| 1 |
1
대면적 미세 광 조형 장치와 연결되어 설치되고,
전면이 충진물의 높이를 관측할 수 있는 유리로 구성되고, 내부에 레진이 적층되는 플랫폼(25)이 설치되고, 하부에는 레진 배출구를 구비하는 레진 저장통(20);
상기 레진 저장통(20)에 충진된 레진(28)을 레이저(22)로 조사하여 타겟판(23)에 결상시키고, 결상된 포인트(24)를 카메라(34)로 촬영하여 정보를 얻는 영상 획득 장치;
상기 영상 획득 장치로부터 얻어진 좌표값의 신호를 저장하는 마이크로 프로세서(37); 및
상기 마이크로 프로세서(37)로부터 신호를 전달받아 레진을 레진 저장통(20)으로 제공하는 레진 토출 장치(33)를 포함하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물 제조장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 플랫폼(25)은 Z축에 의하여 높이가 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물 제조장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 타겟판(23)에 결상된 포인트(24)를 절대 좌표값으로 변환하는 장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물 제조장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 마이크로 프로세서(37)로부터의 신호가 1차 레진의 높이보다 낮은 경우에는 2차 레진을 토출하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물 제조장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 마이크로 프로세서(37)로부터의 신호가 1차 레진의 높이와 동일한 경우에는 2차 레진의 토출을 중지하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물 제조장치
|
| 6 |
6
대면적 미세 광 조형장치와 연계되어 레진 토출 장치(33)가 레진 저장통(20)에 1차 레진을 토출하여 소정의 높이로 형성하는 단계;
레이저(22)가 표면을 조사하여 상기 1차 레진의 표면높이를 측정하여 타겟판(23)에 결상시키고, 결상된 포인트(24)를 카메라(34)로 촬영하여 영상을 획득하는 단계;
상기 레진 저장통(20)에 충진된 1차 레진을 방출구를 통하여 방출하는 단계;
상기 레진 토출 장치(33)를 이용하여 2차 레진을 충진하는 단계; 및
영상 획득 정보를 이용하여 1차 레진의 표면 높이와 2차 레진의 표면 높이를 비교하여 높이가 동일한 경우 2차 레진 토출을 정지하는 단계를 포함하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물의 제조방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 결상된 레이져 포인트를 카메라가 획득해 정해진 크기의 타겟판의 절대 좌표 안에서 마이크로 프로세스를 통해 좌표값으로 저장하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진의 미세 구조물의 제조방법
|
| 8 |
8
제6항에 있어서, 상기 1차 레진을 방출하는 단계에서 유기 용매를 이용하여 상기 레진 저장통(20)을 세척하고 건조하는 단계를 추가로 포함하는 마이크로 광 조형에서의 다중 레진 미세 구조물의 제조방법
|
