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양각금형의 제조방법

  • 기술번호 : KST2017004873
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 양각금형의 제조방법은 금속 플레이트를 제공하는 단계, 금속 플레이트에 포토레지스트를 도포하는 단계, 도포된 포토레지스트를 레이저를 이용하여 패터닝 및 노광하는 단계, 노광된 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴을 이용하여 금속 플레이트를 소정의 깊이로 식각하여 돌출부 패턴을 형성하는 단계 및 돌출부 패턴을 가공하여 블레이드를 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/32 (2006.01) B26F 1/44 (2006.01)
CPC B26F 1/44(2013.01) B26F 1/44(2013.01) B26F 1/44(2013.01)
출원번호/일자 1020140168245 (2014.11.28)
출원인 (주)파인테크, 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단, 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1616069-0000 (2016.04.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160503) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)파인테크 대한민국 경기도 화성시
2 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단 대한민국 부산광역시 금정구
3 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류기택 대한민국 경기도 평택시
2 박형근 대한민국 부산광역시 금정구
3 강명창 대한민국 부산광역시 금정구
4 김민욱 대한민국 경기도 오산시 운암로 ***,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)파인테크 대한민국 경기도 화성시
2 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단 대한민국 부산광역시 금정구
3 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1157629-44
2 보정요구서
Request for Amendment		 2014.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0227940-74
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1258342-37
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2015-0006109-28
5 보정요구서
Request for Amendment		 2015.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0001963-14
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0544557-33
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0044280-51
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0739711-33
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-1273634-06
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0041179-14
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0041166-10
14 등록결정서
Decision to grant		 2016.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0190652-06
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.10.17 수리 (Accepted) 4-1-2016-0072667-46
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.06.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5092090-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
1) 금속 플레이트를 제공하는 단계,2) 상기 금속 플레이트에 포토레지스트를 도포하는 단계, 3) 상기 도포된 포토레지스트를 레이저를 이용하여 패터닝 및 노광하는 단계로서, 여기서, 상기 레이저는 자외선 고체 레이저이고, 상기 레이저의 광원은 330 내지 365 nm의 파장을 가지며,상기 노광은i) 레이저의 광원을 노광을 위한 제1 빔과 제2 빔으로 분할하는 단계,ii) 상기 제1 빔을 미러를 통하여 상기 포토레지스트에 조사하는 단계, 및iii) 상기 제2 빔을 포토 디텍터에 조사하여 레이저의 출력을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단계, 4) 상기 노광된 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계,5) 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 금속 플레이트를 소정의 깊이로 식각하여 돌출부 패턴을 형성하는 단계, 및6) 상기 돌출부 패턴을 가공하여 블레이드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,양각금형의 제조방법
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삭제
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삭제
4 4
삭제
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제1 항에 있어서,상기 포토레지스트를 도포하는 단계는, 에어 스프레이를 사용하여 액상의 포토레지스트 물질을 상기 금속 플레이트에 분사하는 단계를 포함하는 양각금형의 제조방법
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제5 항에 있어서,상기 노광된 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는, 상기 노광된 포토레지스트를 포타슘카보네이트 용액 또는 소듐카보네이트 용액에서 현상하는 단계를 포함하는 양각금형의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)하이브리드 인터페이스 기반 미래소재 연구단 글로벌프런티어연구개발사업 (하이브리드 인터페이스 기반 미래소재연구) Hard 하이브리드 인터페이스 원천기반공정기술