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엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2017003885
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 엑스선 이미지 센서용 격자 구조화된 섬광체 패널 및 그 제조방법에 대한 것이다.본 발명의 일 측면에 따른 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널은 복수의 섬광체와, 섬광체지지부를 포함한다. 상기 섬광체지지부는 엑스선을 통과시킬 수 있으며, 상기 섬광체를 지지할 수 있도록 상기 섬광체를 감싼다.본 발명의 또 다른 측면에 따른 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법은 노광단계와, 현상단계와, 섬광체지지부형성단계와, 반사층증착단계와, 섬광체형성단계를 포함한다. 상기 노광단계는 디퓨저기판과 감광막을 정렬시킨 후 상기 감광막에 노광하는 단계이다. 상기 현상단계는 상기 노광된 감광막을 현상하는 단계이다. 상기 섬광체지지부형성단계는 섬광체가 삽입될 수 있도록 캐스팅공정을 이용하여 폴리머로 된 섬광체지지부를 형성하는 단계이다. 상기 반사층증착단계는 상기 섬광체가 삽입될 상기 섬광체지지부의 내부에 반사층을 증착하는 단계이다. 상기 섬광체형성단계는 상기 반사층이 증착된 섬광체지지부의 내부에 섬광체를 형성시키는 단계이다.섬광체패널, 엑스선, 영상센서, 격자구조
Int. CL G01T 1/20 (2006.01) A61B 6/00 (2006.01) H01L 31/09 (2006.01) G21K 4/00 (2006.01)
CPC H01L 27/14663(2013.01) H01L 27/14663(2013.01) H01L 27/14663(2013.01) H01L 27/14663(2013.01) H01L 27/14663(2013.01) H01L 27/14663(2013.01)
출원번호/일자 1020090071499 (2009.08.04)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1201178-0000 (2012.11.07)
공개번호/일자 10-2011-0013839 (2011.02.10) 문서열기
공고번호/일자 (20121113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.08.04)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고종수 대한민국 부산광역시 해운대구
2 정필구 대한민국 부산광역시 금정구
3 이치훈 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 배공명 대한민국 경상남도 김해시
5 이재민 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0475662-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.01.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0005208-87
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0058479-56
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0219041-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0565936-79
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0946145-16
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0946148-42
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0253138-12
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0401988-29
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0401983-02
12 등록결정서
Decision to grant		 2012.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0645975-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 섬광체와,엑스선을 통과시킬 수 있으며, 상기 섬광체를 지지할 수 있도록 상기 섬광체를 감싸는 섬광체지지부와,상기 섬광체지지부와 상기 섬광체 사이에서 상기 각각의 섬광체를 감싸는 반사층을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널
2 2
제1항에 있어서,상기 섬광체는 격자구조로 배열되며, 상기 반사층을 사이에 두고 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널
3 3
격자구조로 배열되고 굴절률이 상이한 것이 서로 접촉하는 복수의 섬광체와,엑스선을 통과시킬 수 있으며, 상기 섬광체를 지지할 수 있도록 상기 섬광체를 감싸는 섬광체지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널
4 4
복수의 섬광체와,엑스선을 통과시킬 수 있으며, 상기 섬광체를 지지할 수 있도록 상기 각각의 섬광체를 감싸는 금속으로된 섬광체지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 섬광체의 일면에 형성된 섬광체보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널
6 6
디퓨저기판과 감광막을 정렬시킨 후 상기 감광막에 노광하는 노광단계와,상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,섬광체가 삽입될 수 있도록 캐스팅공정을 이용하여 폴리머로 된 섬광체지지부를 형성하는 섬광체지지부형성단계와,상기 섬광체가 삽입될 상기 섬광체지지부의 내부에 반사층을 증착하는 반사층증착단계와,상기 반사층이 증착된 섬광체지지부의 내부에 섬광체를 형성시키는 섬광체형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 섬광체형성단계는 액상섬광체를 상기 섬광체지지부의 내부에 주입하는 섬광체주입단계와,기판으로 상기 액상섬광체를 덮은 다음 롤러로 상기 기판을 압착하는 압착단계와,상기 액상섬광체를 경화시키는 경화단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 노광단계에서 음성감광막을 사용하여 노광하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
