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모재에 Ti2AlN MAX 상 박막으로 코팅처리함에 있어서, 진공 중에서 Ti2AlN으로 된 하나의 타겟(target)을 설치하고, 불활성 가스를 불어넣고, 임펄스 전압을 인가하여 방전된 플라즈마(plasma)를 이용하여 타겟으로부터 금속원소를 이온상태로 방출시켜 모재에 직접 결정질의 Ti2AlN MAX 상 박막으로 코팅 처리하는 것을 특징으로 하는 MAX 상(MAX phase) 박막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 코팅 처리 중, 상기 모재는 300 내지 500 ℃로 유지되는 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 플라즈마 운전중 진공도는 0
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제3항에 있어서, 타겟 쪽에 -10 내지 -90 V의 바이어스 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
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제1항에 있어서, Ti2AlN으로 된 타겟은 Ti:Al:TiN을 혼합하여 플라즈마로 소결하여 제작되는 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
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제1항에 있어서, Ti2AlN 타겟으로부터 생성되는 금속이온의 에너지는 50 내지 100eV 인 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 모재는 300 내지 500℃에서 내구성을 갖는 소재인 것을 특징으로 하는 MAX 상 박막 제조방법
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제5항에 있어서, Ti2AlN으로 된 타겟은 Ti:Al:N의 원자비가 2:1
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