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멀티 어레이 툴 제조방법 및 그 툴의 팁 재생방법

  • 기술번호 : KST2017003847
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마/연삭 공정 혹은 패턴 가공에서의 가공 후 표면을 예측할 수 있는 멀티 어레이 툴의 제조가 가능할 뿐만 아니라 그 툴의 칩이 재생될 수 있도록 함으로써, 상기 멀티 어레이 툴에 의해 더욱 정밀한 표면 가공이 가능할 뿐만 아니라 가공대상물에 대한 연속적인 가공이 가능하도록 하기 위한 것이다.이를 위해 본 발명은, 단결정 실리콘 재질의 툴 소재를 준비하는 단계와; 상기 툴 소재 표면에 멀티 어레이 팁을 이룰 수 있는 소정 패턴의 옥사이드 마스크를 씌우는 단계와; 상기 옥사이드 마스크를 씌운 상태에서 에칭을 수행하는 단계와; 상기 옥사이드 마스크를 제거하여 멀티 어레이된 팁을 형성하는 단계;를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 멀티 어레이 툴 제조 방법이 제공된다.한편, 본 발명은 전술한 제조방법에 의해 제조된 멀티 어레이 툴에 있어서; 상기 멀티 어레이 툴을 이용한 표면 가공시, 멀티 어레이 툴의 가공대상물 표면과의 비접촉 부분은 팁 재생을 위해 에칭액과 접촉하도록 하는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 툴 재생방법이 제공된다.
Int. CL C23F 1/02 (2006.01) C23F 1/24 (2006.01)
CPC C23F 1/02(2013.01) C23F 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020100012682 (2010.02.11)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1178284-0000 (2012.08.23)
공개번호/일자 10-2011-0092953 (2011.08.18) 문서열기
공고번호/일자 (20120829) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.02.11)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최수창 대한민국 부산광역시 동래구
2 김용우 대한민국 부산광역시 남구
3 이득우 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0092402-68
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0449977-06
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0596626-46
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0992928-61
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0039200-34
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.02.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0129809-62
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0129808-16
8 등록결정서
Decision to grant
2012.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0417467-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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단결정 실리콘 재질의 툴 소재를 준비하는 단계와, 상기 툴 소재 표면에 멀티 어레이 팁을 이룰 수 있는 소정 패턴의 옥사이드 마스크를 씌우는 단계와, 상기 옥사이드 마스크를 씌운 상태에서 에칭을 수행하는 단계와, 상기 에칭에 의해 툴 소재의 표면에 사각뿔 형태로 된 팁이 복수개 형성되어 멀티 어레이된 팁이 형성되면 상기 옥사이드 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 멀티 어레이 툴 제조방법에 의해 제조된 멀티 어레이 툴에 있어서, 상기 멀티 어레이 툴을 이용한 표면 가공시, 멀티 어레이 툴 중 가공대상물 표면과의 비접촉 부분은 팁 재생을 위해 에칭액과 접촉하도록 하는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 툴 재생방법
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제 3 항에 있어서, 상기 에칭액과의 접촉은 에칭액의 공급노즐을 통한 공급에 의한 접촉이거나, 에칭액 수용조에 수용된 에칭액으로의 잠김에 따른 접촉임을 특징으로 하는 멀티 어레이 툴 재생방법
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제 4 항에 있어서, 상기 에칭액과의 접촉에 의한 팁의 재생에 있어서, 사각뿔 형태의 팁의 마모 정도가 정해진 범위 이하인 초기에는 등방성 에칭을 수행하는 것여 팁이 재생되도록 하는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 툴 재생방법
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제 4 항에 있어서, 팁의 마모량이 정해진 범위를 넘어서는 경우에는 마모된 팁의 프로파일을 고려하여 이방성 에칭(anisotropy etching) 및 등방성 에칭(isotropic etching)중 한 방식 혹은 두 가지 방식의 조합에 의해 에칭을 수행하여 팁이 재생되도록 하는것을 특징으로 하는 멀티 어레이 툴 재생방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.