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나노시트 및 나노구조체 제조 방법

  • 기술번호 : KST2017004400
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예들에 따른 나노시트 제조 방법에 따르면, 종이, 합성섬유, 천연섬유 또는 이들의 혼합물을 포함하는 기판 상에 고분자막을 형성한다. 상기 고분자막 상에 박막을 형성한다. 상기 기판을 연소시켜 상기 기판 및 상기 고분자막을 제거한다. 상기 기판을 연소시키는 단계는 상기 박막이 아래를 향하도록 배치된 상태 또는 상기 박막이 위를 향하도록 배치된 상태에서 수행될 수 있다.
Int. CL D06M 15/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) D06M 11/83 (2006.01) H01M 8/02 (2006.01)
CPC D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01) D06M 11/46(2013.01)
출원번호/일자 1020120028243 (2012.03.20)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1276555-0000 (2013.06.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130624) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.20)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권세훈 대한민국 경기 군포시 용호*로 **, *
2 곽원섭 대한민국 부산 남구
3 홍석원 대한민국 서울 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0224771-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.03.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0015105-31
4 등록결정서
Decision to grant		 2013.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0381507-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
종이, 합성섬유, 천연섬유 또는 이들의 혼합물을 포함하는 기판 상에 고분자막을 형성하는 단계;상기 고분자막 상에 박막을 형성하는 단계; 및상기 기판을 연소시켜 상기 기판 및 상기 고분자막을 제거하는 단계를 포함하는 나노시트(nanosheet) 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 박막은 알루미늄 산화물(AlXOY), 하프늄 산화물(HfOX), 티타늄 산화물(TiOX), 지르코늄 산화물(ZrOX), 아연 산화물(ZnOX)을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 기판을 연소시키는 단계는 상기 박막이 아래를 향하도록 배치된 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 기판을 연소시키는 단계는 50℃/min 내지 200℃/min 사이의 승온 속도로 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
5 5
제3항에 있어서, 상기 박막은 1㎚ 내지 100㎚ 사이의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 기판을 연소시키는 단계는 상기 박막이 위를 향하도록 배치된 상태에서 수행되어 상기 박막이 복수의 기공을 포함하게 되는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 기판을 연소시키는 단계는 200℃/min 내지 300℃/min 사이의 승온 속도로 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 박막은 10㎚ 내지 100㎚ 사이의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 박막을 형성하는 단계는 상온 내지 50℃ 사이의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 박막은 화학 기상 증착(CVD) 공정 또는 원자층 증착(ALD) 공정을 통해서 형성되는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 박막은 티타늄 산화물을 포함하고,상기 박막을 형성하는 공정은 사염화티타늄(TiCl4)을 전구체로 사용하며 물 또는 과산화수소수를 반응가스로 사용하는 원자층 증착 공정을 통해서 형성되는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
12 12
제1항에 있어서, 상기 박막은 아연 산화물을 포함하고,상기 박막을 형성하는 공정은 DEZn(Zn(C2H5)2)을 전구체로 사용하며, 물 또는 과산화수소수를 반응가스로 사용하는 원자층 증착 공정을 통해서 형성되는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 기판을 연소시키는 단계는 대기 또는 산소 분위기 하에서 400℃ 내지 1000℃ 사이의 온도에서 상기 기판을 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노시트 제조 방법
14 14
종이, 합성섬유, 천연섬유 또는 이들의 혼합물을 포함하는 기판 상에 박막을 형성하는 단계; 및상기 기판을 연소시켜 상기 기판을 제거하는 단계를 포함하는 나노구조체(nanostructure) 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.