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기판상에 평면채널 광도파로를 갖고 형성되는 클래딩층;상기 평면채널 광도파로상에 서로 다른 생체 물질들을 동시에 검출하기 위하여 서로 다른 주기를 갖고 형성되는 브래그 격자층들을 갖는 코어층;상기 코어층의 브래그 격자상에 형성되는 나노 돌기 구조체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 브래그 격자의 파장은,이고,여기서, 는 평면채널 광도파로의 유효굴절율이며, Λ는 브래그 격자의 주기인 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 클래딩층은 젤라틴, 코어층은 키토산을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 클래딩층과 코어층의 블랜딩 비율에 따라 평면채널 광도파로의 유효굴절율이 결정되는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 나노 돌기 구조체는,생체 물질들과의 센싱시에 초소수성을 유도하고, 생체 물질속에 있는 타켓 물질에 접촉되는 표면적을 높이고, 광학적인 반사율을 조절하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 생체 물질들의 센싱시에 상기 나노 돌기 구조체를 갖는 브래그 격자상에 생체 질병 표지자의 항체가 SAM(Self Assembled Monolayer) 방법으로 고정되는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 생체 물질의 반응 신호를 이미징(Planar waveguide grating imaging;PWGI)과 스펙트럼 분석(Planar waveguide grating resonance;PWGR)의 비형광표지식 방법으로 동시에 검출하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서
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바이오나노 광도파로를 갖는 바이오 센서의 제조를 위하여,기판상에 클래딩층을 형성하고 상기 클래딩층을 선택적으로 식각하여 평면채널 광도파로를 형성하는 단계;상기 평면채널 광도파로를 갖는 클래딩층상에 코어층을 형성하는 단계;상기 평면채널 광도파로상의 코어층을 선택적으로 식각하여 서로 다른 생체 물질들을 동시에 검출하기 위하여 서로 다른 주기를 갖는 브래그 격자층들을 형성하는 단계;상기 브래그 격자상에 나노 돌기 구조체를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 평면채널 광도파로를 형성하는 단계는,기판의 표면상에 스핀 코팅 공정으로 젤라틴으로 이루어진 클래딩층을 형성하는 공정과,상기 클래딩층 표면에 포토레지스트를 도포하고 리소그래피 공정으로 패터닝하여 평면채널광도파로 형성 영역을 정의하는 공정과,상기 패터닝된 포토레지스트 패턴을 이용하여 O2플라즈마 식각 공정을 진행하여 노출된 클래딩층을 일정 깊이 식각하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 코어층의 형성 두께는,상기 클래딩층과 코어층의 블랜딩 비율에 따라 달라지는 평면채널 광도파로의 유효굴절율을 기준으로 형성 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 브래그 격자층들을 형성하는 단계는,레이저 홀로그래피 방법에 의하여 포토레지스트위에 만든 간섭무늬를 만들어 현상(develop)하여 격자 패턴을 식각한 후 O2 플라스마 에칭에 의하여 코어층을 식각하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 나노 돌기 구조체를 형성하는 단계는,상온,상압에서 레이저 조사(ablation)법을 이용하여 원하는 영역만을 선택적으로 개질하여 형성하는 것을 특징으로 하는 집적형 비표지식 바이오나노 광도파로 브래그 격자 센서의 제조 방법
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