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플라즈마 발생을 위한 전원을 공급하는 전원 공급부와,상기 전원 공급부의 전원을 이용하여 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부와, 상기 전원 공급부와 플라즈마 발생부 사이에 직렬로 연결되어 플라즈마 발생 동작시의 전원 공급을 제어하는 제 1, 4 스위치와,상기 제 1, 4 스위치의 사이 접점에 각각 병렬 연결되어 충전 및 방전을 하고, 상기 제 4 스위치의 제어에 의해 방전 에너지를 플라즈마 발생부로 공급하는 제 1, 2 커패시터와,상기 제 2 커패시터의 타단에 직렬 연결되어 제 1 스위치가 턴온되고, 제 4 스위치가 턴 오프된 상태에서 전원 공급부에서 공급되는 전원을 이용하여 제 1, 2 커패시터의 충전을 제어하는 제 2 스위치와,제 2 커패시터 및 제 2 스위치의 사이 접점과 제 1, 4 스위치의 사이 접점 및 제 1 커패시터 사이 접점에 병렬로 연결되어 제 1, 2 스위치가 턴 오프되고, 제 4 스위치가 턴온되어 서로 직렬로 연결되는 제 1, 2 커패시터의 방전을 제어하는 제 3 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 커패시터, 제 2, 3 스위치로 구성되는 적어도 하나 이상의 외부 커패시터를 상기 제 1, 4 스위치의 사이 접점 사이와 제 1 커패시터의 타단에 더 추가되어 구성되는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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제 1 항에 있어서,제 4 스위치와 플라즈마 발생부의 접점 사이에 병렬로 연결되어 상기 플라즈마 발생부로 제 1, 2 커패시터의 방전전압이 인가된 이후 제어를 통해 출력전압을 펄스파형으로 생성하는 GND 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 4 스위치는 제 1, 2 커패시터의 방전 시에만 턴온되는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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5
제 4 항에 있어서,상기 제 4 스위치는 방전 시 제 3 스위치보다 늦게 동작하는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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제 5 항에 있어서,상기 제 4 스위치는 제 3 스위치보다 100 ns 늦게 동작하는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 스위치 내지 제 4 스위치는 트랜지스터로 구성되는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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8
제 1 항에 있어서,상기 제 1, 2 커패시터의 충전 시 제 2 스위치를 제 1 스위치보다 늦게 동작하는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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제 8 항에 있어서,상기 제 2 스위치는 제 1 스위치보다 300 ns 늦게 동작되는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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10
제 1 항에 있어서,상기 제 1 스위치와 제 4 스위치 사이에 다이오드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 커패시터를 이용한 고전압 대기압 플라즈마 발생장치
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