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대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원

  • 기술번호 : KST2017005064
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도가니가 외부도가니와 내부도가니로 분리 구성되고 도가니의 외측에 발열체가 복수 개로 분리되어 개별 작동되게 설치되어, 소스의 증발량을 제어할 수 있고 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 소스가 내부에 담기고 상부가 개방된 외부도가니; 상기 외부도가니의 내측에 설치되는 것으로, 상부는 개방되고 높이는 상기 외부도가니보다 상대적으로 낮게 구성되며 하부 벽면에 내부를 상기 외부도가니의 내부와 연통시켜 소스가 순환되는 복수 개의 순환공이 형성된 내부도가니; 및 상기 외부도가니의 외측에 설치되는 것으로, 상기 외부도가니를 가열하여 상기 소스를 증발시키는 발열체;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원을 기술적 요지로 한다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01)
출원번호/일자 1020130011015 (2013.01.31)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1413610-0000 (2014.06.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140708) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.31)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조채용 대한민국 경남 밀양시
2 안균 대한민국 경상남도 양산
3 정세영 대한민국 부산 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0093706-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0076793-86
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0019208-56
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0224407-42
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0224423-73
8 등록결정서
Decision to grant
2014.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0414963-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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소스가 내부에 담기고 상부가 개방된 외부도가니(110);상기 외부도가니(110)의 내측에 설치되는 것으로, 상부는 개방되고 높이는 상기 외부도가니(110)보다 상대적으로 낮게 구성되며 하부 벽면에 내부를 상기 외부도가니(110)의 내부와 연통시켜 소스가 순환되는 복수 개의 순환공(121)이 형성된 내부도가니(120);상기 외부도가니(110)의 외측에 설치되는 것으로, 상기 외부도가니(110)를 가열하여 상기 소스를 증발시키는 발열체(130);를 포함하여 구성되되, 상기 외부도가니(110)와 상기 내부도가니(120)는 PBN 재질로 구성되고, 상기 발열체(130)는 상기 외부도가니(110)의 상부 외측에 설치되는 제1발열체(130a) 및 상기 외부도가니(110)의 하부 외측에 설치되는 제2발열체(130b)로 분리되어 개별 작동되게 구성되거나, 상기 외부도가니(110)의 상부 외측에 설치되는 제1발열체(130a)와 상기 외부도가니(110)의 하부 외측에 설치되는 제2발열체(130b) 및 상기 외부도가니(110)의 바닥에 설치된 제3발열체(130c);로 분리되어 개별 작동되게 구성되며, 상기 제1발열체(130a)와 상기 제2발열체(130b) 및 제3발열체(130c)는, 외부도가니(110)와 대응되는 형태로 감겨 있는 열선(131)과, 상기 열선(131)을 잡아주는 지지링(132)으로 구성되며, 상기 지지링(132)은 PBN 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원
2 2
제1항에 있어서, 상기 내부도가니(120)는, 상부에서 하부로 갈수록 직경이 축소되는 형태로 구성됨을 특징으로 하는 대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원
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제1항에 있어서, 상기 내부도가니(120)는, 직경이 일정하고 상단부 외측에 상기 외부도가니(110)의 내면에 접촉되지 않는 길이를 가진 열기차단판(122)이 수평 이하의 각도로 둘러 설치됨을 특징으로 하는 대면적 균일 박막 형성용 진공 증발원
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5 5
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 부산대학교 산학협력단 산학협력 선도대학(LINC) 육성사업 [LINC_1]CZTS 태양전지용 Co-evaporator 시스템의 증발원 특성 연구-국고