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그래핀 기반 수소센서 및 그 제조방법

기술번호 : KST2017002705
담당센터 : 부산기술혁신센터
전화번호 : 051-606-6561

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 그래핀 기반 수소센서 및 그 제조방법을 제공한다.본 발명의 그래핀 기반 수소센서는, 기판; 상기 기판 상에 형성된 그래핀, 상기 그래핀 상에 형성된 전극, 및 상기 그래핀 및 전극 상에 증착된 금속 나노입자를 포함하는 센싱층;을 포함한다. 본 발명에 따르면, 종래에 비해 농도가 매우 낮은 수소에 대해서 빠르고 정확한 검지가 가능하며, 낮은 응답계수, 빠른 반응속도 및 회복속도를 나타내므로 민감도가 향상되는 효과가 있다.
Int. CL	G01N 27/12 (2006.01)
CPC	G01N 27/308(2013.01) G01N 27/308(2013.01) G01N 27/308(2013.01) G01N 27/308(2013.01) G01N 27/308(2013.01)
출원번호/일자	1020120099598 (2012.09.07)
출원인	울산대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-1463958-0000 (2014.11.14)
공개번호/일자	10-2014-0032830 (2014.03.17) 문서열기
공고번호/일자	(20141210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.09.07)
심사청구항수	11

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	울산대학교 산학협력단	대한민국	울산광역시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	정귀상	대한민국	울산광역시 울주군

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김종선	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로길 , 광성빌딩 *층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)
2	이형석	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로길 , 광성빌딩 *층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	울산대학교 산학협력단		울산광역시 남구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.09.07	수리 (Accepted)	1-1-2012-0726005-63
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.08.23	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.10.10	수리 (Accepted)	9-1-2013-0081431-92
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.11.29	수리 (Accepted)	4-1-2013-0057072-80
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.12.30	수리 (Accepted)	4-1-2013-5176374-15
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2014.03.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0213777-19
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.05.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0502234-94
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.05.27	수리 (Accepted)	1-1-2014-0502212-90
9	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2014.09.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0661968-63
10	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.10.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-1017831-11
11	[명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2014.10.24	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2014-1017871-37
12	등록결정서 Decision to Grant Registration	2014.11.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0762739-16
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.06.20	수리 (Accepted)	4-1-2016-5080807-13
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.07.10	수리 (Accepted)	4-1-2020-5154267-54

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판; 상기 기판 상에 열처리 단계를 포함하여 형성된 그래핀, 상기 그래핀 상에 형성된 전극, 및 상기 그래핀 및 전극 상에 40 내지 100 nm의 두께로 증착된 금속 나노입자를 포함하는 센싱층;을 포함하고,상기 센싱층이 형성된 기판을 100℃까지 승온시키면서 제 1 열처리하고,800 내지 1300℃까지 승온시키면서 제 2 열처리하는 그래핀 기반 수소센서
2	2 제 1 항에 있어서,상기 기판은 SiO2, TiN, Al2O3, TiO2 및 SiN로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서
3	3 제 1 항에 있어서,상기 금속 나노입자는 Pd, Pt, Al, Ni, Mn, Mo, Mg, 및 V로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서
4	4 제 3 항에 있어서,상기 금속 나노입자는 Pd 또는 Pt인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서
5	5 제 3 항에 있어서,상기 금속 나노입자는 Pd 및 Pt인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서
6	6 삭제
7	7 기판 상에 그래핀을 전사하는 단계;상기 전사된 그래핀 상의 일부에 전극을 형성하는 단계;상기 그래핀 및 전극 상에 40 내지 100 nm의 두께로 증착된 금속 나노입자를 포함하는 센싱층을 형성하는 단계;상기 센싱층이 형성된 기판을 100℃까지 승온시키면서 열처리하는 제 1 열처리 단계; 및상기 제 1 열처리된 기판을 800 내지 1300℃까지 승온시키면서 열처리하는 제 2 열처리 단계;를 포함하는 그래핀 기반 수소센서를 제조하는 방법
8	8 제 7 항에 있어서,상기 기판에 그래핀을 전사하는 단계는,베이스 부재를 형성하는 단계;상기 베이스 부재 상에 SiO2층을 성장시키는 단계;상기 SiO2 층상에 결정성 3C-SiC 박막을 성장시키는 단계;상기 결정성 3C-SiC 박막상에 Ni층을 증착시키는 단계;상기 Ni층이 증착된 베이스 부재를 열처리하는 단계;상기 열처리 된 베이스 부재를 냉각하는 단계; 및상기 냉각된 베이스 부재 상에 형성된 그래핀을 상기 기판으로 전사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서를 제조하는 방법
9	9 제 7 항에 있어서,상기 기판은 SiO2, TiN, Al2O3, TiO2 및 SiN로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서를 제조하는 방법
10	10 제 7 항에 있어서,상기 금속 나노입자는 Pd, Pt, Al, Ni, Mn, Mo, Mg, 및 V로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서를 제조하는 방법
11	11 제 10 항에 있어서,상기 금속 나노입자는 Pd 또는 Pt인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서를 제조하는 방법
12	12 제 10 항에 있어서,상기 금속 나노입자는 Pd 및 Pt인 것을 특징으로 하는 그래핀 기반 수소센서를 제조하는 방법
13	13 삭제

