분리하는 단계 후에풀림(annealing) 공정을 더 수행하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1기판을 상기 PVDF계 폴리머 필름으로부터 분리하는 단계 후에폴링(electrical poling) 공정을 더 수행하는 PVDF계 폴리머 필름 제조방법
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지지막에 접합된 PVDF계 폴리머 필름으로 이루어진 다수의 전사막을 준비하는 단계; 제1전극층을 형성하고, 상기 다수의 전사막 중 어느 하나로부터 PVDF계 폴리머 필름을 상기 제1전극층 위에 전사하는 단계;상기 전사된 PVDF계 폴리머 필름 상에 제2전극층을 형성하는 단계;상기 다수의 전사막 중 다른 하나로부터 PVDF계 폴리머 필름을 상기 제2전극층 위에 전사하는 단계;를 포함하는 적층형 폴리머 액츄에이터 제조방법
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제15항에 있어서,상기 전사막을 준비하는 단계는 제1항의 방법에 따라 수행되는 적층형 폴리머 액츄에이터 제조방법
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다수의 전극층과 다수의 PVDF계 폴리머 필름을 포함하며,상기 다수의 전극층과 상기 다수의 PVDF계 폴리머 필름이 교번 적층된 적층형 폴리머 액츄에이터
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제17항에 있어서,서로 마주하는 양 측벽에 각각 마련된 제1전극부와 제2전극부를 더 포함하며,상기 다수의 전극층은 적층된 순서대로 교대로, 상기 제1전극부 및 상기 제2전극부에 각각 연결된 적층형 폴리머 액츄에이터
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제17항에 있어서,상기 다수의 PVDF계 폴리머 필름은 제1항의 방법으로 제조된 적층형 폴리머 액츄에이터
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