| 1 |
1
팔라듐(Pd) 나노큐브를 수소(H2) 탐지를 위한 촉매로 사용하도록 그래핀(Gr)과 시드 매개 성장법을 통해 얻은 상기 팔라듐(Pd) 나노큐브를 혼합하되, 상기 그래핀(Gr)으로부터 얻은 그래핀 플레이크(flake)의 평면에 팔라듐(Pd) 나노큐브가 개별적으로 부착된 Pd 나노큐브-Gr을 이용하여 만든 수소(H2)센서인 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 팔라듐(Pd) 나노큐브는 50∼100㎚ 크기의 나노큐브인 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 팔라듐(Pd) 나노큐브는 70㎚ 크기의 나노큐브인 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 수소센서의 수소(H2) 탐지 범위는 10∼10,000ppm인 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 수소센서의 작동온도는 50∼150℃인 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서
|
| 6 |
6
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 수소센서의 제조방법에 있어서,일정 농도의 4염화칼륨팔라듐(K2PdCl4) 용액을 세틸트리메틸암모늄브롬화물(CTAB)에 첨가하여 교반하고, 시차를 두고 아스코르브(ascorbic)산 용액을 첨가하여 교반함으로써 시드 매개 성장법을 위한 시드용액을 준비하는 단계;상기 단계에 의해 준비된 시드용액에 4염화칼륨팔라듐(K2PdCl4), 세틸트리메틸암모늄브롬화물(CTAB) 및 아스코르브(ascorbic)산 용액을 혼합하고 교반하여 팔라듐(Pd) 나노큐브 용액을 합성하는 단계;순수 그라파이트 분말로 준비되는 그래핀 산화물(GO) 수용액에 상기 팔라듐(Pd) 나노큐브 용액을 첨가하여 교반한 후, 환원제를 추가로 첨가하고 실온보다 더 높은 온도에서 교반하여, 팔라듐(Pd) 나노큐브―그래핀 하이브리드의 혼합물을 형성하는 단계;상기 환원제의 첨가에 의해 환원된 팔라듐(Pd) 나노큐브―그래핀 하이브리드의 혼합물을 현탁액으로 하여 분사에 의해 SiO2/Si 기지에 피복시키는 단계; 및상기 혼합물을 피복시키는 단계에 의해 형성된 Pd 큐브-Gr/SiO2/Si 기지의 표면에 귀금속을 도금하여 오믹(Ohmic) 접촉층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서의 제조방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 팔라듐(Pd) 나노큐브 용액은 초과 세틸트리메틸암모늄브롬화물(CTAB)을 제거하기 위해 원심분리기에 의해 분리하고 세척하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서의 제조방법
|
| 8 |
8
제6항에 있어서,상기 그래핀 산화물(GO) 수용액은 균일한 현탁액으로 하기 위해 일정시간 동안 초음파 배스에서 초음파로 파괴하는 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서의 제조방법
|
| 9 |
9
제6항에 있어서,상기 환원제로 65중량%의 환원제 수화물(N2H4
|
| 10 |
10
제6항에 있어서,상기 SiO2/Si 기지에 팔라듐(Pd) 나노큐브―그래핀 복합체를 분사할 때 SiO2/Si 기지를 일정온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서의 제조방법
|
| 11 |
11
제6항에 있어서,상기 오믹(Ohmic) 접촉층은 금속마스크와 RF 박막증착에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 팔라듐 나노큐브―그래핀 하이브리드 기반 수소센서의 제조방법
|
