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(A) 기판 상에 이산화규소를 증착하여 희생층을 형성하는 단계;(B) 한 쌍으로, 서로 마주보도록 각각 상기 희생층의 일면으로부터 타면까지 관통하여, 상기 기판 상의 소정의 일부분인 한 쌍의 결합면을 노출시키는 관통홀을 형성하는 단계;(C) 한 쌍의 상기 관통홀 사이에 위치하는 상기 희생층 중심부의 일면에 핀형상으로, 가동전극을 형성하는 단계; 및(D) 상기 희생층의 일면 및 한 쌍의 상기 결합면을 커버하도록 실리콘을 증착하여, 탄성격막 및 지지대를 형성하는 단계;를 포함하고,내부에 수용공간을 구비하고, 상기 수용공간으로 유체가 유입되도록 일단에 유체유입구가 형성되며, 타단이 개방된 하우징을 준비하는 단계; 및상기 하우징의 타단에 상기 기판을 배치하여, 상기 하우징의 타단을 밀폐하는 단계;를 더 포함하는 압력스위치의 제조방법
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청구항 6에 있어서,한 쌍의 상기 관통홀은 각각 소정의 길이를 가지고, 길이 방향을 따라 서로 나란하게 형성되는 압력스위치의 제조방법
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청구항 6에 있어서,상기 (B) 단계는,상기 희생층의 일면에 제1 레지스트액을 도포하여, 제1 레지스트막을 형성하는 단계;한 쌍의 상기 결합면에 대응되는 패턴이 형성되도록, 상기 제1 레지스트막을 패터닝하는 단계;패터닝된 상기 제1 레지스트막을 제1 마스크로 하여, 한 쌍의 상기 결합면이 노출되도록, 상기 희생층을 에칭하는 단계; 및에칭된 상기 희생층의 일면으로부터 상기 제1 레지스트막을 제거하는 단계;를 포함하는 압력스위치의 제조방법
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청구항 6에 있어서,상기 가동전극은 전도성 물질로 형성되는 압력스위치의 제조방법
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청구항 9에 있어서,상기 전도성 물질은 금속 또는 실리사이드인 압력스위치의 제조방법
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청구항 9에 있어서,상기 (C) 단계는,상기 희생층의 일면에 상기 전도성 물질을 증착하여 전도층을 형성하는 단계;상기 전도층 상에 제2 레지스트액을 도포하여, 제2 레지스트막을 형성하는 단계; 상기 가동전극의 핀 형상 단면에 대응되는 패턴이 형성되도록, 상기 제2 레지스트막을 패터닝하는 단계; 및패터닝된 상기 제2 레지스트막을 제2 마스크로 하여, 핀 형상의 상기 가동전극이 형성되도록, 상기 전도층을 에칭하는 단계;를 포함하는 압력스위치의 제조방법
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청구항 6에 있어서,상기 (D) 단계는,상기 실리콘이 증착되어 형성된 실리콘층의 일면에 제3 레지스트액을 도포하여, 제3 레지스트막을 형성하는 단계;상기 제3 레지스트막을 패터닝하고, 패터닝된 상기 제3 레지스트막을 제3 마스크로 하여, 상기 실리콘층의 양측면을 에칭하는 단계; 및에칭된 상기 실리콘층으로부터 상기 제3 레지스트막을 제거하는 단계;를 포함하는 압력스위치의 제조방법
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청구항 12에 있어서,상기 (D) 단계는, 상기 제3 레지스트막을 제거한 후에, 상기 희생층을 에칭하는 단계를 더 포함하는 압력스위치의 제조방법
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청구항 12에 있어서,상기 (D) 단계는,상기 제3 레지스트막을 제거한 후에, 상기 실리콘층의 일면을 평탄화하는 단계를 더 포함하는 압력스위치의 제조방법
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