9 9
제6항에 있어서,상기 현상단계후 상기 현상된 감광막을 이용하여 상기 감광막에 형합하는 폴리머몰드를 형성하는 몰드형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 몰드형성단계는 상기 감광막을 사용하여 캐스팅으로 상기 폴리머몰드를 형성하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 몰드형성단계는 액상폴리머를 상기 감광막의 내부에 주입하는 액상폴리머주입단계와,기판으로 상기 액상폴리머를 덮은 다음 롤러로 상기 기판을 압착하는 압착단계와,상기 액상폴리머를 경화시키는 경화단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
12 12
제11항에 있어서,상기 노광단계에서 양성감광막을 사용하여 노광하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
13 13
디퓨저기판과 감광막을 정렬시킨 후 상기 감광막에 노광하는 노광단계와,섬광체가 삽입될 수 있도록 상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,상기 섬광체가 삽입될 상기 감광막에 내부에 반사층을 형성하는 반사층증착단계와,상기 반사층이 형성된 상기 감광막의 내부에 섬광체를 형성하는 섬광체 형성단계와,상기 섬광체를 상기 감광막에서 분리하여 상기 섬광체를 지지할 수 있도록 섬광체지지부를 상기 섬광체에 결합시키는 섬광체지지부형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
14 14
디퓨저기판과 감광막을 정렬시킨 후 상기 감광막에 노광하는 노광단계와,상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,섬광체가 삽입될 수 있도록 캐스팅공정을 이용하여 폴리머몰드로 된 섬광체지지부를 형성하는 섬광체지지부형성단계와,상기 섬광체지지부의 내부에 금속씨앗층을 증착하는 씨앗층증착단계와,전주도금을 실시하여 금속몰드를 형성하는 금속몰드형성단계와,상기 금속몰드를 상기 섬광체지지부로부터 분리한 후 다른 섬광체지지부를 형성하기 위하여 상기 금속몰드를 사용하여 폴리머판에 상기 금속몰드의 패턴을 전사하는 패턴전사단계와,상기 패턴전사단계에 의하여 형성된 상기 다른 섬광체지지부의 내부에 반사층을 형성하는 반사층증착단계와,상기 반사층이 형성된 상기 다른 섬광체지지부에 섬광체를 형성하는 섬광체형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
15 15
디퓨저기판과 감광막을 정렬시킨 후 상기 감광막에 노광하는 노광단계와,상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,섬광체가 삽입될 수 있도록 캐스팅공정을 이용하여 폴리머몰드로 된 섬광체지지부를 형성하는 섬광체지지부형성단계와,상기 섬광체지지부의 내부에 금속씨앗층을 증착하는 씨앗층증착단계와,전주도금을 실시하여 금속몰드를 형성하는 금속몰드형성단계와,상기 금속몰드를 상기 섬광체지지부로부터 분리한 후 다른 섬광체지지부를 형성하기 위하여 상기 금속몰드를 사용하여 반사층이 형성된 폴리머판에 상기 금속몰드의 패턴을 전사하는 패턴전사단계와,상기 패턴전사단계에 의하여 형성된 상기 다른 섬광체지지부에 섬광체를 형성하는 섬광체형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
16 16
디퓨저기판과 감광막을 정렬시킨 후 상기 감광막에 노광하는 노광단계와,상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,상기 현상된 감광막에 금속씨앗층을 증착하는 씨앗층증착단계와,전주도금을 실시하여 금속몰드를 형성하는 금속몰드형성단계와,상기 금속몰드를 상기 감광막에서 분리한 후 상기 금속몰드에 섬광체를 결합시키는 섬광체형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
17 17
섬광체가 삽입되기 위한 복수의 섬광체홈이 형성된 몰드를 형성하는 몰드형성단계와,상기 섬광체홈에 섬광체를 삽입하는 섬광체삽입단계와,상기 섬광체가 결합하도록 상기 몰드의 일면에 지지필름을 부착시키는 지지필름부착단계와,상기 섬광체 및 상기 지지필름으로부터 상기 몰드를 분리시키는 몰드분리단계와,상기 섬광체 사이에 다른 굴절률을 가진 섬광체를 형성시키는 다른 섬광체형성단계와,상기 섬광체들로부터 상기 지지필름을 분리시키는 지지필름제거단계와,상기 섬광체들의 일면에 반사층을 증착시키는 반사층증착단계와,반사층이 증착된 면에 섬광체지지부를 형성시키는 섬광체지지부형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
18 18
섬광체가 삽입되기 위한 복수의 섬광체홈이 형성된 몰드를 형성하는 몰드형성단계와,상기 섬광체홈에 섬광체를 삽입하는 섬광체삽입단계와,상기 섬광체가 결합하도록 상기 몰드의 일면에 지지필름을 부착시키는 지지필름부착단계와,상기 섬광체 및 상기 지지필름으로부터 상기 몰드를 분리시키는 몰드분리단계와,상기 지지필름에 접착된 섬광체에 반사층을 증착시키는 반사층증착단계와,상기 섬광체의 단부에 증착된 반사층을 제거하는 반사층 일부제거단계와,반사층으로 서로 접촉하도록 상기 각각의 섬광체 사이에 섬광체를 형성시키는 섬광체형성단계와,상기 섬광체들로부터 상기 지지필름을 분리시키는 지지필름제거단계와,상기 섬광체들의 일면에 반사층을 재 증착시키는 반사층 재증착단계와,반사층이 증착된 면에 섬광체지지부를 형성시키는 섬광체지지부형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
19 19
각각의 섬광체 사이에 형성된 반사층패턴을 형성하기 위하여 일면이 돌기된 몰드를 형성하는 몰드형성단계와,상기 몰드의 일면에 반사층을 증착시키는 반사층증착단계와,상기 반사층패턴이 형성되도록 상기 돌기의 일면에 형성된 반사층을 제거하는 반사층 일부제거단계와,상기 반사층패턴에서 상기 몰드를 분리시키는 몰드제거단계와,상기 몰드가 제거된 반사층패턴에 섬광체를 형성시키는 섬광체형성단계와,상기 섬광체의 일면에 반사층을 증착시키는 반사층 재증착단계와,상기 반사층이 증착된 면에 섬광체지지부를 형성시키는 섬광체지지부형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 이미지 센서용 섬광체패널 제조방법
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