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고에너지물질 박막을 점화시켜 점화 시의 폭발력을 제어하기 위한 마이크로 가열판;연료금속(fuel metal) 나노 입자와 금속산화제(metal oxide) 나노 입자가 혼합되어 상기 마이크로 가열판 표면에 형성되는 점화층(Ignition layer);을 포함하고,점화층(Ignition layer)상에 연료금속층과 금속산화제층으로 이루어진 단위층이 반복하여 적층되고, 마이크로 가열판은 MEMS 기술을 이용하여 실리콘 기판(silicon wafer) 표면에 금(Au) 박막 전선회로를 증착하여 형성된 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체
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제 1 항에 있어서, 상기 점화층상에 연료금속(fuel metal) 나노 입자와 금속산화제(metal oxide) 나노 입자가 균일하게 혼합되어 일정 두께 코팅되는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체
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제 1 항에 있어서, 연료금속(fuel metal)은 알루미늄 나노입자이고, 금속산화제(metal oxide)는 산화구리 나노입자인 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체
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제 3 항에 있어서, 고에너지물질 박막을 제조하기 위하여 알루미늄 나노입자와 산화구리 나노입자를 에탄올에 각각 10 wt%와 30 wt%의 농도로 제조하는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체
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제 1 항에 있어서, 고에너지물질 박막 내부의 알루미늄과 산화구리의 구성 비율은 Al:CuO=30:70 wt%이 유지되는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체
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제 1 항에 있어서, 점화층(Ignition layer)상에 연료금속층과 금속산화제층으로 이루어진 단위층이 동일 두께에서 반복하여 적층되는 횟수가 많을수록 폭발압력상승률이 커지는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체
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MEMS 공정을 이용하여 마이크로 가열판을 제작하는 단계;마이크로 가열판 표면에 고에너지물질 박막을 형성하는 단계;마이크로 가열판 표면에 형성된 고에너지물질의 점화시 폭발력을 측정 및 분석하여 폭발압력상승률을 결정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체의 마이크로 가열판 기반 점화 제어 방법
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제 8 항에 있어서, 마이크로 가열판을 제작하는 단계는,실리콘 옥사이드 기판 위에 포토레지스트 층을 형성하는 단계와,회로패턴이 그려진 포토마스크(photomask)를 이용하여 도포된 포토레지스트 층에 선택적으로 자외선을 조사(exposure)하고 추가 베이킹(post expose baking, PEB) 과정을 거쳐 자외선이 조사된 영역에 가교(crosslinking) 반응을 유도하는 단계와,자외선 전면 조사 후 현상(development) 과정을 거쳐 리프트오프 몰드를 형성하는 단계와,열증착법 (thermal evaporation)을 이용하여 접착층과 금속층을 연속적으로 증착하고 불필요한 금속 패턴을 제거하여 회로패턴을 제작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체의 마이크로 가열판 기반 점화 제어 방법
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제 8 항에 있어서, 고에너지물질 박막을 형성하는 단계에서,연료금속(fuel metal) 나노 입자와 금속산화제(metal oxide) 나노 입자가 혼합되는 점화층을 상기 마이크로 가열판 표면에 형성하고,점화층(Ignition layer)상에 연료금속층과 금속산화제층으로 이루어진 단위층이 반복하여 적층되는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체의 마이크로 가열판 기반 점화 제어 방법
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제 8 항에 있어서, 고에너지물질 박막을 형성하는 단계에서,연료금속(fuel metal) 나노 입자와 금속산화제(metal oxide) 나노 입자가 혼합되는 점화층을 상기 마이크로 가열판 표면에 형성하고,상기 점화층상에 연료금속(fuel metal) 나노 입자와 금속산화제(metal oxide) 나노 입자가 균일하게 혼합되어 일정 두께 코팅되는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체의 마이크로 가열판 기반 점화 제어 방법
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 연료금속(fuel metal)은 알루미늄 나노입자이고, 금속산화제(metal oxide)는 산화구리 나노입자인 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체의 마이크로 가열판 기반 점화 제어 방법
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제 8 항에 있어서, 폭발압력상승률을 결정하는 단계에서,점화층(Ignition layer)상에 연료금속층과 금속산화제층으로 이루어진 단위층이 동일 두께에서 반복하여 적층되는 횟수가 많을수록 폭발압력상승률이 커지는 것을 특징으로 하는 나노고에너지물질 복합체의 마이크로 가열판 기반 점화 제어 방법
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