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	교육과학기술부	울산대학교산학협력단	지역혁신인력양성사업	실리콘 카바이드 기반 고성능 수소센서류 개발
2	중소기업청	울산대학교 산학협력단	산학공동기술개발지원	연료전지용 수소센서 개발

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1463958-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120907 출원 번호 : 1020120099598 공고 연월일 : 20141210 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20141106 청구범위의 항수 : 11 유별 : G01N 27/12 발명의 명칭 : 그래핀 기반 수소센서 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20191115

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 울산대학교 산학협력단 울산광역시 남구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	237,000 원	2014년 11월 17일	납입
제 4 년분	금 액	197,400 원	2017년 10월 31일	납입
제 5 년분	금 액	141,000 원	2018년 10월 10일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.09.07	수리 (Accepted)	1-1-2012-0726005-63
2	선행기술조사의뢰서	2013.08.23	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2013.10.10	수리 (Accepted)	9-1-2013-0081431-92
4	출원인정보변경(경정)신고서	2013.11.29	수리 (Accepted)	4-1-2013-0057072-80
5	출원인정보변경(경정)신고서	2013.12.30	수리 (Accepted)	4-1-2013-5176374-15
6	의견제출통지서	2014.03.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0213777-19
7	[명세서등 보정]보정서	2014.05.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0502234-94
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.05.27	수리 (Accepted)	1-1-2014-0502212-90
9	거절결정서	2014.09.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0661968-63
10	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.10.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-1017831-11
11	[명세서등 보정]보정서(재심사)	2014.10.24	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2014-1017871-37
12	등록결정서	2014.11.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0762739-16
13	출원인정보변경(경정)신고서	2016.06.20	수리 (Accepted)	4-1-2016-5080807-13
14	출원인정보변경(경정)신고서	2020.07.10	수리 (Accepted)	4-1-2020-5154267-54


기술번호	KST2017002705
자료제공기관	기관
기술공급기관	울산대학교
기술명	그래핀 기반 수소센서 및 그 제조방법
기술개요	본 발명은 그래핀 기반 수소센서 및 그 제조방법을 제공한다.본 발명의 그래핀 기반 수소센서는, 기판; 상기 기판 상에 형성된 그래핀, 상기 그래핀 상에 형성된 전극, 및 상기 그래핀 및 전극 상에 증착된 금속 나노입자를 포함하는 센싱층;을 포함한다. 본 발명에 따르면, 종래에 비해 농도가 매우 낮은 수소에 대해서 빠르고 정확한 검지가 가능하며, 낮은 응답계수, 빠른 반응속도 및 회복속도를 나타내므로 민감도가 향상되는 효과가 있다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	1345194052
세부과제번호	100053
연구과제명	실리콘 카바이드 기반 고성능 수소센서류 개발
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	울산대학교 산학협력단
성과제출연도	2012
연구기간	201007~201304
기여율	0.5
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	IT(정보기술)


과제고유번호	1425074337
세부과제번호	C0028018
연구과제명	연료전지용 수소센서 개발
성과구분	출원
부처명	중소기업청
연구관리전문기관명	한국산학연협회
연구주관기관명	울산대학교산학협력단
성과제출연도	2012
연구기간	201206~201305
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

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