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가공물을 이송하는 가공물 이송수단;상기 가공물 이송수단의 일 측에 배치되어 상기 가공물을 절삭하는 가공공구; 및상기 가공공구와 결합되어 상기 가공공구의 적어도 일 방향으로의 이동을 제어하며, 서로 마주보도록 직렬로 배치된 제1 피에조 적층체 및 제2 피에조 적층체를 구비한 듀얼 피에조 액츄에이터;를 포함하는 미세가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 피에조 적층체와 상기 제2 피에조 적층체는 동일한 피에조 적층체인 것을 특징으로 하는 미세가공장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제1 피에조 적층체와 상기 제2 피에조 적층체는 변위(displacement), 강성(stiffness), 정전용량(capacitance), 공진 주파수(resonant) 중 하나 이상의 물성이 서로 동일한 것을 특징으로 하는 미세가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 피에조 적층체에 가해지는 힘과 상기 제2 피에조 적층체에 가해지는 힘은, 상기 제1 피에조 적층체와 상기 제2 피에조 적층체가 맞닿는 점에 집중되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 미세가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 피에조 적층체와 상기 제2 피에조 적층체 중 어느 일측에 가해지는 전압이 증가하면, 타측에 가해지는 전압이 감소되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 미세가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 듀얼 피에조 액츄에이터는, 상기 듀얼 피에조 액츄에이터의 외형을 이루며, 내부에 제1 피에조 적층체 및 제2 피에조 적층체가 수용되는 케이스 및상기 제1 피에조 적층체 또는 제2 피에조 적층체 중 어느 일 측의 일 단부에 결합되어 상기 케이스 외측으로 돌출되도록 형성되어, 상기 가공공구와 연결되는 돌출부를 더 포함하는 미세가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 피에조 적층체 및 상기 제2 피에조 적층체는 서로 마주보도록 동일 축상에 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 미세가공장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 피에조 적층체 및 상기 제2 피에조 적층체는 상기 듀얼 피에조 액츄에이터로 입력되는 전압과 상기 듀얼 피에조 액츄에이터로부터 출력되는 전압의 차이를 감소시키는 것을 특징으로 하는 미세가공장치
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